ĐỀ TÀI PHỔ KẾ QUANG ĐIỆN TỬ TIA X XPS

GIỚI THIỆU GVHD: TS. Lê Vũ Tuấn Hùng HV: Nguyễn Thị Thúy Hằng Lưu Mai Loan Nguyễn Thị Tố Nhi Trường ĐH KHTN TPHCM, 01/2011 [...]... ĐIỆN TỬ AUGER VÀ ĐIỆN TỬ QUANG Sử dụng nguồn năng lượng kép giúp phân biệt giữa các peak điện tử quang và peak điện tử Auger Các đỉnh Auger sẽ dịch chuyển một lượng năng lượng đúng bằng chênh lệch giữa hai nguồn trong phép biểu diễn phổ theo năng lượng liên kết, các đỉnh quang điện tử vẫn tại vị trí năng lượng liên kết x c định PHÂN BIỆT ĐIỆN TỬ AUGER VÀ ĐIỆN TỬ QUANG HIỆN TƯỢNG NÂNG CAO NỀN PHỔ Điện. .. có một điện tử đập vào - Hệ thống máy tính thu nhận tín hiệu và cho ra hình ảnh phổ PHÂN TÍCH HÓA HỌC Quy ước trong XPS là sử dụng kí hiệu hóa học chỉ mức năng lượng liên kết cho thông tin về đặc trưng nguyên tố PHÂN TÍCH HÓA HỌC PHÂN TÍCH HÓA HỌC PHÂN TÍCH HÓA HỌC PHÂN BIỆT ĐIỆN TỬ AUGER VÀ ĐIỆN TỬ QUANG * Động năng của quang điện tử phụ thuộc vào năng lượng kích thích * Động năng của điện tử Auger...CƠ SỞ LÝ THUYẾT TIA X • Tia X: • Tia X là bức x điện từ có năng lượng cao Năng lượng của nó nằm trong khoảng từ 200eV – 1MeV Bước sóng của nó nằm trong khoảng giữa tia gamma  và vùng tử ngoại (10nm  1pm), tuy nhiên không có ranh giới rõ ràng giữa các vùng khác nhau trong thang sóng điện từ CƠ SỞ LÝ THUYẾT TIA X Cách tạo tia X: • Điện cực catot được làm bằng sợi dây mảnh... tinh thể được sắp đặt sao cho các tia X thỏa mãn điều kiện nhiễu x Bragg và tiêu tụ đúng trên mẫu ƯU ĐIỂM MÁY ĐƠN SẮC - Loại bỏ các peak phụ không mong muốn trên phổ XPS - Thu hẹp bề rộng phổ XPS - Máy đơn sắc có thể tập trung tia X vào một phần nhỏ trên mẫu, vì vậy * đối với 1 mẫu, có thể phân tích nhiều vị trí khác nhau * có thể cho nhiều mẫu vào máy mà không bị tia X làm hỏng trong khi chờ phân tích... sẽ sinh ra tia X SƠ ĐỒ TẠO TIA X SƠ ĐỒ TẠO TIA X CẤU TẠO 1) Buồng chân không 2) Nguồn tia X 3) Bộ phận phân tích năng lượng 4) Detector NGUYÊN TẮC HOẠT ĐỘNG CẤU TẠO BUỒNG CHÂN KHÔNG Gồm 2 buồng: 1) Buồng nối với bên ngoài và được bơm để tạo chân không thấp 2) Buồng thứ 2 có chân không siêu cao (10-9 Torr) Chức năng: -Tránh làm bẩn bề mặt mẫu -Tránh sự va chạm giữa điện tử quang và nguyên tử khí CẤU... NGUỒN TIA X - Được tạo ra bằng cách sử dụng electron đập vào bản kim loại làm phát ra bức x tia X - Tùy theo kim loại mà bức x phát ra mang năng lượng khác nhau - Nguồn tia X thường sử dụng là nguồn ALKα ( 1486,6 eV ) hoặc MgKα (1253,6 eV) CẤU TẠO NGUỒN TIA X – 2 ANODE - 2 anode làm bằng Cu phủ Mg và Al được làm lạnh bằng nước - 2 cathode đặt về 2 phía CẤU TẠO MÁY ĐƠN SẮC - Dựa trên sự nhiễu x trên... PHÂN BIỆT ĐIỆN TỬ AUGER VÀ ĐIỆN TỬ QUANG HIỆN TƯỢNG NÂNG CAO NỀN PHỔ Điện tử rời khỏi vật liệu mà không thực hiện va chạm (hoặc va chạm hoàn toàn đàn hồi) được ghi nhận dưới dạng các đỉnh phổ Điện tử bị tiêu hao năng lượng trên đường xuyên qua lớp vật liệu, liên quan tới độ dày lớp vật chất phải vượt qua góp phần hình thành nền phổ Kết quả là cường độ nền tăng lên ở phía động năng thấp ... Lực điện trường lái các electron đi theo quĩ đạo cong - Các e có cùng động năng đi theo quĩ đạo có bán kính giống nhau DETECTOR Channel electron multiplier ( channeltrons) - Ống có một đầu hình nón, đầu kia là anode kim loại - Hiệu điện thế lớn ( 2kV - 4kV) được đặt vào 2 đầu ống * đầu hình nón mang thế âm * đầu kia mang thế dương - Mặt trong ống được phủ lớp vật liệu có thể sản sinh lượng lớn điện tử. .. MÁY ĐƠN SẮC So sánh phổ năng lượng liên kết khi có và không sử dụng máy đơn sắc CẤU TẠO HỆ THẤU KÍNH - Trước khi tới bộ phân tích các electron sẽ đi qua hệ thấu kính từ - Hệ thấu kính này có nhiệm vụ tiêu tụ các electron đến khe vào của bộ phân tích năng lượng CẤU TẠO BỘ PHẬN PHÂN TÍCH BÁN CẦU ĐỒNG TÂM (CHA- Concentric Hemispherical analyser ) - Gồm 2 bán cầu đồng tâm được tích điện trái dấu - Bán . Máy XPS LỊCH SỬ VỀ XPS GIỚI THIỆU VỀ XPS • X - ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) - phổ quang điện tử tia X. • XPS là kĩ thuật phân tích tính chất trên bề mặt vật liệu thông qua phổ. . nguồn. • Động năng của điện tử Auger độc lập với bản chất nguồn. ĐIỆN TỬ AUGER VÀ ĐIỆN TỬ QUANG ĐIỆN CƠ SỞ LÝ THUYẾT TIA X • Tia X: • Tia X là bức x điện từ có năng lượng cao Một điện tử khác ở mức cao hơn nhảy vào lỗ trống giải phóng năng lượng, truyền cho điện tử khác  điện tử Auger ĐIỆN TỬ AUGER VÀ ĐIỆN TỬ QUANG ĐIỆN • Động năng của quang điện tử là tùy