(Đồ án hcmute) nghiên cứu phát triển và thiết kế hệ điều khiển điện đo đặc tính đầu ra cho bộ định vị sử dụng cơ cấu mềm trong hệ thống định vị chính xác

BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT THÀNH PHỐ HỒ CHÍ MINH ĐỒ ÁN TỐT NGHIỆP NGÀNH CNKT CƠ ĐIỆN TỬ NGHIÊN CỨU PHÁT TRIỂN VÀ THIẾT KẾ HỆ ĐIỀU KHIỂN ĐIỆN ĐO ĐẶC TÍNH ĐẦU RA CHO BỘ ĐỊNH VỊ SỬ DỤNG CƠ CẤU MỀM TRONG HỆ THỐNG ĐỊNH VỊ CHÍNH XÁC GVHD: ThS LÊ PHAN HƯNG GVC ThS ĐẶNG MINH PHỤNG SVTH: TRƯƠNG PHAN NHỰT BIÊN NGUYỄN ĐÌNH HIỆP SKL010413 Tp Hồ Chí Minh, tháng năm 2023 TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT TP.HỒ CHÍ MINH KHOA CƠ KHÍ CHẾ TẠO MÁY ĐỒ ÁN TỐT NGHIỆP NGHIÊN CỨU PHÁT TRIỂN VÀ THIẾT KẾ HỆ ĐIỀU KHIỂN ĐIỆN ĐO ĐẶC TÍNH ĐẦU RA CHO BỘ ĐỊNH VỊ SỬ DỤNG CƠ CẤU MỀM TRONG HỆ THỐNG ĐỊNH VỊ CHÍNH XÁC SVTH: TRƯƠNG PHAN NHỰT BIÊN MSSV: 18146266 SVTH: NGUYỄN ĐÌNH HIỆP MSSV: 16146318 Ngành: CNKT CƠ ĐIỆN TỬ GVHD: ThS LÊ PHAN HƯNG GVC ThS ĐẶNG MINH PHỤNG TP Hồ Chí Minh, Tháng năm 2023 TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT TP HCM CỘNG HOÀ XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM KHOA CƠ KHÍ CHẾ TẠO MÁY Độc lập - Tự – Hạnh phúc PHIẾU NHẬN XÉT ĐỒ ÁN TỐT NGHIỆP (Dành cho giảng viên hướng dẫn) Họ tên sinh viên: Trương Phan Nhựt Biên MSSV: 18146266 Hội đồng: Họ tên sinh viên: Nguyễn Đình Hiệp MSSV: 16146318 Hội đồng: Mã số đề tài: 221DT09 Tên đề tài: Nghiên cứu phát triển thiết kế hệ điều khiển điện đo đặc tính đầu cho định vị sử dụng cấu mềm hệ thống định vị xác Ngành đào tạo: Cơng nghệ Kỹ thuật Cơ điện tử Họ tên GV hướng dẫn: ThS Lê Phan Hưng GVC ThS Đặng Minh Phụng Ý KIẾN NHẬN XÉT Nhận xét tinh thần, thái độ làm việc sinh viên …………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… …………………………………………………………………………………………………………………… Nhận xét kết thực ĐATN 2.1 Kết cấu, cách thức trình bày ĐATN: …………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… 2.2 Nội dung đồ án: (Cơ sở lý luận, tính thực tiễn khả ứng dụng đồ án, hướng nghiên cứu tiếp tục phát triển) …………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… 2.3 Kết đạt được: …………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… 2.4 Những tồn (nếu có): …………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… ……………………………………………………………………………………………………………………… Đánh giá: Mục đánh giá TT Hình thức kết cấu ĐATN Điểm Điểm đạt tối đa 30 Đúng format với đầy đủ hình thức nội dung mục 10 Mục tiêu, nhiệm vụ, tổng quan đề tài 10 Tính cấp thiết đề tài 10 Nội dung ĐATN 50 Khả ứng dụng kiến thức toán học, khoa học kỹ thuật, khoa học xã hội… Khả thực hiện/phân tích/tổng hợp/đánh giá 10 Khả thiết kế chế tạo hệ thống, thành phần, quy trình đáp ứng yêu cầu đưa với ràng buộc thực tế 15 Khả cải tiến phát triển 15 Khả sử dụng công