Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va trạm electron của phân tử khí tries và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

[28][27] BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC SƢ PHẠM KỸ THUẬT HƢNG YÊN PHAN THỊ TƢƠI XÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HĨA YẾU TRONG VA CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỬ KHÍ TRIES VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO VI MẠCH Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử Mã số: 9520203 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT HƢNG YÊN - 2022 BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC SƢ PHẠM KỸ THUẬT HƢNG YÊN PHAN THỊ TƢƠI XÁC ĐỊNH CÁC THUỘC TÍNH PLASMA ION HĨA YẾU TRONG VA CHẠM ELECTRON CỦA PHÂN TỬ KHÍ TRIES VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG TRONG CÔNG NGHỆ CHẾ TẠO VI MẠCH Chuyên ngành: Kỹ thuật điện tử Mã số: 9520203 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT NGƢỜI HƢỚNG DẪN KHOA HỌC: PGS TS Đỗ Anh Tuấn PGS TS Phạm Ngọc Thắng HƢNG YÊN - 2022 LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu riêng tơi Các số liệu, kết nêu luận án hoàn toàn trung thực chƣa đƣợc công bố cơng trình khoa học khác, liệu tham khảo đƣợc trích dẫn đầy đủ Hưng Yên, ngày tháng Tác giả luận án Phan Thị Tƣơi i năm LỜI CẢM ƠN Trƣớc tiên, bày tỏ kính trọng xin gửi lời cảm ơn sâu sắc tới tập thể giáo viên hƣớng dẫn, PGS.TS Đỗ Anh Tuấn PGS.TS Phạm Ngọc Thắng luôn nhiệt tình bảo ln động viên để tơi hồn thành luận án Tiếp theo, gửi lời cảm ơn tới Phòng Đào tạo, Trƣờng Đại học SPKTHY cán công tác trƣờng giúp đỡ tơi q trình học tập, nghiên cứu khoa học có ý kiến đóng góp quý báu nội dung, bố cục luận án Tôi xin gửi lời cảm ơn đến tập thể thầy cô nơi công tác khoa ĐiệnĐiện tử trƣờng đại học SPKTHY động viên chân thành san sẻ công việc chuyên môn để yên tâm thực nội dung luận án Cuối cùng, muốn gửi lời cảm ơn tới gia đình tơi, ln động viên tơi để tơi có động lực tâm thực thành công luận án Hưng Yên, ngày tháng Tác giả luận án Phan Thị Tƣơi ii năm MỤC LỤC Trang LỜI CAM ĐOAN i LỜI CẢM ƠN ii MỤC LỤC iii DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU, CÁC CHỮ VIẾT TẮT vii DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ x DANH MỤC BẢNG xiii MỞ ĐẦU .1 Tính cấp thiết đề tài luận án Mục tiêu nghiên cứu 3 Đối tƣợng nghiên cứu phạm vi nghiên cứu Nội dung nghiên cứu Phƣơng pháp nghiên cứu Ý nghĩa khoa học thực tiễn luận án Bố cục luận án CHƢƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ ỨNG DỤNG CÔNG NGHỆ PLASMA TRONG KỸ THUẬT VI ĐIỆN TỬ 1.1 