Luận văn nghiên cứu tối ưu hóa quy trình tổng hợp ống nano carbon cnts mọc thẳng đứng bằng phương pháp lắng đọng hóa học nhiệt từ pha hơi t cvd trên nền xúc tác ni fe

45,22 éĐápnh cgziá ốpncg pnxapno 3cxaer@bopn vtạo vthàpnh @bằpncg 3cá3c vthziếvt @bị SEkM ivà sphổ Rxalmxapn. Khảo lsávt ảpnh hưởpncg 3củxa lmộvt lsố pđziềhu okziệpn ylêpn ốpncg pnxapn

ĐẠI HỌC QUỐC GIA HÀ NỘI ĐẠI HỌC QUỐC GIA TP HỒ CHÍ MINH TRƯỜNG ĐẠI HỌC CÔNG NGHỆ PTN CÔNG NGHỆ NANO

PHẠM ĐÔNG PHƯƠNG NGHIÊN CỨU TỐI ƯU HÓA QUY TRÌNH TỔNG HỢP ỐNG NANO CARBON (CNTs) MỌC THẲNG ĐỨNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP LẮNG ĐỌNG HÓA HỌC NHIỆT TỪ PHA HƠI (t – CVD)

TRÊN NỀN XÚC TÁC Ni, Fe

Chuyên ngành: Vật liệu và Linh kiện Nanô (Chuyên ngành đào tạo thí điểm)

TÓM TẮT LUẬN VĂN THẠC SĨ

Người hướng dẫn khoa học: Tiến Sĩ ĐINH DUY HẢI

Thành phố Hồ Chí Minh - 2012

22 kM.Dxaeepneepn eevt xayl (2003), Th e e Wo p n g d e ro h u l s Wo e r y l g d of C x a e r @ bo p n l N x a p no v t h u @ b e e l s,

Ezipngdhoiveepn Upnziiveeerlszivtmy of Tee3chpnoylocgmy

23 kMzipnjxaee Jhupncg, Kwxapncg Yopncg Ehupn, Jxaee-Kxasp Leeee, Yohupncg-Joopn Bxaziok,

Kwxapncg-Rmyeeoyl Leeee, Jopncg Wxapn Pxaerok (2001), “Gerowvth of 3cxaer@bopn pnxapnovthu@beels @bmy

3

cheelmzi3cxayl ivxaspoer gdeespolszivtziopn” ,D z i x a l mo p n g d x a p n g d R e e y l x a v t e e g d k M x a v t e e e r z i x a y l l s 10, 1235 – 1240.

24 kMzi3chxaeeyl J.O’Copnpneeylyl, Ph.D (2006), C x a e r @ bo p n l N x a p no v t h u @ b e e l s P e ro s p e e e r v t z i e e l s

x

a p n g d A s p s p y l z i 3 c x a v t z io p n l s, Txamyyloer & Ferxapn3czils, Cxaylzifoerpnzixa

25 kMxaerzixa Leevtzizzixa Teeererxapnoivxa, Vzivto Seelslsxa, xapngd kMxaer3co Rolslszi (2006),

“TheeWoerylgd of Cxaer@bopn lNxapnovthu@beels: Apn Oiveeerivzieew of CVD Gerowvth

k

Meevthogdoylocgzieels”, Ch e e l m z i 3 c x a y l V x a s po e r D e e s po l s z i v t z io p n 12, 315 – 325.

26 kM.S Dereelslseeylhxahuls, G Dereelslseeylhxahuls, R Sxazivto, A Joerzio (2004), “Rxalmxapn

sspee3cvterols3cospmy of 3cxaer@bopn pnxapnovthu@beels”, Ph m y l s z i 3 c l s R e e s po e r v t l s.

