Luận án tiến sĩ kỹ thuật điện tử xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí tries và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch

i LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan cơng trình nghiên cứu riêng tơi Các số liệu, kết nêu luận án hoàn toàn trung thực chưa công bố cơng trình khoa học khác, liệu tham khảo trích dẫn đầy đủ Hưng Yên, ngày tháng Tác giả luận án Phan Thị Tươi năm ii LỜI CẢM ƠN Trước tiên, tơi bày tỏ kính trọng xin gửi lời cảm ơn sâu sắc tới tập thể giáo viên hướng dẫn, PGS.TS Đỗ Anh Tuấn PGS.TS Phạm Ngọc Thắng ln ln nhiệt tình bảo ln động viên để tơi hồn thành luận án Tiếp theo, gửi lời cảm ơn tới Phòng Đào tạo, Trường Đại học SPKTHY cán công tác trường giúp đỡ trình học tập, nghiên cứu khoa học có ý kiến đóng góp quý báu nội dung, bố cục luận án Tôi xin gửi lời cảm ơn đến tập thể thầy cô nơi công tác khoa ĐiệnĐiện tử trường đại học SPKTHY động viên chân thành san sẻ công việc chuyên môn để yên tâm thực nội dung luận án Cuối cùng, muốn gửi lời cảm ơn tới gia đình tơi, ln động viên tơi để tơi có động lực tâm thực thành công luận án Hưng Yên, ngày tháng Tác giả luận án Phan Thị Tươi năm iii MỤC LỤC Trang LỜI CAM ĐOAN i LỜI CẢM ƠN ii MỤC LỤC iii DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU, CÁC CHỮ VIẾT TẮT vi DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ ix MỞ ĐẦU .1 Tính cấp thiết đề tài luận án Mục tiêu nghiên cứu 3 Đối tượng nghiên cứu Nội dung nghiên cứu .3 Phương pháp nghiên cứu .4 Ý nghĩa khoa học thực tiễn luận án .4 Bố cục luận án CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN VỀ ỨNG DỤNG CÔNG NGHỆ PLASMA TRONG KỸ THUẬT VI ĐIỆN TỬ 1.1 Giới thiệu tổng quan plasma chế tạo vi mạch điện tử 1.1.1 Plasma gì? 1.1.2 Một số dạng phóng điện tạo plasma 1.1.3 Va chạm plasma 1.2 Sự cần thiết plasma vi mạch điện tử 12 1.2.1 Quá trình plasma vi mạch điện tử 12 1.2.2 Ứng dụng lắng đọng hóa học tăng cường plasma TRIES chế tạo vi mạch điện tử 15 1.3 Phần mềm sử dụng tiết diện va chạm để mơ mơ hình plasma 19 1.4 Tiết diện va chạm electron phóng điện khí 22 1.5 Các hệ số chuyển động electron phóng điện khí 25 1.6 Tính chất vật lý, hóa học chất khí 27 iv 1.6.1 Khí TRIES (Triethoxysilane) 27 1.6.2 Khí Oxy (O2) [8] 29 1.6.3 Khí Argon (Ar) [6] 29 1.6.4 Khí Krypton (Kr) [58] 29 1.6.5 Khí Xenon (Xe)[57] 30 1.6.6 Khí Helium (He) [31] .30 1.6.7 Khí Neon (Ne)[57] 31 1.7.1 Bộ tiết diện va chạm electron phân tử khí O2 32 1.7.2 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí Ar .32 1.7.3 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí Kr .33 1.7.4 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí Xe 34 1.7.5 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí He 35 1.7.6 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử khí Ne 36 1.8 Kết luận chương .37 CHƯƠNG 2: CƠ SỞ LÝ THUYẾT ĐỂ THỰC HIỆN NGHIÊN CỨU 39 2.1 Phương trình xấp xỉ bậc hai Boltzmann 39 2.2 Phương trình liên tục 44 2.2.1 Lời giải phương trình Boltzmann .47 2.2.2 Các bước tính tốn lý thuyết giả thiết thực tính tốn 48 2.3 Phương pháp Monte - Carlo 51 2.4 Phương pháp đám electron 55 2.5 Kết luận chương .58 CHƯƠNG 3: CÁC KẾT QUẢ NGHIÊN CỨU 59 3.1 Xác định tiết diện va chạm electron phân tử khí TRIES .59 3.2 Các hệ số chuyển động electron hỗn hợp khí TRIES với O2, Ar, Kr, Xe, He Ne 67 3.2.1 Vận tốc chuyển động electron (W) 67 3.2.2 Các hệ số khuếch tán theo chiều dọc mật độ đặc trưng tỷ lệ hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (NDL DL/µ) 74 v 3.2.3 Các hệ số ion hóa va chạm (α/N) 85 3.3 Kết luận chương .92 KẾT LUẬN VÀ HƯỚNG NGHIÊN CỨU TIẾP THEO 93 Những kết đạt luận án 93 Những đóng góp luận án 93 DANH MỤC CƠNG TRÌNH KHOA HỌC ĐÃ ĐƯỢC CƠNG BỐ .96 PHỤLỤC P-1 Phụ lục Bảng hiển thị kết tính tốn sử dụng thuật tốn giải hệ hai phương trình xấp xỉ Boltzmann lấy từ kết chạy chương trình P-1 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm phân tử khí TRIES P-3 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm phân tử khí O2 P-6 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Ar P-14 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Kr P-19 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Xe P-21 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí He P-29 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm nguyên tử khí Ne P-41 vi DANH MỤC CÁC KÝ HIỆU, CÁC CHỮ VIẾT TẮT STT Các thuật Nghĩa Tiếng Anh ngữ viết tắt Nghĩa Tiếng Việt AC Alternating Dòng điện xoay chiều APCVD Atmospheric-pressure chemical Phương vapor deposition đọng hóa học áp pháp lắng suất khí Ar Argon Khí argon AST Arrival-time spectral phương pháp phổ thời gian ASIC Application specific intergrated Ứng dụng cho mạch circuit CVD Chemical Vapour tích hợp Deposition Lắng đọng hóa học plasma CF4 Fluorocarbon Khí Fluorocarbon DRAM Dynamic random access memory Bộ nhớ truy cập ngẫu nhiên DC Direct current Dịng điện chiều 10 DBD Dielectric-barrier discharges Phóng điện tĩnh 11 DL The longitudinal diffusion Hệ số khuếch tán dọc coefficient 12 13 DL/µ ECR The longitudinal diffusion Hệ số khuếch tán dọc coefficient to the electron mobility theo mật độ electron Electron cyclotron resonance Plasma cộng hưởng cyclotron 14 EEDF Electron energy distribution function Hàm phân phối lượng electron 15 He Helium Khí Helium 16 HMDSO Hexamethyldisiloxane Khí vii Hexamethyldisiloxane 17 IC Integrated circuit Mạch tích hợp 18 ITO Indium-tin- oxide Thiếc