Giới thiệu tổng quan plasma chế tạo vi mạch điện tử 1.1.1 Khái niệm phân loại plasma 1.1.2 Một số dạng phóng điện tạo plasma 1.2 Sự cần thiết plasma vi mạch điện tử 1.2.1 Quá trình plasma vi mạch điện tử 1.2.2 Ứng dụng lắng đọng hóa học tăng cƣờng plasma TRIES chế tạo vi mạch điện tử 12 1.3 Phần mềm sử dụng tiết diện va chạm để mơ mơ hình plasma 16 1.4 Tiết diện va chạm electron phóng điện khí 19 1.5 Các hệ số chuyển động electron phóng điện khí 21 iii 1.6 Tính chất vật lý, hóa học chất khí 24 1.6.1 Khí TRIES (Triethoxysilane) 24 1.6.2 Khí Oxi (O2) [9] 25 1.6.3 Khí Argon (Ar) [7] 25 1.6.4 Khí Krypton (Kr) [65] 26 1.6.5 Khí Xenon (Xe) [64] 26 1.6.6 Khí Helium (He) [35] 27 1.6.7 Khí Neon (Ne) [64] 27 1.7 Các tiết diện va chạm electron phân tử khí O2 nguyên tử khí Ar, Kr, Xe, He, Ne 28 1.7.1 Bộ tiết diện va chạm electron phân tử khí O2 28 1.7.2 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí Ar 29 1.7.3 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí Kr 30 1.7.4 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí Xe 31 1.7.5 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí He 32 1.7.6 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí Ne 33 1.8 Kết luận Chƣơng 35 CHƢƠNG 2: CƠ SỞ LÝ THUYẾT ĐỂ TÍNH TỐN DỮ LIỆU TẠO NGUỒN PLASMA 36 2.1 Phƣơng trình xấp xỉ bậc hai Boltzmann 37 2.2 Phƣơng trình liên tục 42 2.2.1 Lời giải phƣơng trình Boltzmann 44 2.2.2 Các bƣớc tính tốn lý thuyết giả thiết thực tính tốn 45 2.3 Phƣơng pháp Monte - Carlo 48 2.4 Phƣơng pháp đám electron 52 2.5 Kết luận Chƣơng 55 iv CHƢƠNG 3: BỘ TIẾT DIỆN VA CHẠM ELECTRON, HỆ SỐ CHUYỂN ĐỘNG CỦA KHÍ TRIES VỚI CÁC CHẤT KHÍ KHÁC NHAU 56 3.1 Xác định tiết diện va chạm electron phân tử khí TRIES 56 3.2 Các hệ số chuyển động electron hỗn hợp khí TRIES với O2, Ar, Kr, Xe, He Ne 64 3.2.1 Vận tốc chuyển động electron (W) 64 3.2.2 Các hệ số khuếch tán theo chiều dọc mật độ đặc trƣng tỷ lệ hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (NDL DL/µ) 71 3.2.3 Các hệ số ion hóa va chạm (α/N) 83 3.3 Khả ứng dụng công nghệ chế tạo vi mạch 90 3.4 Kết luận Chƣơng 91 KẾT LUẬN VÀ HƢỚNG NGHIÊN CỨU TIẾP THEO 93 1.Những kết đạt đƣợc luận án 93 Những đóng góp luận án 93 DANH MỤC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC ĐÃ ĐƢỢC CƠNG BỐ .96 TÀI LIỆU THAM KHẢO 97 PHỤ LỤC P-1 Phụ lục Bảng hiển thị kết tính tốn sử dụng thuật tốn giải hệ hai phƣơng trình xấp xỉ Boltzmann đƣợc lấy từ kết chạy chƣơng trình P-1 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm phân tử khí TRIES P-3 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm phân tử