cụ kỹ thuật, phần mềm chuyên ngành… Đánh giá khả ứng dụng đề tài 10 Sản phẩm cụ thể ĐATN 10 Tổng điểm 100 Kết luận: ◻ Được phép bảo vệ ◻ Không phép bảo vệ TP.HCM, ngày tháng năm 20… Giảng viên hướng dẫn ((Ký, ghi rõ họ tên) TRƯỜNG ĐẠI HỌC SƯ PHẠM KỸ THUẬT TP HCM CỘNG HOÀ XÃ HỘI CHỦ NGHĨA VIỆT NAM KHOA CƠ KHÍ CHẾ TẠO MÁY Độc lập - Tự – Hạnh phúc PHIẾU NHẬN XÉT ĐỒ ÁN TỐT NGHIỆP (Dành cho giảng viên phản biện) Họ tên sinh viên: Trương Phan Nhựt Biên MSSV: 18146266 Hội đồng: Họ tên sinh viên: Nguyễn Đình Hiệp MSSV: 16146318 Hội đồng: Mã số đề tài: 221DT09 Tên đề tài: Nghiên cứu phát triển thiết kế hệ điều khiển điện đo đặc tính đầu cho định vị sử dụng cấu mềm hệ thống định vị xác Ngành đào tạo: Cơng nghệ Kỹ thuật Cơ điện tử Họ tên GV phản biện: TS Phan Cơng Bình Ý KIẾN NHẬN XÉT Kết cấu, cách thức trình bày ĐATN: …………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… Nội dung đồ án: (Cơ sở lý luận, tính thực tiễn khả ứng dụng đồ án, hướng nghiên cứu tiếp tục phát triển) …………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… Kết đạt được: …………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… Những thiếu sót tồn ĐATN: …………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… Câu hỏi: …………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… ………………………………………………………………………………………………………………… Đánh giá: Mục đánh giá TT Hình thức kết cấu ĐATN Điểm Điểm đạt tối đa 30 Đúng format với đầy đủ hình thức nội dung mục 10 Mục tiêu, nhiệm vụ, tổng quan đề tài 10 Tính cấp thiết đề tài 10 Nội dung ĐATN 50 Khả ứng dụng kiến thức toán học, khoa học kỹ thuật, khoa học xã hội… Khả thực hiện/phân tích/tổng hợp/đánh giá 10 Khả thiết kế, chế tạo hệ thống, thành phần, quy trình đáp ứng yêu cầu đưa với ràng buộc thực tế 15 Khả cải tiến phát triển 15 Khả sử dụng công cụ kỹ thuật, phần mềm chuyên ngành… Đánh giá khả ứng dụng đề tài 10 Sản phẩm cụ thể ĐATN 10 Tổng điểm 100 Kết luận: ◻ Được phép bảo vệ ◻ Không phép bảo vệ TP.HCM, ngày tháng năm 202 Giảng viên phản biện ((Ký, ghi rõ họ tên) LỜI CẢM ƠN Trước tiên với tình cảm sâu sắc chân thành nhất, cho phép nhóm bày tỏ lịng biết ơn đến thầy Lê Phan Hưng thầy Đặng Minh Phụng Cảm ơn thầy đồng hành, đưa lời khuyên, định hướng đắn cho nhóm trình thực đồ án Qua đó, nhóm khơng học hỏi kiến thức mà học hỏi khả làm việc nghiêm túc, độc lập có trách nhiệm với cơng việc Cảm ơn nhiệt tình cởi mở thầy giúp cho nhóm hồn thành đồ án cách tốt Nhóm xin cảm ơn thầy trường, đặc biệt thầy cô Khoa Cơ khí Chế tạo máy, Bộ mơn Cơ điện tử Những người tận tụy, nhiệt tình truyền đạt kiến thức, học, kinh nghiệm để nhóm có tảng vững chuyên môn xã hội Cuối cùng, xin cảm ơn thành viên nhóm, chia sẻ khó khăn, cơng việc khoảnh khắc, cung bậc cảm xúc đáng nhớ cố gắng nỗ lực vượt