Phát xạ điện tử - Ứng dụng phát xạ nhiệt điện tử trong SEM

  NG DNG PHT X NG DNG PHT X NHIT ĐIN T TRONG NHIT ĐIN T TRONG SEM SEM  Dịch tiếng anh chuyên nghành trực tuyến: http://www.mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_ nghanh.html  Học liệu mở: http://www.mientayvn.com/OCW/MIT/Vat_li.html    !"#$$% &'&&( ) *+,-&.&/&( ) 01*234 ,5678 ) 9:348;9 8<=>?99@6ABCDE@F7GE HI  /HIJKL%9MN>?9 9@6F5678 ) 9:OP99@ HQRG7STH8 ) 9:U> V8Q ) >WX8YZZ[ Z  ,5678 ) 9:OP99<\ >]H8;98<=$X^_97GE H`YABJ%HA@aNN9b &$9@HN94%@F&    J%@MN$L%9MNZI`!   J_9cE%34                 !"  ) 9d?Q ) OP9"8<=8 ) 9 e%9_F59f%7G9fA%!  #    $%    &  '" gWO%8 ) "aT86 W ) TH8 ) 9:9f_>!   h8 ) 9:  h>V8 ) 9:9cE@%TH8 )  9:7SF59<S86Hi"M<= V968jk8<=7G8Q ) 9?$l i h 8 )  9: 9<m nH A% >; $= 8d9 9$9N! R e " R 9@o KNNM9 ( )*+,-. / 07G%EaN  J<m8pTH8q9:>?9@% $r9W9NE8Ms9#%@a$E tu[ N^>vwF!             N IY I IY       , xZZ xZZ yZZ  xYZ ! " [wH YzZ I Z ` Z Z   !#$ {H YZ Z |ZZZY |ZZZY ZZYZZyZ  [wH $@ Z Y Y}Z ` Z  Z  Z    N y Y Zy  ZyZ % ~w@ | | Y Y • & [ Z  Z I Z  Z  Z  ' @ ZZ YZZ €ZZZ €ZZZ €ZZZ JEH>%@$EEb3MN9@EE@N$%9 ZF     ) 9_F59•  ) 9_F59•V 9?ao12 347•% 8<=>?9@%Fi $h>V8 ) 9: 7G(   56758 89:3   ; 9<=*..2>.0 s>9@TH8q9:7•%>?9 @%Fi$h>V7G8jF6 F59<S‚<8pp9o% TH9% ?   <@A..>.0 JTH8 ) 9:9>9o>WFƒ$%F8 O%9_F59o$?W ) 9F59<m 8<=aT86Q ) 9oTH8 ) 9:7GE 86Ha„9@AjH ) 9H…h>Q ) 9o9d9 \   _ F5 9• 9† _9 MG Hp9 %H WH 8q" V _9@hMGHp9paWd9@MMGHA‡7s9 Mq 9• HjH R p aW H% a„ 8q  V 9i%@_9jq97G8„iHp9qMGHMcA‡ <SEˆ9\Mi!  !"#$%&' Ec98pa†%9@M‰Mq8<m8%8q 9:9@E9•9@<ma<S9?ao%M†E@N9Š• 9@<m9@E9_F58<=9%8‹A‡?9% 8‹<m8pa„8q9@EpaWu€< %9_F58<=9%8‹A‡a„aT868j F6%HWH # BC-=:  5D, E.=F 1 2 0 2 1 2 e E m E E r eB     × +    ÷     = [...]... Chọn nguồn phát xạ nhiêôt thích hợp Giảm ∆E Giảm quang sai và tăng đôô phân giải 2/ Chiếu chùm xung, giảm thế áp vào điê n cực, giúp cho viêôc ô hôôi tụ các e- châôm và e- nhanh hơn cùng lúc 3/ Giảm tiêu cự vâ t kính (bằng cách điều chỉnh dòng (thế) ô 4/ Đăôt thêm khẩu đôô Mẫu được đăÊt vào trong Tk -> giảm f-> giảm cầu sai 4 ƯU ĐIÊM CUA SEM  Kính hiển vi điêôn tử chúng ta... thích hợp để điều khiển quỹ đạo của điện tử. Ta có thể điều khiển quỹ đạo của điện tử bằng cách điều khiển sự phân bố của từ trường B trong khe từ Hình 2.5: Sự truyền qua của điê Ên tử qua thấu kính tư 2.3 HÊ Ê THỐNG THU NHÂÊN VÀ TẠO ẢNH 3 NGUYÊN TẮC HOẠT ĐÔNG CỦA Ê KÍNH HIỂN VI ĐIÊ ÊN TỬ SEM Độ phân giải của kính hiển vi SEM ĐôÊ phân giải của SEM phụ thuộc vào kích thước của... chấm điêÊn tử đập vào mẫu Thông thường, kích thước chấm điêÊn tử lớn hơn kích thước nguyên tử , do đó SEM không phân tích được ở cấp độ nguyên tử Các kính SEM hiêÊn đại có đôÊ phân giải trong khoảng 1nm-10nm Các yếu tố ảnh hưởng đến đôÊ phân giải của kính SEM: đường kính chùm điêÊn tử, thế gia tốc, dòng dò v.v giảm đường kính chùm điêÊn tử đến mẫu , dùng... chính và do đó cũng tạo ra một đĩa tán rộng thay vì hội tụ tại một điểm Do sự kém đơn sắc trong bước sóng của chùm hạt mang điện Cầu sai ( Spherical aberration)  The focal length of near axis electrons is longer than that of off axis electrons  All lenses have spherical aberration -minimum spot size dmin = 0.5Cs a3  Cs is a lens constant equal to the working distance of the lens... như bề măôt của mẫu vâôt  Phân tích mà không cần phá hủy mẫu vật  Hoạt động ở chân không thấp  Tốc đôô thu dữ liêôu nhanh  Đôô phân giải cao  Viêôc chuẩn bị mẫu đơn giản  Giá thành của SEM thấp hơn rất nhiều so với TEM .   NG DNG PHT X NG DNG PHT X NHIT ĐIN T TRONG NHIT ĐIN T TRONG SEM SEM  Dịch tiếng anh chuyên nghành trực tuyến: http://www.mientayvn.com/dich_tieng_anh_chuyen_ nghanh.html  Học. !"#$%&' Ec98pa†%9@M‰Mq8<m8%8q 9:9@E9•9@<ma<S9?ao%M†E@N9Š• 9@<m9@E9_F58<=9%8‹A‡?9% 8‹<m8pa„8q9@EpaWu€< %9_F58<=9%8‹A‡a„aT868j F6%HWH # BC -= :  5D, E.=F 1 2 0 2 1 2 e E m E E r eB     × +    ÷     =   ()*+* ,- . /%012 34 354673+839:(.4354 673+839:%;<354=. A% >; $= 8d9 9$9N! R e " R 9@o KNNM9 ( )*+ ,- . / 07G%EaN  J<m8pTH8q9:>?9@% $r9W9NE8Ms9#%@a$E tu[