27 S S Ilsylxalm eevt xayl (2007), “Rxalmxapn lsvthugdmy opn lszipncgylee-wxaylyleegd 3cxaer@bopn

p

nxapnovthu@beels wzivth gdziffeeereepnvt ylxalseeer eepx3czivtxavtziopn eepneeercgzieels”, B h u y l y l k M x a v t e e e r S 3 c z i., Voyl.30,

No.3, Ipngdzixapn A3cxagdeelmmy of S3czieepn3ceels, 295 – 299

28 Shhupxzixa Wxapncg, Peepncg Wxapncg xapngd Ovtvto Zhohu (2006), “Effee3cvtls of lNH3

s

pylxalslmxa spereevtereexavtlmeepnvt opn vthee cgerowvth of 3cxaer@bopn pnxapnovthu@beels”, D z i x a l mo p n g d & R e e y l x a v t e e g d

k

29 Shulmzio Izijzilmxa (1991), “Heeylzi3cxayl lmzi3cerovthu@bhuyleels of cgerxasphzivtzi3c 3cxaer@bopn”,

30 Y Ohumyxapncg, L.kM.Copncgxa, L.Cheepnxa, Q.X.Lzihu@b, Y.Fxapncg (2008), “Rxalmxapn

svthugdmy opn lszipncgylee-wxaylyleegd 3cxaer@bopn pnxapnovthu@beels xapngd lmhuylvtzi-wxaylyleegd 3cxaer@bopn pnxapnovthu@beels

wzivth gdziffeeereepnvt ylxalseeer eepx3czivtxavtziopn eepneeercgzieels”, Ph m y l s z i 3 c x a E 40, 2386 – 2389.

31 Y.S Cheepn, J.H.Hhuxapncg, J.L Hhu, C.C Yxapncg , W.P Kxapncg (2007),

“Smypnvtheelszils of lszipncgylee-wxaylyleegd 3cxaer@bopn pnxapnovthu@beels sperogdhu3ceegd hulszipncg xa vthereeee ylxamyeeer Ayl/

Fee/kMo lmeevtxayl 3cxavtxaylmylsvt xapngd vtheezier fzieeylgd eelmzilslsziopn sperospeeervtzieels”, C x a e r @ bo p n 45, 3007 –

3014

k MỤC LỤC

23

10 Cherzilsvtzixapn KLIlNKE (2003), A p n x a y l m y l s z i l s of 3 c x a v t x a y l m y v t z i 3 c c g e row v th of 3 c x a e r @ bo p n

Ferzigdeeerzi3cxapnxa, Kxaeryllserhuhee, Aylyleelmxacgpnee eevt gdee pnxavtziopnxaylzivté xaylyleelmxapngdee, 1 – 39

11 Gxapncg Whu, Bo-Qzipncg Xhu (2007), “Cxaer@bopn pnxapnovthu@bee lshuspspoervteegd Pvt

eeylee3cvterogdeels foer lmeevthxapnoyl opxzigdxavtziopn: A 3colmspxaerzilsopn @beevtweeeepn lmhuylvtzi- xapngd lszipncgylee-wxaylyleegd 3cxaer@bopn pnxapnovthu@beels”, Jo h u e r p n x a y l of

12 G L Keeylwocg (1996), I p n v t e e e r x a 3 c v t z io p n of R x a g d z i x a v t z io p n w z i v th S h u e rf x a 3 c e e l s x a p n g d

E y l e e 3 c v t e ro p n T h u p n p n e e y l z i p n c g, Ssperzipncgeeer-Veeerylxacg, ivoyl 24gd

MỤC LỤC

DANH MỤC HÌNH VẼ

Chương 1 TỔNG QUAN LÝ THUYẾT

ii iii 1

1.1 Lịch sử hình thành và phát triển ống nano carbon (CNTs) 1

1.2 Cấu trúc, phân loại CNTs 1

1.3 Tính chất của CNTs 1

1.4 Ứng dụng 2

Chương 2 CÁC PHƯƠNG PHÁP TỔNG HỢP ỐNG NANO CARBON 2 2.1 Tổng quát các phương pháp tổng hợp ống nano carbon 2

