Công nghệ chế tạo vật liệu nano

Trong sự phát triển của kỹ thuật điện tử ngày nay. Kỹ thuật số đang dần chiêm ưu thế về số lượng các ứng dụng của nó trên nhiều thiết bị điện tử tư dân dụng cho đến chuyên dụng, trong nhiều lĩnh vực đo lường, điều khiển…nhờ vào nhiều ưu điểm của nó. Có thể nói, nền tảng của kỹ thuật số la các mạch logic số dựa trên sự kết hợp của các cổng logic cơ bản mà ngày nay đã được tích hợp trong các IC số. Cũng vì thế nhằm mục đích thiết bị ngày càng nhỏ, rất thuận lợi thì bài Công nghệ nano này sẽ giúp bạn làm việc tốt hơn.

Công nghệ linh kiện điện tử micro và nanô •  •  !"#  • "$%&'!($)*%+ P. pháp cộng P. pháp trừ P. pháp thay đổi a)Lắng đọng màng mỏng - Lắng đọng thổi - Lắng đọng bay hơi - Lắng đọng hòa tan - Epitaxy chùm phân tử b) Kỹ thuật in - In phun - In vi tiếp xúc c) Phát triển tự tổ chức - P. ứng hoá học chọn lọc - Phát triển sinh học của tế bào d) Lắp ráp - Gắn wafer - Công nghệ lắp bề mặt - Các phương pháp liên kết và nối dây a) Xử lý bức xạ - Phơi sáng cản quang - Làm cứng polymer b) Ủ nhiệt - Kết tinh - Khuếch tán - Thay đổi pha c) Xử lý tia ion - Nuôi cấy ion - Vô định hình hoá d) Thay đổi cơ học - Tạo hình bằng plastic - Thao tác đầu dò quét a) Ăn mòn - Ăn mòn axít - Ăn mòn bằng chùm ion - Ăn mòn ion phản ứng - Xử lý nhiệt và bức xạ - Cắt bỏ bằng laser - Ăn mòn bằng tia lửa b) ` - Đánh bóng cơ hoá - Đục - Khoan - Tạo rãnh Công nghệ CMOS Pha thiết kế Pha chế tạo Thiết kế hệ thống Thiết kế chức năng Thiết kế logic Thiết kế mạch điện Thiết kế kiến trúc Thiết kế mặt nạ Chế tạo mặt nạ Chuẩn bị Wafer Xử lý Wafer Kiểm tra, đóng gói Hình 1.1: Các bước để chế tạo vi mạch ," • -"%./"0 • 12top-down#3!"4#3!! • 5!bottom-up6"$7 12 • 8$905(#:;<;;5;%==#2 !&>*?#3!"+@A$ %'BC<DE'B4=< !#3!#!>5F#D+ 12< • <B;;G5%.!H %.D>%I2+; • J$<;4=<KB<I<E"$L M<#=+,>""  ?  % #3 ! "+ N E'  %.    " #*<"+ 125 • "OP5#*Q+; • 8%;4 = %. %< R ($    S . F =+ 8 %"*!%#6%.M;54B L.6%.M;5+ • NE'%."<5A$"I "<!4<5$+ • 8 "B  "$ S " S 5(   ; E"#K;%="DT"+ Phương pháp từ dưới lên • 8$906"$7I+ 5!  %.  = D  U 6 3  %  D . V" O' W2(+ • 5!4=;9B;4"M;I#.' "4"X9+ • Y!"T"5("$%. $+ Phương pháp từ dưới lên (Vật lý) • "$7I;$="+8$7%=6    " %.  "     90;2"$ %2B; T1B;4%ZE"+   $= "0   %.  4 Z   ! 2 % " %=  %.  ;*%[6B; 179;%= 1'$ " $= " * %[ 6 X  = #  "+9S%.5(%= "B;"B Ví dụ:;&>;$3+ Phương pháp từ dưới lên (Hóa học) • "+4"M4%I%=D %"56($F=S"'"$%&#: (.+\$BT"4=A4" M  " 0 6    " ;" ; ;#V"B OX)B+++;"#3;AB++++$4="B 5A$"B2"B"B"B+++ [...]...Phương pháp từ dưới lên (kết hợp) • Phương pháp tạo vật liệu nano dựa trên các nguyên tắc vật lý và hóa học như:  điện phân, ngưng tụ từ pha khí, Phương pháp này có thể tạo các hạt nano, dây nano, ống nano, màng nano, bột nano, . hoá - Đục - Khoan - Tạo rãnh Công nghệ CMOS Pha thiết kế Pha chế tạo Thiết kế hệ thống Thiết kế chức năng Thiết kế logic Thiết kế mạch điện Thiết kế kiến trúc Thiết kế mặt nạ Chế tạo mặt nạ Chuẩn. tự tổ chức - P. ứng hoá học chọn lọc - Phát triển sinh học của tế bào d) Lắp ráp - Gắn wafer - Công nghệ lắp bề mặt - Các phương pháp liên kết và nối dây a) Xử lý bức xạ - Phơi sáng cản quang -. Công nghệ linh kiện điện tử micro và nanô •  • 