qua thách thức để thực đồ án cách tốt Nhóm xin chân thành cảm ơn! Nhóm sinh viên thực TÓM TẮT ĐỒ ÁN Tên đề tài: Nghiên cứu phát triển thiết kế hệ điều khiển điện đo đặc tính đầu cho định vị sử dụng cấu mềm hệ thống định vị xác Với đồ án “Nghiên cứu phát triển thiết kế hệ điều khiển điện đo đặc tính đầu cho định vị sử dụng cấu mềm hệ thống định vị xác” mục tiêu đồ án tạo cấu mềm với hệ điều khiển điện đo đặc tính đầu nó, nhóm vận dụng kiến thức học cách tổng hợp linh hoạt, qua trao đổi với giảng viên hướng dẫn trao đổi nhóm với để tìm phương án hợp lí thuận lợi cho việc thực đồ án Được hướng dẫn tận tình thầy hướng dẫn, đến nhóm chúng em hồn thành đồ án Mặc dù trang bị kiến thức bản, khả với hiểu biết thực tế cịn hạn chế, nên đồ án khơng thể tránh khỏi thiếu sót kỹ thuật nội dung Vì chúng em mong nhận ý kiến góp ý thầy để đồ án hồn thiện PROJECT SUMMARY Project title: Research, develop and design of electrical control system to measure output characteristics for positioner using compliant mechanism in precise positioning system With the project "Research, development and design of an electrical control system that measures output characteristics for a positioner using compliant mechanism in a precise positioning system", the project's goal is to create a compliant mechanism together with the electrical control system to measure its output characteristics, my group can apply the learned knowledge in an integrated and flexible way, through discussions with instructors and group exchanges to find out the most reasonable and favorable plan for the implementation of the project With the guidance of the teacher, my group has completed project Although equipped with basic knowledge, limited ability and practical understanding, the project cannot avoid technical and content shortcomings Therefore, we are looking forward to receiving comments from teachers so that the project can be improved MỤC LỤC ĐỒ ÁN TỐT NGHIỆP 11 Chương 1: TỔNG QUAN 1.1 Lời nói đầu 1.2 Tổng quan đề tài 1.3 Mục tiêu đề tài 1.4 Phạm vi đề tài .2 1.5 Phương pháp nghiên cứu Chương 2: CƠ SỞ LÝ THUYẾT 2.1 Cơ cấu mềm .4 2.1.1 Cơ cấu 2.1.2 Cơ cấu mềm gì? .4 2.1.3 Sự đời cấu mềm 2.1.4 Ưu điểm cấu mềm .7 2.1.5 Thách thức cấu mềm 11 2.1.6 Ứng dụng cấu mềm 12 2.2 Khớp mềm [5] 14 2.3 LabVIEW [2] 15 2.3.1 LabVIEW gì? 15 2.3.2 Các ứng dụng LabVIEW .16 2.4.1 Giới thiệu thu thập liệu I/O NI USB-6001 19 2.4.2 Sơ đồ chân thông số NI USB-6001 20 2.5 Phân tích phần tử hữu hạn (FEA) 23 2.6 Hệ thống đo kiểm [8] 24 2.7 NI-DAQmx .25 2.7.1 Tổng quan 25 2.7.2 Chức 25 Chương THIẾT KẾ 27 3.1 Cơ cấu mềm 27 3.1.1 Yêu cầu đặt dối với cấu mềm .27 3.1.2 Ý tưởng thiết kế [5] 27 3.1.3 Thiết kế 29 3.1.4 Tính tốn, mơ dựa phân tích phần tử hữu hạn (FEA) .32 3.1.5 Tối ưu hoá cấu mềm .37 3.1.6 Sử dụng biến đã tối ưu cho cấu mềm 42 3.1.7 Mô tần số: 44 3.2 Thiết kế hệ thống điện 49 3.2.1 Lựa chọn cảm biến 49 3.2.4 Sơ đồ kết nối hệ thống điện Nguồn cấp 24V Chuyển vị đầu cấu mềm Bộ điều khiển LKG-3001 Laser LK-G30 Card NI USB 6001 Máy tính Phần mềm LabVIEW tiếp nhận xử lí liệu Hình 3.38: Sơ đồ kết nối hệ thống điện 56 Hình 3.39: Bản vẽ hệ thống điện 3.3 Lập trình LabVIEW 3.3.1 Cách lấy liệu Tín hiệu truyền từ LK-3001 vào Ni USB-6001 điện áp với giá trị từ -10V đến 10V ứng với khoảng cách từ -5mm tới 5mm Do khoảng cách tham chiếu laser 30mm nên khoảng đo từ 25mm - 35mm Hình 3.40: Khoảng cách đo laser [9] 57 Do đó, giá trị điện áp thu (V) sau chia là giá trị khoảng cách (mm) 3.3.2 Một số khối sử dụng cho đồ án * DAQ Assistant DAQ Assistant giao diện đồ họa để tạo, chỉnh sửa chạy tác vụ kênh ảo NI-DAQmx cách tương tác Kênh ảo NI-DAQmx bao gồm kênh vật lý thiết bị DAQ thơng tin cấu hình cho kênh vật lý này, chẳng hạn phạm vi đầu vào tỷ lệ tùy chỉnh Nhiệm vụ NI-DAQmx tập hợp kênh ảo, thơng tin thời gian kích hoạt thuộc tính khác liên quan đến việc thu nhận tạo Trong hình đây, DAQ Assistant cấu hình để thực phép đo biến dạng hữu hạn Hình 3.41: Sơ đồ DAQ Assistant [11] *NI-DAQmx Timing Chức NI-DAQmx Timing định cấu hình thời gian cho hoạt động thu thập liệu theo thời gian phần cứng Điều bao gồm định liệu hoạt động liên tục hay hữu hạn, chọn số lượng mẫu cần lấy tạo cho hoạt động hữu hạn tạo đệm cần Hình 3.42: Sơ đồ DAQmx Timing [11] 58 *NI-DAQmx Read Chức NI-DAQmx Read đọc mẫu từ tác vụ thu nhận định Các trường hợp khác chức cho phép loại thu nhận (tương tự, kỹ thuật số đếm), số lượng kênh ảo, số lượng mẫu loại liệu chọn Sau số lượng mẫu định chuyển từ FIFO bo mạch DAQ sang Bộ đệm PC RAM, chức NI-DAQmx Read di chuyển mẫu từ Bộ đệm PC sang Bộ nhớ Mơi trường Phát triển Ứng dụng (ADE) Hình 3.43 Sơ đồ DAQmx Read [11] *NI-DAQmx Wait Until Done Chức NI-DAQmx Wait Until Done đợi thao tác thu thập liệu hoàn tất trước kết thúc Chức nên sử dụng để đảm bảo trình thu thập tạo định hồn tất trước tác vụ bị dừng Thông thường nhất, chức Chờ hoàn thành NI-DAQmx sử dụng với hoạt động hữu hạn Khi chức thực thi xong, trình thu thập tạo hữu hạn hồn tất tác vụ bị dừng mà không làm ảnh hưởng đến hoạt động Ngoài ra, đầu vào thời gian chờ cho phép định thời gian chờ tối đa Nếu trình thu thập tạo khơng hồn tất khoảng thời gian này, chức lỗi thích hợp tạo Hình 3.44: Sơ đồ DAQmx Wait Until Done [11] 59 *NI-DAQmx Clear Task Chức NI-DAQmx Clear Task xóa nhiệm vụ định Nếu tác vụ chạy, trước tiên hàm dừng tác vụ sau giải phóng tất tài nguyên Khi nhiệm vụ bị xóa, khơng thể sử dụng trừ tạo lại Vì vậy, tác vụ sử dụng lại, chức NI-DAQmx Stop Task nên sử dụng để