Đề tài " SEMINAR MÀNG CƠ " pptx

MÀNG CƠ GVHD: PGS.TS Lê Văn Hiếu HVTH : Châu Thị Mỹ Uyên Nguyễn Vũ Nguyên SEMINAR Màng cứng  Màng có độ cứng lớn  Chịu mài mòn cao  Hệ số ma sát thấp  Độ bám dính cao Các vật liệu tạo màng Các phương pháp tạo màng  Phương pháp lắng đọng hơi  PVD:  Phún xạ  Bốc bay  CVD  Phương pháp phun nhiệt Phương pháp PVD  Vật liệu được chuyển thành hơi nhờ các tác nhân vật lý như nhiệt độ, electron, ion  Áp dụng đối với nhiều vật liệu vô cơ: kim loại, hợp kim, hợp chất và hỗn hợp cũng như một số hợp chất hữu cơ.  Gồm hai loại:  Phún xạ  Bốc bay Phún xạ  Hiện tượng truyền năng lượng của các hạt có năng lượng cao cho bia làm bật ra các hạt trên bề mặt bia  Tiến hành trong môi trường chân không Ưu điểm & hạn chế (PP phún xạ)  Öu ñieåm  Dễ dàng chế tạo các màng đa lớp nhờ tạo ra nhiều bia riêng biệt.  Rẻ tiền, dễ thực hiện nên dễ dàng triển khai ở quy mô công nghiệp.  Độ bám dính của màng trên đế rất cao  Màng tạo ra có độ mấp mô bề mặt thấp  Có độ dày chính xác hơn nhiều so với phương pháp bay bốc nhiệt trong chân không.  Haïn cheá  Do các chất có hiệu suất phún xạ khác nhau nên việc khống chế thành phần với bia tổ hợp trở nên phức tạp. Khả năng tạo ra các màng rất mỏng với độ chính xác cao của phương pháp phún xạ là không cao. Hơn nữa, không thể tạo ra màng đơn tinh thể. Các hệ phún xạ  Diode phẳng  Magnetron  Chùm ion Hệ phún xạ diode phẳng Hệ phún xạ chùm ion Hệ phún xạ magnetron Bốc bay  Hơi được tạo ra từ vật liệu được đặt trong một nguồn được đun nóng  Đế đặt đối diện với nguồn ở khoảng cách thích hợp. Ưu điểm & hạn chế (PP bốc bay)  Öu ñieåm  Đơn giản, và dễ tạo màng hợp chất  Haïn cheá  Không thể tạo các màng quá mỏng  Khó khống chế độ dày  Việc chế tạo các màng đa lớp là rất khó khăn  Cải tiến:  Chùm điện tử để bay bốc  Tường bao quanh nguồn đốt (phương pháp tường nóng) Tuy nhiên tỉ lệ sử dụng phương pháp bay bốc nhiệt trong kỹ thuật màng mỏng đang ngày càng ít. [...]... đến 100µN Ứng dụng   Màng mỏng kim cương Màng mỏng phủ lên các cơng cụ cắt Màng mỏng kim cương  Màng mỏng kim cương có độ cứng rất tốt và tính chịu nhiệt cao nên được ứng dụng chủ yếu vào kỹ thuật mài mòn; cắt, sự phủ màng bảo vệ: điện thoại, đồng hồ treo tường, đèn oleds; con chip máy tính; dụng cụ gia đình: lò vi ba, lò hấp bánh, lò sưởi, máy sấy quần áo; kính hiển vi; cơng nghệ thơng tin và sử... nhỏ: lớp phủ biến dạng cùng đế Tải lớn: lớp phủ bị vỡ Tải nhỏ nhất lớp phủ bị vỡ: xác định độ bám dính Màng dày:Brinell, Rockwell Màng mỏng: Berkovich Phương pháp cào    Một đầu nhọn được sử dụng rạch lên bề mặt vật liệu Một tải được áp dụng theo phuơng thẳng đứng với độ lớn tăng dần Giới hạn tải màng bị tách hồn tồn được sử dụng đo độ bám dính Phương pháp cào  Tùy kích thước tip và tải có các thang:... đồng hồ treo tường, đèn oleds; con chip máy tính; dụng cụ gia đình: lò vi ba, lò hấp bánh, lò sưởi, máy sấy quần áo; kính hiển vi; cơng nghệ thơng tin và sử dụng ánh sáng phát ra từ màng mỏng kim cương Màng mỏng phủ lên các cơng cụ cắt ... Velocity Oxygen Fuel) Xác định các tính chất của màng   Đo độ cứng Đo độ bám dính Đo độ cứng  Phuơng pháp vết lõm:    Indenter được áp vào bề mặt của vật liệu, để lại vết lõm trên bề mặt Độ cứng đuợc xác định bằng tỉ số giữa lực tác dụng và diện tích vết lõm Các phuơng pháp:   Brinell và Rockwell: sử dụng với vật liệu khối Vicker và Knoop: sử dụng với màng Phương pháp Rockwell  Indenter:    . MÀNG CƠ GVHD: PGS.TS Lê Văn Hiếu HVTH : Châu Thị Mỹ Uyên Nguyễn Vũ Nguyên SEMINAR Màng cứng  Màng có độ cứng lớn  Chịu mài mòn cao  Hệ số ma sát thấp  Độ bám dính cao Các vật liệu tạo màng Các. dàng chế tạo các màng đa lớp nhờ tạo ra nhiều bia riêng biệt.  Rẻ tiền, dễ thực hiện nên dễ dàng triển khai ở quy mô công nghiệp.  Độ bám dính của màng trên đế rất cao  Màng tạo ra có độ. (PP bốc bay)  Öu ñieåm  Đơn giản, và dễ tạo màng hợp chất  Haïn cheá  Không thể tạo các màng quá mỏng  Khó khống chế độ dày  Việc chế tạo các màng đa lớp là rất khó khăn  Cải tiến:  Chùm