oxit 19 Kr Krypton Khí krypton 20 LSI Large scale integration Tích hợp quy mô lớn 21 LPCVD Low-pressure chemical vapor Phương pháp lắng deposition đọng hóa học áp suất thấp 22 MOS Metal oxide semiconductor Bán dẫn oixít kim loại 23 MEMS Micro electro mechanical systems Hệ vi điện tử 24 NaOH Natri hiđroxit Khí Natri hiđroxit 25 Ne Neon Khí Neon 26 NDL density-normalized longitudinal Hệ số khuếch tán dọc diffusion coefficient theo mật độ đặc trưng 27 O2 Oxy Khí oxy 28 PDP Plasma display panel Cơng nghệ hiển thị plasma 29 PECVD Plasma – enhanced chemical vapor Phương pháp lắng đọng hóa học tăng deposion cường plasma 30 Qm The momentum transfer cross Tiết diện chuyển động section bảo toàn động lượng 31 Qi The ionization cross section Tiết diện ion hóa 32 Qv Vibrational excitation cross sections Tiết điện kích thích 33 Qd The dissociation cross section Tiết diện phân ly 34 GIS Gas insulated switchgear Máy cắt sử dụng khí 35 T Temperature Nhiệt độ 36 TEOS Tatraethoxysilane (Si(OC2H5)4) Khí Tatraethoxysilane (Si(OC2H5)4) 37 TMS Tetramethylsilane (Si(CH3)4) Khí Tetramethylsilane viii (Si(CH3)4) 38 TRIES Triethoxysilane (HSi(OC2H5)3) Khí Triethoxysilane (HSi(OC2H5)3) 39 Xe Xeon Khí Xeon 40 SiO2 Silicon dioxide Khí SiO2 41 SST Steady-state townsend Trạng thái ổn định 42 Wm The mean-arrival-time drift velocity Vận tốc dịch chuyển theo thời gian 43 UV Ultraviolet Vùng tử ngoại 44 µ The electron mobility Độ linh hoạt electron 45 α/N Townsend first ionization coefficient Hệ số ion hóa 56 η/N Attachment coefficient Hệ số kết hợp 47 (α-η)/N Effective ionization coefficient Hệ số ion hóa theo mật độ đặc trưng ix DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ Trang Hình 1.1 Hệ thống phóng điện phát sáng chiều Hình 1.2 Sự kích thích electron Hình 1.3 Sự ion hóa electron 10 Hình 1.4 Sự tái hợp ion .10 Hình 1.5 Sự kết hợp electron .11 Hình 1.6 Các bước tạo mạch tích hợp [43,87] 13 Hình 1.7 Lắng đọng hố học tăng cường plasma hệ thống PECVD [85] 16 Hình 1.8 Q trình lắng đọng hóa học tăng cường plasma [94] .18 Hình 1.9 Lắng đọng phù hợp SiO2 dùng Si(OC2H5)4/O2 [94] 19 Hình 1.10 Sự lắng đọng không phù hợp SiO2 dùng SiH4/O2 [94] 19 Hình 1.11 Các bước thực sử dụng phần mềm Comsol Multiphysic 20 Hình 1.12 Điện trường (bề mặt) mật độ điện tử tới hạn vi sóng plasma [53,56] .21 Hình 1.13 Plasma cảm ứng; Nhiệt độ electron hiển thị dạng biểu đồ lát cắt mật độ dòng điện gây plasma hiển thị dạng dòng [53,56] .22 Hình 1.14 Ứng dụng xác định tiết diện va chạm electron phân tử khí nguyên tử khí 25 Hình 1.15 Bộ tiết diện va chạm electron phân tử O2 [18, 38] 32 Hình 1.16 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử Ar [57, 82] 33 Hình 1.17 