Đề tài " SEMINAR MÀNG CƠ " pptx

Phương pháp PVD Vật liệu được chuyển thành hơi nhờ các tác nhân vật lý như nhiệt độ, electron, ion  Áp dụng đối với nhiều vật liệu vô cơ: kim loại, hợp kim, hợp chất và hỗn hợp cũng n

Các vật liệu tạo màng

Phương pháp PVD

 Vật liệu được chuyển thành hơi nhờ

các tác nhân vật lý như nhiệt độ,

electron, ion

 Áp dụng đối với nhiều vật liệu vô cơ: kim loại, hợp kim, hợp chất và hỗn hợp cũng như một số hợp chất hữu cơ

 Gồm hai loại:

 Phún xạ

 Bốc bay

Phún xạ

 Hiện tượng truyền

năng lượng của các hạt có năng lượng

cao cho bia làm bật ra các hạt trên bề mặt bia

 Tiến hành trong môi trường chân không

Ưu điểm & hạn chế (PP phún xạ)

Bốc bay

 Hơi được tạo ra từ vật liệu được đặt trong một nguồn được đun nóng

 Đế đặt đối diện với nguồn ở khoảng cách thích hợp

Ưu điểm & hạn chế (PP bốc bay)

 Tường bao quanh nguồn đốt (phương pháp tường

nóng) Tuy nhiên tỉ lệ sử dụng phương pháp bay bốc nhiệt trong kỹ thuật màng mỏng đang ngày càng ít

Lắng đọng hóa học (CVD)

 Quá trình trong đó tiền

chất dễ bay hơi được

chuyển qua thể hơi đến

buồng phản ứng

 Các phản ứng xảy ra

tạo thành thể rắn lắng

trên đế

Các nhóm phản ứng

 Phản ứng phân li bằng nhiệt độAX(g) -> A(s) + X (g)

Phương pháp phun nhiệt

Ưu điểm & hạn chế (PP phun nhiệt)

 Ưu điểm

 Có ứng dụng kinh tế rộng rãi (bề mặt phủ bằng plastic, kim loại, gốm).

 Bề dày lớp phủ khoảng 50microns đến 0.25inch.

 Kích thước bề dày phụ thuộc vào các thiết bị sử dụng.

 Hạn chế

 Sức bền liên kết bề mặt phủ thấp.

 Trạng thái tổ ong chiếm 1 đến 20 phần trăm thể tích phủ và nó phụ thuộc vào kích thước của phân tử “bột”.

 Trong quá trình làm lạnh nhanh chóng bề mặt bị co lại ảnh

hưởng bề dày của mặt phủ.

 Có độ cứng bề mặt kém

Các quá trình phun nhiệt

Quá trình phun nhiệt bằng plasma

Quá trình phun nhiệt bằng hồ quang

Quá trình phun bằng lửa

HVOF (High Velocity Oxygen Fuel)

Xác định các tính chất của màng

Phương pháp Rockwell

 Indenter:

 Quả cầu thép đường kính xác định

 Tip kim cương hình nón, góc 120 0 ,

Phương pháp Mohs

Đo độ bám dính

 Độ bám dính: là lực căng cần thiết để bóc lớp phủ ra khỏi đế.

 Vết lõm

 Cào

Phương pháp cào

 Một đầu nhọn được sử dụng rạch lên bề mặt vật liệu.

 Một tải được áp dụng theo

Ứng dụng

Màng mỏng kim cương

tính chịu nhiệt cao nên được ứng dụng chủ yếu vào kỹ thuật mài mòn; cắt, sự phủ màng bảo vệ: điện thoại, đồng hồ treo tường, đèn oleds; con chip máy tính; dụng cụ gia đình: lò

vi ba, lò hấp bánh, lò sưởi, máy sấy quần áo; kính hiển vi; công nghệ thông tin và sử dụng ánh sáng phát ra từ màng mỏng kim cương.

Màng mỏng phủ lên các công

cụ cắt