khí O2 P-6 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Ar .P-13 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Kr .P-17 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Xe P-19 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí He P-27 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Ne P-39 v Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm khí TRIES cho vào phần mềm mô Multiphysic Comsol P-45 vi DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU, CÁC CHỮ VIẾT TẮT STT Các thuật ngữ viết tắt Nghĩa Tiếng Anh Nghĩa Tiếng Việt Alternating Dòng điện xoay chiều AC APCVD Atmospheric-pressure chemical vapor deposition Phƣơng pháp lắng đọng hóa học áp suất khí Ar Argon Khí argon AST ASIC CVD Chemical Vapour CF4 Fluorocarbon DRAM DC 10 DBD 11 DL 12 DL/µ 13 ECR Electron cyclotron resonance 14 EEDF Electron energy distribution function 15 He 16 HMDSO Arrival-time spectral phƣơng pháp phổ thời gian Application specific intergrated Ứng dụng cho mạch circuit tích hợp Deposition Lắng đọng hóa học plasma Khí Fluorocarbon Dynamic random access memory Bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên Direct current Dịng điện chiều Dielectric-barrier discharges Phóng điện tĩnh The longitudinal diffusion coefficient Hệ số khuếch tán dọc The longitudinal diffusion Hệ số khuếch tán dọc coefficient to the electron mobility theo mật độ electron Helium Plasma cộng hƣởng cyclotron Hàm phân phối lƣợng electron Khí Helium Hexamethyldisiloxane vii Khí Hexamethyldisiloxane 17 IC Integrated circuit Mạch tích hợp 18 ITO Indium-tin- oxide Thiếc oxit 19 Kr Krypton Khí krypton 20 LSI Large scale integration Tích hợp quy mơ lớn 21 LPCVD 22 MOS 23 Low-pressure chemical vapor deposition Phƣơng pháp lắng đọng hóa học áp suất thấp Metal oxide semiconductor Bán dẫn oixít kim loại MEMS Micro electro mechanical systems Hệ vi điện tử 24 NaOH Natri hiđroxit Khí Natri hiđroxit 25 Ne Neon Khí Neon 26 NDL density-normalized longitudinal Hệ số khuếch tán dọc diffusion coefficient theo mật độ đặc trƣng 27 O2 Oxy Khí oxy 28 PDP 29 PECVD Plasma display panel Plasma – enhanced chemical vapor deposion Công nghệ hiển thị plasma Phƣơng pháp lắng đọng hóa học tăng cƣờng plasma The momentum transfer cross Tiết diện chuyển động section bảo toàn động lƣợng Qi The ionization cross section Tiết diện ion hóa 32 Qv Vibrational excitation cross sections Tiết điện kích thích 33 Qd The dissociation cross section Tiết diện phân ly 34 GIS Gas insulated switchgear Máy cắt sử dụng khí 35 T Temperature Nhiệt độ 36 TEOS Tatraethoxysilane (Si(OC2H5)4) 37 TMS Tetramethylsilane (Si(CH3)4) 30 Qm 31 viii Khí Tatraethoxysilane (Si(OC2H5)4) Khí Tetramethylsilane (Si(CH3)4) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) 400 0,00113 600 2,95E-4 600 0,0115 500 9,32E-4 800 2,2E-4 800 0,00935 600 7,86E-4 1000 1,75E-4 1000 0,00795 800 5,97E-4 1000 4,77E-4 ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 23,67 23,71 23,74 23,74 23,74 23,74 24 1,2E-4 24 8,5E-5 24 1,4E-5 24 4E-5 24 2,3E-5 24 2,25E-5 25 5E-4 25 4,3E-4 25 6,1E-5 25 1,9E-4 25 9E-5 25 1,04E-4 26 9,3E-4 26 7,5E-4 26 1.1E-4 26 3,4E-4 26 1,6E-4 26 1,83E-4 28 0,00175 28 0,00138 28 2.1E-4 28 6,2E-4 28 3E-4 28 3,27E-4 30 0,00239 30 0,002 30 3,06E-4 30 8,68E-4 30 4,08E-4 30 4,05E-4 32 0,0026 32 0,00258 32 3,69E-4 32 0,00105 31 4,31E-4 32 4,27E-4 35 0,0025 34 0,00282 35 3,87E-4 35 0,00124 32 4,35E-4 35 4,25E-4 40 0,00218 35 0,00283 40 3,25E-4 40 0,00138 35 4,15E-4 40 3,75E-4 45 0,00192 37 0,00277 45 2,55E-4 45 0,00141 40 3,35E-4 45 3,15E-4 50 0,00173 40 0,00251 50 2,06E-4 50 0,00139 45 2,6E-4 50 2,7E-4 P-33 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 60 0,00154 45 0,00195 60 1,41E-4 60 0,00123 50 2,1E-4 60 2,09E-4 70 0,00138 50 0,00147 70 1,02E-4 70 0,00107 60 1,41E-4 70 1,67E-4 80 0,00124 60 8,72E-4 80 7,8E-5 80 9,6E-4 70 1,01E-4 80 1,39E-4 90 0,00116 70 5,79E-4 90 6,11E-5 90 8,5E-4 80 8,9E-5 90 1,17E-4 100 0,00109 80 4,05E-4 100 7,68E-4 90 5,9E-5 100 1E-4 120 9,57E-4 90 2,94E-4 120 6,4E-4 150 8,28E-4 100 2,32E-4 150 5,26E-4 200 7,05E-4 120 1,55E-4 200 3,98E-4 250 6,16E-4 150 9,55E-5 250 3,15E-4 300 5,45E-4 300 2,6E-4 400 4,34E-4 400 1,97E-4 500 3,57E-4 500 1,62E-4 600 3,01E-4 600 1,35E-4 800 2,29E-4 800 1,01E-4 1000 1,83E-4 1000 8E-5 23,74 23,97 24,01 24,03 P-34 24,04 24,05 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 24 1,33E-4 25 1,6E-4 25 2,4E-4 25 2E-4 25 1E-4 25 2E-4 25 5,5E-4 28 5,4E-4 28 8,45E-4 28 7E-4 28 3,6E-4 26 3,7E-4 26 9,5E-4 30 6,7E-4 30 0,00117 30 0,00102 30 5E-4 28 8,6E-4 28 0,00182 32 6,6E-4 32 0,00127 32 0,00131 32 6E-4 30 0,00131 30 0,0027 35 5,6E-4 35 0,00122 35 0,00144 35 7,1E-4 32 0,00169 32 0,00352 40 4E-4 40 0,00106 40 0,00128 40 7,9E-4 35 0,00217 35 0,00448 45 3,1E-4 45 9,37E-4 45 9,9E-4 45 8,1E-4 40 0,00283 40 0,0058 50 2,4E-4 50 8,44E-4 50 7,5E-4 50 8E-4 45 0,00335 45 0,00678 60 1,49E-4 60 7,52E-4 60 4,4E-4 60 7,1E-4 50 0,00379 50 0,00766 70 9,3E-5 70 6,73E-4 70 2,9E-4 70 6,2E-4 60 0,00435 60 0,0087 80 6,05E-4 80 2,06E-4 80 5,5E-4 70 0,0047 70 0,0094 90 5,61E-4 90 1,49E-4 90 4,9E-4 80 0,00495 80 0,00995 100 5,3E-4 100 1,18E-4 100 4,4E-4 90 0,00515 90 