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử Kr [44] .34 Hình 1.18 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử Xe [73, 92] .35 Hình 1.19 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử He [73, 93] .36 Hình 1.20 Bộ tiết diện va chạm electron nguyên tử Ne [73, 93] .37 x Hình 2.1 Hàm phân bố Maxwellian Druyvesteyn [15] 43 Hình 2.2 Hàm phân phối đo áp suất thấp (1,3m Torr) [15] 44 Hình 2.3 Hàm phân phối đo môi trường áp suất (0,32 Torr) [15] 44 Hình 2.4 Lưu đồ thuật tốn tính tốn hàm phân bố lượng phương trình xấp xỉ bậc hai Boltzmann 50 Hình 2.5 Lưu đồ thuật toán áp dụng phương pháp Monte Carlo .54 Hình 2.6 Lưu đồ áp dụng phương pháp đám electron .57 Hình 3.1 Vận tốc dịch chuyển electron phân tử khí TRIES nguyên chất 63 Hình 3.2 Hệ số khuếch tán theo chiều dọc cho phân tử khí TRIES nguyên chất 64 Hình 3.3 Hệ số ion hóa cho phân tử khí TRIES ngun chất 65 Hình 3.4 Bộ tiết diện va chạm phân tử khí TRIES nguyên chất 66 (Hình 3.5a) Vận tốc dịch chuyển electron hỗn hợp khí TRIES-O2 68 (Hình 3.5b) Vận tốc dịch chuyển electron hỗn hợp khí TRIES-Ar .69 (Hình 3.5c) Vận tốc dịch chuyển electron hỗn hợp khí TRIES-Kr .70 (Hình 3.5d) Vận tốc dịch chuyển electron hỗn hợp khí TRIES-Xe 71 (Hình 3.5e) Vận tốc dịch chuyển electron hỗn hợp khí TRIES-He 72 (Hình 3.5g) Vận tốc dịch chuyển electron hỗn hợp khí TRIES-Ne 73 (Hình 3.6a) Hệ số khuếch tán dọc NDL hỗn hợp khí TRIES-O2 74 (Hình 3.6b) Hệ số khuếch tán dọc NDL hỗn hợp khí TRIES-Ar 75 (Hình 3.6c) Hệ số khuếch tán dọc NDL hỗn hợp khí TRIES-Kr 76 (Hình 3.6d) Hệ số khuếch tán dọc NDL hỗn hợp khí TRIES-Xe 77 (Hình 3.6e) Hệ số khuếch tán dọc NDL hỗn hợp khí TRIES-He 78 (Hình 3.6g) Hệ số khuếch tán dọc NDL hỗn hợp khí TRIES-Ne 79 (Hình 3.7a) Hệ số khuếch tán theo chiều dọc với độ linh động electron (DL/µ) hỗn hợp khí TRIES-O2 .80 P-33 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 200 0,00817 45 0,077 32 0,00468 250 0,00714 50 0,0842 35 0,0041 300 0,00632 55 0,089 40 0,0031 400 0,00503 60 0,0925 45 0,00237 500 0,00414 70 0,0979 50 0,00178 600 0,0035 80 0,102 60 0,00106 800 0,00265 90 0,105 70 6,6E-4 1000 0,00212 80 4,51E-4 90 3,59E-4 100 3,12E-4 120 2,4E-4 150 1,61E-4 200 7,06E-5 22,92 23,01 23,07 23,07 23,09 23,59 24 7,3E-4 24 8,5E-4 24 1,1E-4 24 3E-4 24 1E-3 24 1,45E-4 P-34 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 25 0,00145 25 0,00177 25 2,3E-4 25 6E-4 25 0,00202 25 5,45E-4 26 0,00225 26 0,00278 26 3,55E-4 26 8,7E-4 26 0,00312 26 9,5E-4 27 0,00303 28 0,00466 28 6,13E-4 28 0,0014 28 0,0052 28 0,00175 28 0,0038 30 0,00642 30 8,7E-4 30 0,0019 30 0,0073 30 0,00218 30 0,0048 31 0,007 32 9,9E-4 32 0,0023 32 0,0091 31 0,00219 32 0,00527 32 0,00725 33 0,00101 35 0,0027 35 0,0115 32 