dừng tác vụ không xóa tác vụ Hình 3.45: Sơ đồ DAQmx Clear Task [11] 60 Chương THI CÔNG 4.1 Giới thiệu Sau q trình tính tốn thiết kế, nhóm trình bày tiến trình thi cơng cho đề tài “Nghiên cứu phát triển chế tạo hệ điều khiển điện đo đặc tính đầu cho định vị sử dụng cấu mềm hệ thống định vị xác” Như tính tốn, thiết kế chương hệ thống bao gồm phần - Cơ cấu mềm: gồm cấu trung gian gá cấu mềm lên bàn chống rung - Hệ thống điện đo đặc tính đầu cho cấu mềm: lắp đặt thiết bị điện cấu mềm cho phù hợp 4.2 Chế tạo cấu mềm Nhóm sử dụng phương pháp gia cơng cắt dây với giá thành thấp, độ xác tương đối cao đáp ứng yêu cầu đồ án Hình 4.1: Gia công cấu mềm phương pháp cắt dây 61 Hình 4.2: Cơ cấu mềm hồn thiện gia cơng 4.3 Lắp ráp hệ thống điện 4.3.1 Các phận hệ thống điện Hệ thống điện bao gồm: - Nguồn tổ ong 24VDC - Bộ điều khiển LK-3001 - Laser LK-G30 - Card NI USB 6001 - Đồng hồ so 4.3.2 Các bước lắp đặt cho hệ thống điện - Lắp cấu mềm lên bàn chống rung: Do u cầu đo xác với cấp độ µm, nên hệ thống điện cần đặt bàn chống rung để đạt ổn định 62 Hình 4.3: Gá cấu mềm lên bàn chống rung - Sử dụng vít để làm chuyển vị đầu vào cho cấu mềm: đầu vào chuyển vị cấu mềm chỉnh tay Hình 4.4: Gá vít đồng hồ so đầu vào cấu mềm - Dùng đồng hồ so để đo chuyển vị đầu vào cấu mềm: Do không gian hạn chế, nên chuyển vị đầu vào cấu mềm dùng đồng hồ so - Lắp cảm biến laser LK-G30 vào đầu cấu mềm, cách đầu cấu 63 mềm 30mm - Kết nối cảm biến LK-G30 LK-G3001, sau cấp nguồn cho LK-G3001 Hình 4.5: Gá laser đầu cấu mềm - Sơ đồ kết nối hệ thống điện: Hình 4.6: Sơ đồ kết nối hệ thống điện 64 4.4 Lập trình LabVIEW 4.4.1 Kết nối khối lại với để thu tín hiệu điện áp chuyển thành khoảng cách: Hình 4.7: Viết Code phần mềm LabVIEW 65 Chương THỰC NGHIỆM 5.1 Các bước tiến hành Sau gia cơng chế tạo xong mơ hình khí lắp ráp phần điện, nhóm tiến hành chạy thử nghiệm Để đo thực nghiệm xác đa chiều hơn, nhóm dùng đồng hồ so đo đầu để đo chuyển vị đầu cấu mềm Sau đó, nhóm đo thực nghiệm hệ thống điện so sánh kết với mô 5.2 Đo chuyển vị cấu mềm đồng hồ so Bảng 5.1: Chuyển vị đầu cấu mềm đo đồng hồ so Chuyển vị đầu vào (µm) Chuyển vị đầu (µm) hệ số khuếch đại 75 905 12.06 75 917 12.22 75 923 12.3 75 903 12.04 75 895 11.93 75 925 12.33 75 896 11.94 75 901 12.01 75 913 12.17 75 882 11.77 75 900 12 5.3 Đo chuyển vị cấu mềm hệ thống điện 66 Bảng 5.2: Chuyển vị đầu cấu mềm đo hệ thống điện Chuyển vị đầu vào (µm) Chuyển vị đầu (µm) hệ số khuếch đại 75 936 12.48 75 934 12.45 75 946 12.61 75 932 12.42 75 915 12.2 75 975 13 75 966 12.88 75 972 12.96 75 923 1203 75 883 11.77 75 938.2 12.5 5.4 Kết quả, thảo luận 5.5.1 Kết Bảng 5.3: So sánh kết đo mô Đo đồng hồ so Mô Đo hệ thống điện Chuyển vị đầu (µm) 1329 900 938.2 Hệ số khuếch đại 17.72 12 