0,0104 120 4,67E-4 120 7,9E-5 120 3,7E-4 100 0,0053 100 0,0107 150 4,04E-4 150 3E-4 120 0,0053 120 0,0107 200 3,44E-4 200 2,29E-4 150 0,00495 P-35 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 150 0,00999 250 3,01E-4 250 1,81E-4 200 0,00428 200 0,00864 300 2,66E-4 300 1,5E-4 250 0,00376 250 0,0076 400 2,12E-4 400 1,13E-4 300 0,00342 300 0,00691 500 1,74E-4 500 9,3E-5 400 0,00292 400 0,00589 600 1,47E-4 500 0,00257 500 0,00519 800 1,12E-4 600 0,00226 600 0,0045 1000 8,9E-5 800 0,00185 800 0,00365 1000 0,00157 1000 0,00312 24.19 24,21 24,59 150 0,362 25 1,3E-4 25 1E-4 25 0,0052 200 0,34 28 4,8E-4 26 2,18E-4 25,5 0,0113 250 0,312 30 6,58E-4 28 4,5E-4 26 0,0175 300 0,284 32 7,14E-4 30 6,74E-4 27 0,029 400 0,242 35 6,86E-4 32 9,03E-4 28 0,0413 500 0,211 40 5,96E-4 35 0,0012 29 0,0531 600 0,187 P-36 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) 45 5,27E-4 40 0,00159 30 0,0647 800 0,152 50 4,74E-4 45 0,00189 32 0,0875 1000 0,13 60 4,23E-4 50 0,00212 34 0,109 70 3,78E-4 60 0,00241 36 0,129 80 3,4E-4 70 0,00262 38 0,148 90 3,15E-4 80 0,00278 40 0,164 100 2,98E-4 90 0,00291 42 0,179 120 2,63E-4 100 0,003 45 0,199 150 2,27E-4 120 0,00302 50 0,231 200 1,93E-4 150 0,00282 55 0,255 250 1,69E-4 200 0,00244 60 0,274 300 1,5E-4 250 0,00214 65 0,292 400 1,19E-4 300 0,00195 70 0,307 500 9,8E-5 400 0,00166 75 0,321 500 0,00146 80 0,332 600 0,00129 90 0,348 P-37 ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) 800 0,00105 100 0,358 1000 8,96E-4 120 0,367 ε (eV) P-38 Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Ne ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex1 ε (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) 0,161 1,99 16,62 18,85 0,00358 16,67 60 0,0098 3E-4 0,192 2,07 16,65 4E-4 18,9 16,8 70 0,0091 1E-3 0,214 2,14 16,7 18,92 0,00356 16,85 0,0011 80 0,0085 0,002 0,229 2,22 16,75 0,00166 18,97 0,00488 16,95 0,0028 100 0,0076 0,003 0,241 2,27 16,8 19 17 0,0026 120 0,007 0,004 0,253 10 2,42 16,85 0,00289 19,05 0,00397 17,2 0,0019 140 0,0065 0,005 0,263 12 2,54 16,9 19,1 17,4 0,0018 160 0,00605 0,006 0,274 15 2,73 16,95 0,00358 19,15 0,0041 17,6 0,0018 200 0,0054 0,008 0,294 20 2,93 17 0,00268 20 0,0059 17,8 0,002 300 0,00445 0,01 25 2,95 17,1 0,00216 21 0,0077 18 0,0022 500 0,00346 0,012 0,33 30 2,91 17,2 0,00203 22 0,0088 18,2 0,0024 1000 0,00245 0,015 0,353 40 2,74 17,3 0,00205 23 0,0096 18,4 0,0026 0,02 0,386 50 2,49 17,4 0,00211 24 0,01 18,6 0,0029 0,025 0,415 60 2,22 17,5 0,00221 25 0,0103 18,7 0,004 0,03 80 1,8 17,65 0,00244 26 0,01045 18,8 0,003 0,314 0,442 1E-3 0,00207 0,00439 P-39 