2.2 Phương pháp phóng điện hồ quang (AD - Arc Discharge) 2

2.3 Phương pháp dùng laser (LA - Laser Ablation) 3

2.4 Phương pháp lắng đọng hóa hơi (CVD) 3

2.5 Tổng hợp ống nano carbon ở thể khí 3

2.6 Ưu, khuyết điểm của phương pháp t – CVD so với các phương pháp khác 4 Chương 3 PHƯƠNG PHÁP THỰC NGHIỆM 4 3.1 Thiết bị 4

3.2 Quy trình tạo lớp xúc tác 4

3.3 Quy trình tổng hợp nano carbon bằng t – CVD 5

3.4 Các phép phân tích, đánh giá kết quả: 6

Chương 4 KẾT QUẢ VÀ BÀN LUẬN 6 4.1 Khảo sát các màng xúc tác Ni và Fe 6

4.2 Tổng hợp ống nano carbon bằng phương pháp t-CVD 9

4.3 Ảnh hưởng của các thông số lên quá trình tổng hợp ống nano carbon 12

4.4 Quy trình chế tạo ống nano carbon thẳng đứng bằng phương pháp t-CVD 20

 éĐápnh cgziá ốpncg pnxapno 3cxaer@bopn vtạo vthàpnh @bằpncg 3cá3c vthziếvt @bị SEkM ivà sphổ

2 éĐzipnh Dhumy Hảzi (2011) , l N c gh z iê p n 3 cứ h u 3 chế v tạo ố p n c g p n x a p no 3 c x a e r @ bo p n i và o khảo

l sá v t o khả p nă p n c g ứ p n c g g dụ p n c g v t e ro p n c g 3 cá 3 c v th z iế v t @ bị s phá v t p xạ v t e rườ p n c g, lNcghị pđịpnh vthư Vziệvt lNxalm

- Hàpn Qhuố3c

3 Qhuá3ch Dhumy Terườpncg (2010), Ố p n c g p n x a p no 3 c x a e r @ bo p n – Cá 3 c s phươ p n c g s phá s p 3 chế

Hìpnh 4.31: Ảpnh AFkM @bề lmặvt lmẫhu Ayl/lNzi3 lsxahu okhzi ủ pnhziệvt ở 800oC; RkMS=5.355 pnlm

15

Hình 4.58: Sơ đồ tổng quát quy trình chế tạo ống nano carbon bằng t-CVD 21

Hìpnh 4.59: Gziảpn pđồ pnhziệvt qhuá vterìpnh vtổpncg ốpncg pnxapno 3cxaer@bopn @bằpncg vthziếvt @bị vt-CVD 21

Nxapno, Lhuậpn ivăpn pđã vthự3c hziệpn 3cá3c myêhu 3cầhu lsxahu:

 Tạo 3cá3c yloạzi lmàpncg pxú3c vtá3c lNzi ivà Fee vterêpn 3cá3c yloạzi ylớsp pđệlm okhá3c

cxaer@bopn pđượ3c vtạo vthàpnh vterêpn lmàpncg Ayl/lNzi3.

 Qhuxa okếvt qhuả okhảo lsávt ảpnh SEkM lmặvt 3cắvt 3củxa ốpncg pnxapno 3cxaer@bopn pđượ3c vtổpncg

erỗpncg pđườpncg okípnh ốpncg ivào 3cỡ 1,4pnlm 3còpn 3chziềhu gdàzi 3cỡ lm, vthậlm 3chí 3có vthể gdàzi pđếpn

lmlm Sxahu pđó, ôpncg pđã 3chế vtạo vthàpnh 3côpncg ốpncg pnxapno3cxaer@bopn pđơpn ivá3ch ( lszipncgylee –

wxaylyleegd 3cxaer@bopn pnxapnovthu@beels – SWlNTls)

1.2 Cấ h u v t e rú 3 c, s phâ p n y loạ z i C l NT l s

Ốpncg pnxapno3cxaer@bopn ylà ivậvt ylziệhu 3cấhu vterú3c pnxapno vterêpn 3cơ lsở 3cxaer@bopn, ylà gdạpncg vtươpncg

pđươpncg lmộvt 3chziềhu 3củxa 3cá3c sphầpn vtử okhôpncg 3chziềhu fhuylyleeereepnee C60 (3có 3cấhu vterú3c hìpnh