0,00214 34 0,00556 33 0,0073 35 1E-3 40 0,00302 40 0,0141 35 0,0018 35 0,0056 35 0,00715 40 8,4E-4 45 0,0031 45 0,0169 40 0,0013 40 0,0053 37 0,0068 45 6,6E-4 50 0,00305 50 0,0189 45 9,9E-4 45 0,00488 40 0,00608 50 5,35E-4 60 0,0027 60 0,0213 50 7.74E-4 50 0,0045 45 0,00473 60 3,65E-4 70 0,00235 70 0,0231 60 4,83E-4 60 0,0039 50 0,00356 70 2,65E-4 80 0,0021 80 0,0244 70 3E-4 70 0,00352 60 0,00211 80 2,02E-4 90 0,00186 90 0,0253 80 2,05E-4 80 0,00325 70 0,0014 90 1,58E-4 100 0,00168 100 0,0259 90 1,63E-4 90 0,003 80 9,8E-4 100 1,28E-4 120 0,0014 120 0,0262 100 1,42E-4 P-35 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) 100 0,00284 90 7,11E-4 120 0,0025 100 150 0,00216 200 ε (eV) 120 Qex1 (×10-16 cm2) 8,7E-5 ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 150 0,00115 150 0,0248 120 1,09E-4 5,61E-4 200 8,7E-4 200 0,0216 150 7,31E-5 120 3,74E-4 250 6,9E-4 250 0,019 200 3,21E-5 0,00184 150 2,31E-4 300 5,7E-4 300 0,0173 250 0,00161 200 1,26E-4 400 4,3E-4 400 0,0147 300 0,00142 223 1E-4 500 3,55E-4 500 0,013 400 0,00113 600 2,95E-4 600 0,0115 500 9,32E-4 800 2,2E-4 800 0,00935 600 7,86E-4 1000 1,75E-4 1000 0,00795 800 5,97E-4 1000 4,77E-4 23,67 23,71 23,74 23,74 23,74 23,74 24 1,2E-4 24 8,5E-5 24 1,4E-5 24 4E-5 24 2,3E-5 24 2,25E-5 25 5E-4 25 4,3E-4 25 6,1E-5 25 1,9E-4 25 9E-5 25 1,04E-4 26 9,3E-4 26 7,5E-4 26 1.1E-4 26 3,4E-4 26 1,6E-4 26 1,83E-4 P-36 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 28 0,00175 28 0,00138 28 2.1E-4 28 6,2E-4 28 3E-4 28 3,27E-4 30 0,00239 30 0,002 30 3,06E-4 30 8,68E-4 30 4,08E-4 30 4,05E-4 32 0,0026 32 0,00258 32 3,69E-4 32 0,00105 31 4,31E-4 32 4,27E-4 35 0,0025 34 0,00282 35 3,87E-4 35 0,00124 32 4,35E-4 35 4,25E-4 40 0,00218 35 0,00283 40 3,25E-4 40 0,00138 35 4,15E-4 40 3,75E-4 45 0,00192 37 0,00277 45 2,55E-4 45 0,00141 40 3,35E-4 45 3,15E-4 50 0,00173 40 0,00251 50 2,06E-4 50 0,00139 45 2,6E-4 50 2,7E-4 60 0,00154 45 0,00195 60 1,41E-4 60 0,00123 50 2,1E-4 60 2,09E-4 70 0,00138 50 0,00147 70 1,02E-4 70 0,00107 60 1,41E-4 70 1,67E-4 80 0,00124 60 8,72E-4 80 7,8E-5 80 9,6E-4 70 1,01E-4 80 1,39E-4 90 0,00116 70 5,79E-4 90 6,11E-5 90 8,5E-4 80 8,9E-5 90 1,17E-4 100 0,00109 80 4,05E-4 100 7,68E-4 90 5,9E-5 100 1E-4 120 9,57E-4 90 2,94E-4 120 6,4E-4 150 8,28E-4 100 2,32E-4 150 5,26E-4 200 7,05E-4 120 1,55E-4 200 3,98E-4 P-37 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) 250 6,16E-4 300 ε (eV) 150 Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) 9,55E-5 ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 250 3,15E-4 5,45E-4 300 2,6E-4 400 4,34E-4 400 1,97E-4 500 3,57E-4 500 1,62E-4 600 3,01E-4 600 1,35E-4 800 2,29E-4 800 1,01E-4 1000 1,83E-4 1000 8E-5 23,74 23,97 24,01 24,03 