0,00356 0,00398 0,004 8E-4 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 (eV) ε Qex1 ε (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) 0,04 0,491 100 1,44 17,8 0,00268 27 0,0105 19 0,0033 0,05 0,535 120 1,19 18 0,00304 28 0,0104 20 0,0043 0,06 0,576 150 0,878 18,1 0,00325 29 0,0103 21 0,0051 0,07 0,611 200 0,616 18,2 0,00345 30 0,0101 22 0,0058 0,08 0,646 250 0,466 18,3 0,00358 31 0,0098 23 0,0066 0,1 0,707 300 0,372 18,38 0,00363 32 0,0094 24 0,0075 0,12 0,762 400 0,259 18,4 0,00358 33 0,009 25 0,0084 0,15 0,835 500 0,193 18,44 0,00337 35 0,008 26 0,0092 0,2 0,94 600 0,15 18,46 0,00338 40 0,0063 27 0,0098 0,25 1,03 800 0,101 18,49 0,00335 45 0,00515 28 0,0104 0,3 1,11 1000 0,0721 18,5 0,00338 50 0,00425 29 0,0109 0,4 1,23 18,55 0,00407 60 0,00305 30 0,0116 0,5 1,33 18,58 0,00683 70 0,0023 31 0,0117 0,6 1,415 18,6 80 0,0018 32 0,0119 0,7 1,48 18,61 0,00468 90 0,00144 33 0,012 0,8 1,535 18,64 0,00553 100 0,00118 34 0,012 0,0052 P-40 ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex1 ε (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) 1,62 18,65 0,00494 120 8,5E-4 35 0,0121 1,2 1,685 18,67 0,00764 150 5,6E-4 37 0,012 1,5 1,75 18,7 0,00569 200 3,4E-4 39 0,0119 1,83 18,75 0,00382 300 1,6E-4 40 0,0119 2,5 1,88 18,8 350 1,2E-4 45 0,0113 1,92 390 1E-4 50 0,0108 0,00356 ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) 16,72 18,85 8,2E-4 16,85 70 0,116 18,38 18,97 16,75 1,4E-4 18,9 16,95 0,0119 80 0,116 18,4 0,0013 19,2 8E-4 16,8 18,92 8,2E-4 17 0,011 90 0,113 18,5 0,0028 19,5 0,0017 16,85 6,5E-4 18,97 0,00112 17,2 0,008 100 0,109 18,7 0,0053 19,7 0,0022 16,9 19 9,2E-4 17,4 0,0076 120 0,103 19 0,0085 20 0,003 16,95 8,2E-4 19,05 9,1E-4 17,6 0,0078 140 0,095 19,5 0,0135 20,2 0,0035 17 6,2E-4 19,1 17,8 0,0085 160 0,088 20 0,0179 20,5 0,0042 17,1 5E-4 19,15 9,4E-4 18 0,0094 180 0,0825 21 0,0236 21 0,0056 17,2 4,7E-4 20 0,0015 18,2 0,0103 200 0,079 22 0,027 22 0,0078 17,3 4,7E-4 21 0,00183 18,4 0,011 250 0,069 23 0,0297 23 0,01 3,1E-4 0,00101 8,2E-4 9,2E-4 P-41 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 (eV) ε Qex1 ε (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) 0,062 24 300 Qex2 ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) 0,0315 24 0,012 (×10-16 cm ) 17,4 4,9E-4 22 0,00206 18,6 0,0124 17,5 5,1E-4 23 0,00222 18,7 0,017 25 0,0323 25 0,014 17,65 5,6E-4 24 0,00233 18,8 0,0129 26 0,0326 26 0,0157 17,8 6,2E-4 25 0,0024 19 0,014 27 0,0326 27 0,0174 18 7E-4 26 0,00242 20 0,0195 28 0,0323 28 0,019 18,1 7,5E-4 27 0,00241 21 0,0255 29 0,0319 29 0,0204 18,2 7,9E-4 28 0,00239 22 