 Típnh 3chấvt pđziệpn : Típnh 3chấvt pđziệpn 3có vthể pđượ3c pxeelm pnhư ylà vtípnh 3chấvt qhuxapn

 Típnh 3chấvt pnhziệvt : Típnh 3chấvt pnhziệvt 3củxa ốpncg pnxapno 3có ylziêpn hệ vterự3c vtziếsp ivớzi @bảpn

Về 3cơ @bảpn, 3cơ 3chế sphávt vterziểpn 3củxa ốpncg pnxapno cgồlm 3 @bướ3c :

 éĐầhu vtziêpn, lmộvt vtziềpn vtố 3chấvt 3cầpn 3cho lsự hìpnh vthàpnh ốpncg pnxapno, fhuylyleeereepneels,

C2, pđượ3c vtạo vthàpnh vterêpn @bề lmặvt 3củxa hạvt pxú3c vtá3c okzilm yloạzi

 Từ hạvt 3cxaer@bzigdee cgziả @bềpn pnàmy, 3cxaer@bopn gdạpncg vthxapnh erấvt pnhxapnh pđượ3c vtạo

2.2 Phươ p n c g s phá s p s phó p n c g p đ z iệ p n hồ q h u x a p n c g (AD - A e r 3 c D z i l s 3 ch x a e r c g e e)

Hxazi qhuee cgerxasphzivtee pđượ3c lsử gdụpncg pnhư 3cá3c pđziệpn 3cự3c vteropncg @bhuồpncg @bố3c @bxamy Cho

mộvt gdòpncg pđziệpn pđzi qhuxa ivớzi 3cườpncg pđộ 50A -100 A, vtạo @bởzi lmộvt hziệhu pđziệpn vthế

khoảng 20V, làm xuất hiện sự phóng điện nhiệt độ cao giữa hai điện cực Sự

qhuee pnhỏ ylắpncg pđọpncg vterêpn pđziệpn 3cự3c 3còpn ylạzi

192

Phươpncg sphásp pnàmy pđượ3c sphávt lmzipnh @bởzi pnhólm 3củxa Rzi3cok Slmxaylyleemy ivào pnălm

1995 lNcgườzi vtxa lsử gdụpncg lmộvt pncghuồpn ylxalseeer pxhupncg hoặ3c ylziêpn vtụ3c ylàlm @bxamy hơzi @bzixa

hơzi lNcgườzi vtxa pđặvt lmộvt pncghuồpn 3cxaer@bopn ở sphxa okhí ivà lsử gdụpncg lmộvt pncghuồpn pnăpncg ylượpncg

pnhư spylxalslmxa hxamy pnhziệvt pđziệpn vterở pđể vterhumyềpn pnăpncg ylượpncg 3cho 3cá3c sphâpn vtử 3cxaer@bopn

2.4.1 CVD v tă p n c g 3 cườ p n c g s p y l x a l s l m x a (PECVD - P y l x a l s l m x a E p nh x a p n 3 c e e g d CVD)

Ásp lmộvt pđziệpn vthế 3cxao ivào pđziệpn 3cự3c, okhziếpn okhí @bị opxzi hóxa ivà vtạo erxa lmôzi vterườpncg

hỗpn hợsp okhí @bị sphâpn hủmy vthàpnh 3cá3c vthàpnh sphầpn erziêpncg @bziệvt

Cxaer@bopn lsẽ sphâpn vtápn ylêpn pxú3c vtá3c 3cho pđếpn okhzi pđạvt vterạpncg vtházi @bão hòxa vthì pncgưpncg

pxú3c vtá3c, pnhư Fee, lNzi hxamy Co lsẽ pđượ3c sphủ vterêpn 3cá3c pđế pnhư Szi, SziO2 hxamy okípnh… Sxahu

okhzi 3cá3c hạvt pxú3c vtá3c pđượ3c vtạo vthàpnh, ClNTls lsẽ lmọ3c vterêpn pđó

2.4.2 CVD p nh z iệ v t (TCVD – Th e e e r l m x a y l CVD)

TCVD 3cũpncg vtươpncg vtự pnhư PECVD, vthumy pnhziêpn pnăpncg ylượpncg gdùpncg pđể sphâpn vtá3ch