24,04 24,05 24 1,33E-4 25 1,6E-4 25 2,4E-4 25 2E-4 25 1E-4 25 2E-4 25 5,5E-4 28 5,4E-4 28 8,45E-4 28 7E-4 28 3,6E-4 26 3,7E-4 26 9,5E-4 30 6,7E-4 30 0,00117 30 0,00102 30 5E-4 28 8,6E-4 28 0,00182 32 6,6E-4 32 0,00127 32 0,00131 32 6E-4 30 0,00131 30 0,0027 35 5,6E-4 35 0,00122 35 0,00144 35 7,1E-4 32 0,00169 32 0,00352 40 4E-4 40 0,00106 40 0,00128 40 7,9E-4 35 0,00217 35 0,00448 45 3,1E-4 45 9,37E-4 45 9,9E-4 45 8,1E-4 40 0,00283 P-38 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 40 0,0058 50 2,4E-4 50 8,44E-4 50 7,5E-4 50 8E-4 45 0,00335 45 0,00678 60 1,49E-4 60 7,52E-4 60 4,4E-4 60 7,1E-4 50 0,00379 50 0,00766 70 9,3E-5 70 6,73E-4 70 2,9E-4 70 6,2E-4 60 0,00435 60 0,0087 80 6,05E-4 80 2,06E-4 80 5,5E-4 70 0,0047 70 0,0094 90 5,61E-4 90 1,49E-4 90 4,9E-4 80 0,00495 80 0,00995 100 5,3E-4 100 1,18E-4 100 4,4E-4 90 0,00515 90 0,0104 120 4,67E-4 120 7,9E-5 120 3,7E-4 100 0,0053 100 0,0107 150 4,04E-4 150 3E-4 120 0,0053 120 0,0107 200 3,44E-4 200 2,29E-4 150 0,00495 150 0,00999 250 3,01E-4 250 1,81E-4 200 0,00428 200 0,00864 300 2,66E-4 300 1,5E-4 250 0,00376 250 0,0076 400 2,12E-4 400 1,13E-4 300 0,00342 300 0,00691 500 1,74E-4 500 9,3E-5 400 0,00292 400 0,00589 600 1,47E-4 500 0,00257 500 0,00519 800 1,12E-4 600 0,00226 P-39 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) 1000 Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) 600 0,0045 8,9E-5 800 0,00365 1000 0,00312 24.19 24,21 24,59 150 0,362 25 1,3E-4 25 1E-4 25 0,0052 200 0,34 28 4,8E-4 26 2,18E-4 25,5 0,0113 250 0,312 30 6,58E-4 28 4,5E-4 26 0,0175 300 0,284 32 7,14E-4 30 6,74E-4 27 0,029 400 0,242 35 6,86E-4 32 9,03E-4 28 0,0413 500 0,211 40 5,96E-4 35 0,0012 29 0,0531 600 0,187 45 5,27E-4 40 0,00159 30 0,0647 800 0,152 50 4,74E-4 45 0,00189 32 0,0875 1000 0,13 60 4,23E-4 50 0,00212 34 0,109 70 3,78E-4 60 0,00241 36 0,129 80 3,4E-4 70 0,00262 38 0,148 ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) 800 0,00185 1000 0,00157 P-40 ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qm (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) 90 3,15E-4 80 0,00278 40 0,164 100 2,98E-4 90 0,00291 42 0,179 120 2,63E-4 100 0,003 45 0,199 150 2,27E-4 120 0,00302 50 0,231 200 1,93E-4 150 0,00282 55 0,255 250 1,69E-4 200 0,00244 60 0,274 300 1,5E-4 250 0,00214 65 0,292 400 1,19E-4 300 0,00195 70 0,307 500 9,8E-5 400 0,00166 75 0,321 500 0,00146 80 0,332 600 0,00129 90 0,348 800 0,00105 100 0,358 1000 8,96E-4 120 0,367 ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex1 (×10-16 cm2) ε (eV) Qex2 (×10-16 cm2) P-41 Phụ lục Số liệu tiết diện va chạm ngun tử khí Ne ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) 0,161 1,99 16,62 18,85 0,00358 16,67 60 0,0098 