0,0315 30 0,03124 30 0,0213 18,3 8,2E-4 29 0,00235 23 0,0375 32 0,0302 31 0,0224 18,38 8,4E-4 30 0,00233 24 0,0435 34 0,0292 32 0,0231 18,4 8,2E-4 32 0,00223 25 0,048 36 0,0286 33 0,0238 18,44 7,7E-4 35 0,00208 26 0,054 40 0,0279 35 0,0246 18,46 7,8E-4 40 0,00178 27 0,059 50 0,02444 40 0,0255 18,49 7,7E-4 50 0,00122 28 0,0635 60 0,0221 45 0,0251 18,5 7,8E-4 60 7,7E-4 29 0,068 80 0,0187 50 0,0243 18,55 9,4E-4 70 4,8E-4 30 0,072 100 0,0162 60 0,022 18,58 0,00157 80 3,2E-4 32 0,0775 120 0,0146 70 0,0199 P-42 ε (eV) 18,6 Qm (×10-16 cm ) 0,0012 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex1 ε (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) 90 2,2E-4 34 0,0825 150 0,0125 80 0,0181 18,61 0,00108 100 1,6E-4 35 0,085 200 0,0104 90 0,0168 18,64 0,00127 120 9E-5 40 0,096 300 0,008 100 0,0153 18,65 0,00114 150 5E-5 45 0,103 120 0,013 18,67 0,00176 200 2E-5 50 0,109 140 0,0113 18,7 250 1E-5 55 0,112 160 0,01 18,75 8,8E-4 60 0,113 180 0,009 18,8 65 0,115 200 0,0082 0,00131 8,2E-4 19,66 33 0,0304 21,56 30,5 0,108 100 0,667 19,8 1,5E-4 34 0,031 21,7 1E-3 31 0,115 110 0,7 20 4E-4 35 0,0318 22 0,0033 31,5 0,121 120 0,725 20,2 0,00105 36 0,032 22,2 0,0056 32 0,128 130 0,743 20,5 0,0018 38 0,0326 22,5 0,0089 33 0,142 140 0,757 20,7 0,0027 40 0,033 23 0,0146 34 0,154 150 0,773 21 0,0038 43 0,0329 23,5 0,0202 36 0,18 175 0,781 21,5 0,0059 45 0,0327 24 0,026 38 0,205 187,5 0,783 P-43 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 (eV) ε Qex1 ε (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) 22 0,0084 50 0,031 24,5 0,0321 40 0,228 200 0,781 23 0,0122 60 0,0282 25 0,038 45 0,282 250 0,757 24 0,0156 70 0,026 25,5 0,0438 50 0,338 300 0,722 25 0,0184 80 0,0241 26 0,0498 55 0,392 350 0,686 26 0,0211 90 0,0225 26,5 0,0567 60 0,436 400 0,652 27 0,0234 100 0,0211 27 0,0632 65 0,477 450 0,616 28 0,0252 120 0,0191 27,5 0,0697 70 0,514 500 0,587 29 0,0268 140 0,0175 28 0,0762 75 0,547 600 0,528 30 0,0282 160 0,0162 28,5 0,0825 80 0,577 700 0,484 31 0,029 200 0,0142 29 0,088 85 0,605 800 0,444 32 0,03 29,5 0,0959 90 0,628 900 0,414 30 0,102 95 0,649 1000 0,386 P-44 ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm khí TRIES cho vào phần mềm mơ Multiphysic Comsol ε (eV) Qm ε (eV)) Qm ε (eV) ε (eV) Qv1 ELASTIC TRIES 6.654e-6/mass EXCITATION1 TRIES 1.1300e+01/thresh ratio old energy Qv1 0.00E+00 3.00E-18 1.02E+01 5.50E-19 1.13E+01 0.00E+00 7.43E+01 9.83E-20 1.03E-01 2.27E-18 1.13E+01 4.67E-19 1.03E+01 1.00E-20 7.77E+01 7.12E-20 1.12E-01 2.08E-18 1.27E+01 3.82E-19 1.14E+01 2.90E-20 7.90E+01 5.19E-20 1.21E-01 1.90E-18 