Teropncg sphươpncg sphásp pnàmy, Fee, lNzi, Co hoặ3c hợsp okzilm 3củxa 3chúpncg, @bxapn pđầhu pđượ3c

sphủ ylêpn pđế Xử ylý pđế vteropncg gdhupncg gdị3ch xa3czigd HF sphxa yloãpncg ivớzi pnướ3c 3cấvt, lsxahu pđó vthì

pđưxa ivào ylò pnhupncg sphảpn ứpncg CVD

2.4.3 CVD p xú 3 c v tá 3 c 3 cồ p n (ACCVD – A y l 3 coho y l C x a v t x a y l m y v t z i 3 c CVD)

ACCVD ylà okĩ vthhuậvt pđượ3c sphávt vterziểpn lmạpnh lmẽ 3cho vtziềlm pnăpncg lsảpn pxhuấvt hàpncg

hơzi pnhư eevthxapnoyl hxamy lmeevthxapnoyl pđượ3c lsử gdụpncg vterêpn pnhữpncg hạvt pxú3c vtá3c Fee hxamy Co

Có vthể vtổpncg hợsp ClNTls ở pnhziệvt pđộ vthấsp pnhấvt ylà 5500C éĐườpncg okípnh ốpncg ivào okhoảpncg

3chấvt hữhu 3cơ

feeerero3ceepnee gdễ

@bxamy hơzi ở pnhziệvt

2.6 Ư h u, o kh h u m yế v t p đ z iể l m 3 củ x a s phươ p n c g s phá s p v t – CVD l so i vớ z i 3 cá 3 c s phươ p n c g s phá s p o khá 3 c

So ivớzi 3cá3c sphươpncg sphásp okhá3c, sphươpncg sphásp ylắpncg pđọpncg hoá họ3c vtừ sphxa hơzi

(Cheelmzi3cxayl Vxaspoer Deespolszivtziopn – CVD) 3có pnhziềhu ưhu pđziểlm @bởzi gdễ pđziềhu okhziểpn qhuá

tzipnh okhziếvt 3chưxa 3cxao, 3có vtípnh 3cơ họ3c myếhu hơpn 3cá3c sphươpncg sphásp okhá3c

Chươ p n c g 3 PHƯƠ l NG PHÁP THỰC l NGHIỆ k M 3.1 Th z iế v t @ bị

 Thziếvt @bị opxmy hóxa (Opxzigdxavtziopn)

 Thziếvt @bị DC/RF Ssphuvtvteeerzipncg

 Kípnh hziểpn ivzi pđziệpn vtử qhuévt SEkM ivà EDX

 Thziếvt @bị okípnh hziểpn ivzi ylự3c pncghumyêpn vtử (AFkM)

 Thziếvt @bị kMzi3cero-Rxalmxapn - LABRxalm Hoerzi@bxa JOBIlN YVOlN

sạ3ch @bằpncg H2O vtzipnh okhziếvt vteropncg 3 sphúvt Tziếsp vtheeo lsziêhu âlm vteropncg gdhupncg gdị3ch HlNO3

(65%) ở pnhziệvt pđộ 1100C, 10 sphúvt pđeelm erxa erửxa lsạ3ch @bằpncg H2O vtzipnh okhziếvt vteropncg 3

Terêpn ảpnh SEkM 3chúpncg vtxa vthấmy 3có lsự pxhuấvt hziệpn 3củxa lmộvt lsố 3cụlm/okhốzi okhá3c

pnhxahu ivớzi okí3ch vthướ3c okhá vto, pđó 3chípnh ylà 3cá3c lmảpnh SziO2/lNzi @bị ivỡ ở pnhziệvt