3E-4 0,192 2,07 16,65 4E-4 18,9 0,00356 16,8 8E-4 70 0,0091 1E-3 0,214 2,14 16,7 1E-3 18,92 0,00356 16,85 0,0011 80 0,0085 0,002 0,229 2,22 16,75 0,00166 18,97 0,00488 16,95 0,0028 100 0,0076 0,003 0,241 2,27 16,8 0,00207 19 0,00398 17 0,0026 120 0,007 0,004 0,253 10 2,42 16,85 0,00289 19,05 0,00397 17,2 0,0019 140 0,0065 0,005 0,263 12 2,54 16,9 0,00439 19,1 0,004 17,4 0,0018 160 0,00605 0,006 0,274 15 2,73 16,95 0,00358 19,15 0,0041 17,6 0,0018 200 0,0054 0,008 0,294 20 2,93 17 0,00268 20 0,0059 17,8 0,002 300 0,00445 0,01 0,314 25 2,95 17,1 0,00216 21 0,0077 18 0,0022 500 0,00346 0,012 0,33 30 2,91 17,2 0,00203 22 0,0088 18,2 0,0024 1000 0,00245 0,015 0,353 40 2,74 17,3 0,00205 23 0,0096 18,4 0,0026 0,02 0,386 50 2,49 17,4 0,00211 24 0,01 18,6 0,0029 0,025 0,415 60 2,22 17,5 0,00221 25 0,0103 18,7 0,004 P-42 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) 0,03 0,442 80 1,8 17,65 0,00244 26 0,01045 18,8 0,003 0,04 0,491 100 1,44 17,8 0,00268 27 0,0105 19 0,0033 0,05 0,535 120 1,19 18 0,00304 28 0,0104 20 0,0043 0,06 0,576 150 0,878 18,1 0,00325 29 0,0103 21 0,0051 0,07 0,611 200 0,616 18,2 0,00345 30 0,0101 22 0,0058 0,08 0,646 250 0,466 18,3 0,00358 31 0,0098 23 0,0066 0,1 0,707 300 0,372 18,38 0,00363 32 0,0094 24 0,0075 0,12 0,762 400 0,259 18,4 0,00358 33 0,009 25 0,0084 0,15 0,835 500 0,193 18,44 0,00337 35 0,008 26 0,0092 0,2 0,94 600 0,15 18,46 0,00338 40 0,0063 27 0,0098 0,25 1,03 800 0,101 18,49 0,00335 45 0,00515 28 0,0104 0,3 1,11 1000 0,0721 18,5 0,00338 50 0,00425 29 0,0109 0,4 1,23 18,55 0,00407 60 0,00305 30 0,0116 0,5 1,33 18,58 0,00683 70 0,0023 31 0,0117 0,6 1,415 18,6 0,0052 80 0,0018 32 0,0119 ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) P-43 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) 0,7 1,48 18,61 0,00468 90 0,00144 33 0,012 0,8 1,535 18,64 0,00553 100 0,00118 34 0,012 1,62 18,65 0,00494 120 8,5E-4 35 0,0121 1,2 1,685 18,67 0,00764 150 5,6E-4 37 0,012 1,5 1,75 18,7 0,00569 200 3,4E-4 39 0,0119 1,83 18,75 0,00382 300 1,6E-4 40 0,0119 2,5 1,88 18,8 0,00356 350 1,2E-4 45 0,0113 1,92 390 1E-4 50 0,0108 16,72 18,85 8,2E-4 16,85 70 0,116 18,38 18,97 16,75 1,4E-4 18,9 8,2E-4 16,95 0,0119 80 0,116 18,4 0,0013 19,2 8E-4 16,8 3,1E-4 18,92 8,2E-4 17 0,011 90 0,113 18,5 0,0028 19,5 0,0017 16,85 6,5E-4 18,97 0,00112 17,2 0,008 100 0,109 18,7 0,0053 19,7 0,0022 16,9 0,00101 19 9,2E-4 17,4 0,0076 120 0,103 19 0,0085 20 0,003 16,95 8,2E-4 19,05 9,1E-4 17,6 0,0078 140 0,095 19,5 0,0135 20,2 0,0035 17 6,2E-4 19,1 9,2E-4 17,8 0,0085 160 0,088 20 0,0179 20,5 0,0042 P-44 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) 17,1 5E-4 19,15 9,4E-4 18 0,0094 180 0,0825 21 0,0236 21 0,0056 17,2 4,7E-4 20 