12.5 Sai số chênh lệch (so với 47.66 % 4,2% đồng hồ so) 5.5.2 Thảo luận Từ kết thực nghiệm, nhóm nhận thấy kết mô chênh lệch nhiều so với đo thực nghiệm Đây q trình mơ chưa xác với cấu mềm cấu yêu cầu độ xác cao, q trình gia cơng khơng tránh khỏi sai lệch dẫn đến chênh lệch lớn Tuy nhiên, kết đo đồng hồ so với hệ thống điện có xác cao ( sai lệch 4.2%), nên việc đo kiểm hệ thống điện hoàn toàn tin cậy 67 Chương 6: KẾT LUẬN 6.1 Những công việc đạt Các nội dung thực bao gồm thiết kế, tối ưu, định vị mềm tích hợp cấu khuếch đại Về đạt mục tiêu đề Thiết kế đáp ứng yêu cầu đề tài đạt độ khuếch đại ≥ 10 lần, hệ số an toàn đạt ≥ 1.8 với chuyển vị đầu vào 75(µm) Xây dựng hệ thống điện đo đặc tính đầu cấu mềm Đo chuyển vị đầu cấu mềm Qua trình thực đề tài thu kết quả: - Kiến thức cấu mềm phạm vi ứng dụng - Biết ứng dụng phần mềm ANSYS WORKBENCH để phân tích hữu hạn FEA - Đọc Data Sheet thiết bị điện lập trình đo chuyển vị đầu cấu mềm 6.2 Những hạn chế thực đề tài - Độ khuếch đại gia công cịn sai số so với tính tốn - Độ xác phần đo khuếch đại chưa cao - Chưa đo tần số cấu - Chưa có tự động thu thập liệu đo - Sản phẩm mức độ nghiên cứu phát triển chưa ứng dụng thực tiễn 6.3 Phương hướng phát triển Với điều kiện thời gian điều kiện kinh tế nhiều hạn chế nên đề tài khơng thể hồn thành cách tốt mà cịn tồn bên cạnh nhiều thiếu sót Vì thế, nhóm đề xuất vấn đề cần khắc phục cải tiến tương lai sau: - Tối ưu hoá hệ thống để đo xác - Có thêm xuất liệu vào Excel - Đo tần số cấu mềm - Nâng cao độ xác cấu 68 Tài liệu tham khảo [1] Compliant Mechanisms - Larry L.Howell [2] Lập trình LabVIEW - TS Nguyễn Bá Hải [3] Optimal Design and Analysis for a New 1-DOF Compliant Stage Based on Additive Manufacturing Method for Testing Medical Specimens - Minh Phung Dang, Hieu Giang Le, Nguyen Thanh Duy Tran, Ngoc Le Chau and Thanh Phong Dao [4] NI-USB 6001 Datasheet [5] Nghiên cứu thiết kế, tối ưu hoá chế tạo định vị bậc tự sử dụng cấu mềm định hướng ứng dụng cho hệ thống định vị kiểm tra độ cứng vật liệu- Đặng Minh Phụng, Đào Thanh Phong [6]https://vietmachine.com.vn/phan-tich-phan-tu-huu-han-fea-finite-element-analysiscua-may-cong-cu.html [7] https://inoxdaiduong.com/nhom-7075/ [9] LKG Seriel Manual [10] LK-2000 Manual [11]https://www.ni.com/en-vn/support/documentation/supplemental/06/learn10functions-in-ni-daqmx-and-handle-80-percent-of-your-dat.html [12] https://www.compliantmechanisms.byu.edu/about-compliant-mechanisms [13] https://lidinco.com/product/bo-thu-thap-du-lieu-i-o-ni-usb-6001 [14] A hybrid mechanism based on beetle-liked structure and multi lever amplification for a compliant micropositioning platform [15]https://knowledge.ni.com/KnowledgeArticleDetails?id=kA00Z0000019QRZSA2&l= en-VN 69 S K L 0