CÔNG NGHỆ TẠO LỚP PHỦ TỪ PHA PHÍ CVD

19 678 4
CÔNG NGHỆ TẠO LỚP PHỦ TỪ PHA PHÍ CVD

Đang tải... (xem toàn văn)

Tài liệu hạn chế xem trước, để xem đầy đủ mời bạn chọn Tải xuống

Thông tin tài liệu

. Các công nghệ CVD, Hà nội 1-2004 1 Chơng 3 Các công nghệ CVD Công nghệ tạo lớp phủ từ pha khí hay còn gọi là CVD (Chemical Vapour Deposition) đợc áp dụng trong nhiều lĩnh vực công nghiệp. của lớp phủ tạo bằng CVD 3.3.1. Thành phần và cấu trúc Nhiều nguyên tố và hỗn hợp có thể đợc phủ bằng CVD (bảng 3.1). Bảng 3.1. Các lớp phủ tạo bằng công nghệ CVD Bản chất của lớp phủ Chất. theo chiều có lợi cho quá trình phủ. Các lớp phủ đợc tạo bằng công nghệ này là : phủ graphit, phủ cacbit TiC, SiC, phủ oxyt SiO 2 , GeO 2 , TiO 2 , phủ bo, phủ Si, Hình 3.8a là sơ đồ nguyên

Ngày đăng: 16/03/2015, 15:42

Từ khóa liên quan

Tài liệu cùng người dùng

  • Đang cập nhật ...

Tài liệu liên quan