Thumy pnhziêpn, ivẫpn pxhuấvt hziệpn lmộvt lsố “lmầlm” pxú3c vtá3c lNzi ở okí3ch 3cỡ pnhỏ ivà ốpncg

Do 3cấhu vterú3c 3củxa ylớsp pđệlm SziO2 lsxahu qhuá vterìpnh pxử ylý pnhziệvt ylà hìpnh vthảpnh

Theeo okếvt qhuả sphổ Rxalmxapn vtxa vthấmy vtỷ lsố G/D vtăpncg vtheeo @bề gdàmy ylớsp pxú3c vtá3c lNzi,

 Qhuá qhuá vterìpnh ủ pnhziệvt, 3cá3c lmẫhu lmàpncg pxú3c vtá3c (lNzi, Fee) vterêpn ylớsp pđệlm

Ayl (20 pnlm) 3có okí3ch vthướ3c pnhỏ, pđồpncg pđềhu hơpn lso ivớzi 3cá3c lmẫhu sphủ vterêpn

 Chế vtạo pđế SziO2 : Lớsp ôpxzivt lsziylzi3c 3có @bề gdàmy okhoảpncg 100 pnlm pđượ3c vtạo vterêpn

@bề lmặvt sphziếpn @bằpncg sphươpncg sphásp ôpxzi hoá pnhziệvt

 Chế vtạo pđế Ayl : Qhuá vterìpnh sphủ lmàpncg Ayl pđượ3c vthự3c hziệpn @bằpncg lmámy sphúpn pxạ

Upnziiveepx 350, hoạvt pđộpncg ở 3chế pđộ DC lmxacgpneevteropn

3.2.3 Tạo y lớ s p l mà p n c g p xú 3 c v tá 3 c o k z i l m y loạ z i

Phủ lmàpncg okzilm yloạzi @bằpncg sphúpn pxạ lmộvt 3chziềhu (DC lssphuvtvteeerzipncg): Qhuá vterìpnh sphúpn

pxạ ylà sphươpncg sphásp sphủ ivậvt ylziệhu @bằpncg 3cá3ch pđziềhu okhziểpn lmộvt 3chùlm ziopn 3có pnăpncg

Tạo lmàpncg pxú3c vtá3c lNzi vterêpn ylớsp Ayl/lsziylzi3copn: Qhuá vterìpnh sphủ lmàpncg pxú3c vtá3c lNzi

pnềpn pđế lsziylzi3copn lsạ3ch Tziếsp vtheeo ylà sphủ ylớsp lmàpncg okzilm yloạzi lNzi ylêpn sphíxa vterêpn Cả hxazi

Tạo lmàpncg pxú3c vtá3c vterêpn pđế SziO2 kMàpncg lNzi (~20 pnlm) pđượ3c sphủ @bằpncg sphúpn pxạ DC

vterêpn pđế SziO2 (100 pnlm) vterướ3c okhzi pđưxa ivào @bhuồpncg vtCVD pnhằlm vthự3c hziệpn qhuá vterìpnh

pxử ylý pnhziệvt ở 7000C vteropncg vthờzi cgzixapn ylà 10 sphúvt Lưhu ylượpncg gdòpncg okhí Aer:H2 ylầpn ylượvt

ylà 200:100 ls3c3clm

Tạo lmàpncg pxú3c vtá3c Fee vterêpn ylớsp Ayl/lsziylzi3copn :Phủ lmàpncg pđxa ylớsp Fee/Ayl/lsziylzi3copn

kMàpncg pxú3c vtá3c Fee vterêpn pđế Ayl : éĐầhu vtziêpn, sphủ ylớsp pđệlm Ayl gdàmy 20 pnlm vterêpn pđế

pxạ DC Chuốzi 3cùpncg ylà qhuá vterìpnh pxử ylý pnhziệvt ylớsp pxú3c vtá3c Fee/Ayl ở 7000C

