Báo cáo đề tài phương pháp CVD, môn phương pháp thực nghiệm, lớp quang học K21

MÔN PHƢƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM Đề tài: Báo cáo: Nguyễn Thị Hảo Quang học K21 22/10/2011 1 2 C V D What is ….? Lắng đọng hơi hóa học 3 Lắng đọng hơi hóa học là phương pháp mà vật liệu rắn được lắng đọng từ pha hơi thông qua các phản ứng hóa học xảy ra ở gần bề mặt đế được nung nóng tạo thành màng. C V D 4 Vật liệu (rắn) Hơi Hợp chất Màng + Tác nhân (Precusor) Ngƣng tụ trên đế Cung cấp E Lắng đọng C V D Đế bị nung nóng Khí phản ứng (Precursor) Buồng phản ứng (reactor) Khuyếch tán xuống đế Hấp thụ Phản ứng hóa học Tạo màng SƠ ĐỒ C V D Khí phản ứng (precursor) Màng (rắn) Sản phẩm khí thừa SƠ ĐỒ C V D Bộ phận cấp nhiệt Đế Sản phẩm khí thải Hơi vật liệu (Precursor) Vùng phản ứng hóa học Khuyếch tán t = 900 o C, p = 0.1 mbar – 1bar Khuyếch tán trên bề mặt đế Sự hình thành nguyên tử và ốc đảo Phát triển thành màng Đế SƠ ĐỒ C V D Sản phẩm thừa BUỒNG PHẢN ỨNG Hệ thống xử lí khí thải Khí thải Buồng chứa khí phản ứng Precursor Tấm lọc Van SƠ ĐỒ THIẾT BỊ C V D P>0.01 bar t = 25 o C BUỒNG PHẢN ỨNG C V D Bộ phận cấp nhiệt Bộ phận cấp nhiệt Kh Khí vào Khí ra Precursor Đế Đế Đế Khí thải Khí phản ứng (Precursor) Bộ phận cấp nhiệt BUỒNG PHẢN ỨNG C V D [...]... độ lắng đọng tỉ lệ với góc tới C V D PHẢN ỨNG HÓA HỌC TRONG CVD Phản ứng phân hủy Phản ứng khử Phản ứng thủy phân Vận chuyển hóa học Phản ứng trùng hợp C V D CƠ CHẾ & QUÁ TRÌNH TRONG CVD Vận chuyển nhiệt Ngưng tụ Hấp phụ Phủ khu vực Phủ đế có cấu hình phức tạp Tốc độ lắng đọng cao C Hệ thiết bị đơn giản V D ƢU ĐIỂM Tạo màng hợp kim nhiều tp Màng dày, đều, ít xốp, sạch 15 C V D NHƢỢC ĐIỂM Cơ chế phản... nhiều loại màng mỏng Trong CN vi điện tử Sợi quang Pin mặt trời C Vật liệu siêu dẫn D V Sợi composite C V D PHÂN LOẠI CVD APCVD LPCVD MOCVD PECVD • Thermal CVD • Kích hoạt phản ứng bằng nhiệt (>9000C) • Atmospheric pressure chemical vapor deposition •  Lắng đọng hơi hóa học ở áp suất khí quyển • Low pressure chemical vapor deposition •  Lắng đọng hơi hóa học ở áp suất thấp • Metal organic chemical . MÔN PHƢƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM Đề tài: Báo cáo: Nguyễn Thị Hảo Quang học K21 22/10/2011 1 2 C V D What is ….? Lắng đọng hơi hóa học 3 Lắng đọng hơi hóa học là phương pháp mà. Tốc độ lắng đọng tỉ lệ với góc tới PHẢN ỨNG HÓA HỌC TRONG CVD C V D Phản ứng phân hủy Phản ứng khử Phản ứng thủy phân Vận chuyển hóa học Phản ứng trùng hợp CƠ CHẾ & QUÁ TRÌNH. mỏng Sợi quang 18 PHÂN LOẠI C V D • Thermal CVD • Kích hoạt phản ứng bằng nhiệt (>900 0 C) CVD • Atmospheric pressure chemical vapor deposition •  Lắng đọng hơi hóa học ở áp suất