Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống
1
/ 19 trang
Thông tin tài liệu
. Các công nghệ CVD, Hà nội 1-2004 1 Chơng 3 Các công nghệ CVD Công nghệ tạo lớp phủ từ pha khí hay còn gọi là CVD (Chemical Vapour Deposition) đợc áp dụng trong nhiều lĩnh vực công nghiệp. của lớp phủ tạo bằng CVD 3.3.1. Thành phần và cấu trúc Nhiều nguyên tố và hỗn hợp có thể đợc phủ bằng CVD (bảng 3.1). Bảng 3.1. Các lớp phủ tạo bằng công nghệ CVD Bản chất của lớp phủ Chất. theo chiều có lợi cho quá trình phủ. Các lớp phủ đợc tạo bằng công nghệ này là : phủ graphit, phủ cacbit TiC, SiC, phủ oxyt SiO 2 , GeO 2 , TiO 2 , phủ bo, phủ Si, Hình 3.8a là sơ đồ nguyên