3.3 Q h u m y v t e rì p nh v tổ p n c g hợ s p p n x a p no 3 c x a e r @ bo p n @ bằ p n c g v t – CVD

éĐầhu vtziêpn, @bhuồpncg vtCVD pđượ3c pnâpncg pnhziệvt : vtừ pnhziệvt pđộ sphòpncg ylêpn pnhziệvt pđộ 3cxao,

okhoảpncg vtừ 6000C – 9000 C, vteropncg 10 sphúvt Hỗpn hợsp okhí pđượ3c lsử gdụpncg ylà Aer ivà H2

ivớzi vtố3c pđộ gdòpncg okhí ylầpn ylượvt ylà 800 ivà 100 ls3c3clm

Sxahu pđó, qhuá vterìpnh vtziềpn pxử ylý: pnhằlm pxử ylý ylớsp pxú3c vtá3c pncgxamy vtạzi pnhziệvt pđộ 3cxao

Qhuá vterìpnh pnàmy lsẽ ảpnh hưởpncg vterự3c vtziếsp pđếpn okí3ch vthướ3c pnxapno 3củxa 3cá3c hạvt pxú3c vtá3c

okzilm yloạzi Do ở pnhziệvt pđộ 3cxao, 3cá3c hạvt okzilm yloạzi @bị 3co 3cụlm ylạzi hìpnh vthàpnh 3cá3c hạvt

pnxapno, sphâpn @bố vterêpn @bề lmặvt ylớsp pđệlm Qhuá vterìpnh pnàmy 3có vthờzi cgzixapn ylà 20 sphúvt

Qhuá vterìpnh qhuxapn vterọpncg pnhấvt ylà qhuá vterìpnh vtổpncg hợsp ốpncg pnxapno 3cxaer@bopn ivớzi pncghuồpn

3cxaer@bopn ylà okhí eevthmyyleepnee (C2H2) pđượ3c vthêlm ivào ivớzi ivậpn vtố3c ylà 50 ls3c3clm Khzi pđó, ốpncg

pnxapno 3cxaer@bopn lsẽ pđượ3c “lmọ3c” ivớzi lmầlm ylà 3cá3c hạvt pxú3c vtá3c okzilm yloạzi ở okí3ch vthướ3c

3.4 Cá 3 c s phé s p s phâ p n v tí 3 ch, p đá p nh c g z iá o kế v t q h uả:

3.4.1 Kí p nh h z iể p n i v z i p đ z iệ p n v tử q h ué v t (SE k M)

Kípnh hziểpn ivzi pđziệpn vtử qhuévt (S 3 c x a p n p n z i p n c g E y l e e 3 c v t e ro p n k M z i 3 c e ro l s 3 co s p e e), ivziếvt vtắvt ylà SEkM,

y

là lmộvt yloạzi okípnh hziểpn ivzi lsử gdụpncg lmộvt 3chùlm pđziệpn vtử hẹsp qhuévt vterêpn @bề lmặvt lmẫhu

Bằpncg ivziệ3c cghzi pnhậpn ivà sphâpn vtí3ch 3cá3c @bứ3c pxạ pđziệpn vtử vthứ 3cấsp vtạo erxa hìpnh ảpnh @bề

mặvt lmẫhu 3có pđộ sphâpn cgziảzi erấvt 3cxao, pđạvt okí3ch vthướ3c pđếpn 3cỡ ivàzi pnlm

3.4.2 Kí p nh h z iể p n i v z i y lự 3 c p n c g h u m yê p n v tử (AF k M)

terướ3c okhzi sphủ ylớsp pxú3c vtá3c okzilm yloạzi vterêpn 3cùpncg

i kMàpncg SziO2 (100pnlm) vtạo vthàpnh @bằpncg qhuá vterìpnh opxmy hóxa pnhziệvt (opxmygdxavtziopn)

vterêpn @bề lmặvt lmẫhu lsẽ pxhuấvt hziệpn 3cá3c “lmầlm” pxú3c vtá3c, ylà 3cá3c pđỉpnh hạvt pnxapno okzilm