1.37E+01 3.21E-19 1.17E+01 4.41E-20 8.14E+01 3.76E-20 1.33E-01 1.74E-18 1.50E+01 2.65E-19 1.28E+01 6.27E-20 8.37E+01 9.83E-20 1.45E-01 1.59E-18 1.63E+01 2.26E-19 1.85E+01 8.48E-20 8.51E+01 9.83E-20 1.59E-01 1.46E-18 1.75E+01 1.92E-19 1.58E+01 1.08E-19 8.62E+01 7.12E-20 1.71E-01 1.31E-18 1.87E+01 1.69E-19 1.80E+01 1.31E-19 9.04E+01 5.19E-20 1.85E-01 1.18E-18 2.04E+01 1.44E-19 2.10E+01 1.61E-19 9.17E+01 3.76E-20 1.98E-01 1.07E-18 2.18E+01 1.27E-19 1.90E-19 9.45E+01 2.65E-20 2.12E-01 9.68E-19 2.41E+01 1.04E-19 2.95E+01 2.26E-19 9.91E+01 1.86E-20 2.34E-01 8.41E-19 2.66E+01 8.70E-20 3.49E+01 2.53E-19 1.04E+00 1.40E-20 3.42E-01 7.33E-19 3.26E+01 6.21E-20 4.40E+01 2.78E-19 1.10E+00 1.04E-20 4.08E-01 5.44E-19 5.29E+01 2.96E-19 1.15E+00 1.58E-21 4.81E-01 4.55E-19 6.43E+01 2.83E-19 1.18E+00 1.19E-21 6.02E-01 3.92E-19 7.01E+01 2.33E-19 1.22E+00 9.16E-22 2.387E+1 P-45 7.51E-01 3.37E-19 7.23E+01 1.80E-19 1.28E+00 6.88E-22 8.82E-01 2.93E-19 7.33E+01 1.38E-19 1.38E+00 5.47E-22 1.01E+00 2.78E-19 1.44E+00 4.38E-22 1.20E+00 2.72E-19 1.53E+00 3.51E-22 1.42E+00 2.83E-19 1.63E+00 2.71E-22 1.64E+00 2.97E-19 1.75E+00 2.17E-22 1.83E+00 3.37E-19 1.89E+00 1.63E-22 2.02E+00 3.59E-19 2.04E+00 1.26E-22 2.24E+00 4.07E-19 2.20E+00 1.04E-22 4.55E-19 2.31E+00 8.85E-23 ε (eV) Qv2 ε (eV) Qv2 ε (eV) ε (eV) Qd EXCITATION2 TRIES 2.7100e+1/thresh old energy Qi IONIZATION TRIES 1.0600e+2 /threshold energy 2.71E+01 6.33E+00 0.00E+00 3.60E+00 0.00E+00 1.06E+02 0.00E+00 4.28E+01 6.82E+00 1.01E-20 7.29E+00 1.02E-20 1.16E+01 1.05E-20 5.02E+01 7.37E+00 1.13E-20 8.54E+00 3.25E-20 1.22E+01 1.47E-20 5.75E+01 8.04E+00 1.25E-20 8.90E+00 4.62E-20 1.26E+01 1.82E-20 P-46 6.56E+01 8.69E+00 1.35E-20 9.17E+00 5.97E-20 1.29E+01 2.22E-20 7.59E+01 1.46E-20 9.79E+00 4.53E-21 9.30E+00 7.12E-20 1.34E+01 2.75E-20 8.58E+01 1.60E-20 1.09E+01 3.53E-21 9.43E+00 8.22E-20 1.40E+01 3.36E-20 9.68E+01 1.77E-20 1.25E+01 2.55E-21 9.99E+00 9.20E-20 1.46E+01 4.48E-20 1.07E+00 1.99E-20 1.45E+01 1.85E-21 1.13E+01 9.67E-20 1.53E+01 5.62E-20 1.22E+00 2.26E-20 1.69E+01 1.30E-21 1.27E+01 9.49E-20 1.62E+01 6.57E-20 1.44E+00 2.72E-20 1.96E+01 9.77E-22 1.52E+01 9.17E-20 1.67E+01 7.49E-20 1.65E+00 3.42E-20 9.00E+01 0.00E+00 2.00E+01 8.49E-20 1.73E+01 8.59E-20 1.92E+00 4.28E-20 1.00E+02 0.00E+00 3.00E+01 7.45E-20 1.84E+01 9.98E-20 2.13E+00 5.34E-20 2.00E+01 1.12E-19 2.41E+00 6.67E-20 2.18E+01 1.17E-19 2.72E+00 8.39E-20 2.34E+01 1.21E-19 3.16E+00 1.01E-19 2.66E+01 1.21E-19 3.67E+00 1.05E-19 3.02E+01 1.19E-19 4.15E+00 1.01E-19 3.39E+01 1.13E-19 4.61E+00 9.21E-20 4.13E+01 1.01E-19 5.20E+00 7.38E-20 P-47