0,0015 18,2 0,0103 200 0,079 22 0,027 22 0,0078 17,3 4,7E-4 21 0,00183 18,4 0,011 250 0,069 23 0,0297 23 0,01 17,4 4,9E-4 22 0,00206 18,6 0,0124 300 0,062 24 0,0315 24 0,012 17,5 5,1E-4 23 0,00222 18,7 0,017 25 0,0323 25 0,014 17,65 5,6E-4 24 0,00233 18,8 0,0129 26 0,0326 26 0,0157 17,8 6,2E-4 25 0,0024 19 0,014 27 0,0326 27 0,0174 18 7E-4 26 0,00242 20 0,0195 28 0,0323 28 0,019 18,1 7,5E-4 27 0,00241 21 0,0255 29 0,0319 29 0,0204 18,2 7,9E-4 28 0,00239 22 0,0315 30 0,03124 30 0,0213 18,3 8,2E-4 29 0,00235 23 0,0375 32 0,0302 31 0,0224 18,38 8,4E-4 30 0,00233 24 0,0435 34 0,0292 32 0,0231 18,4 8,2E-4 32 0,00223 25 0,048 36 0,0286 33 0,0238 18,44 7,7E-4 35 0,00208 26 0,054 40 0,0279 35 0,0246 18,46 7,8E-4 40 0,00178 27 0,059 50 0,02444 40 0,0255 P-45 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) 18,49 7,7E-4 50 0,00122 28 0,0635 60 0,0221 45 0,0251 18,5 7,8E-4 60 7,7E-4 29 0,068 80 0,0187 50 0,0243 18,55 9,4E-4 70 4,8E-4 30 0,072 100 0,0162 60 0,022 18,58 0,00157 80 3,2E-4 32 0,0775 120 0,0146 70 0,0199 18,6 0,0012 90 2,2E-4 34 0,0825 150 0,0125 80 0,0181 18,61 0,00108 100 1,6E-4 35 0,085 200 0,0104 90 0,0168 18,64 0,00127 120 9E-5 40 0,096 300 0,008 100 0,0153 18,65 0,00114 150 5E-5 45 0,103 120 0,013 18,67 0,00176 200 2E-5 50 0,109 140 0,0113 18,7 0,00131 250 1E-5 55 0,112 160 0,01 18,75 8,8E-4 60 0,113 180 0,009 18,8 8,2E-4 65 0,115 200 0,0082 19,66 33 0,0304 21,56 30,5 0,108 100 0,667 19,8 1,5E-4 34 0,031 21,7 1E-3 31 0,115 110 0,7 20 4E-4 35 0,0318 22 0,0033 31,5 0,121 120 0,725 P-46 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε (eV) Qm (×10-16 cm ) ε Qex1 ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) Qex2 (×10-16 cm ) 20,2 0,00105 36 0,032 22,2 0,0056 32 0,128 130 0,743 20,5 0,0018 38 0,0326 22,5 0,0089 33 0,142 140 0,757 20,7 0,0027 40 0,033 23 0,0146 34 0,154 150 0,773 21 0,0038 43 0,0329 23,5 0,0202 36 0,18 175 0,781 21,5 0,0059 45 0,0327 24 0,026 38 0,205 187,5 0,783 22 0,0084 50 0,031 24,5 0,0321 40 0,228 200 0,781 23 0,0122 60 0,0282 25 0,038 45 0,282 250 0,757 24 0,0156 70 0,026 25,5 0,0438 50 0,338 300 0,722 25 0,0184 80 0,0241 26 0,0498 55 0,392 350 0,686 26 0,0211 90 0,0225 26,5 0,0567 60 0,436 400 0,652 27 0,0234 100 0,0211 27 0,0632 65 0,477 450 0,616 28 0,0252 120 0,0191 27,5 0,0697 70 0,514 500 0,587 29 0,0268 140 0,0175 28 0,0762 75 0,547 600 0,528 30 0,0282 160 0,0162 28,5 0,0825 80 0,577 700 0,484 31 0,029 200 0,0142 29 0,088 85 0,605 800 0,444 ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2) P-47 ε (eV) 32 Qm (×10-16 cm ) 0,03 ε (eV) Qm (×10-16 cm ) Qex2 ε Qex1 ε Qex1 ε (eV) (×10-16 cm2) (eV) (×10-16 cm2) (eV) 29,5 0,0959 90 0,628 900 0,414 30 0,102 95 0,649 1000 0,386 (×10-16 cm ) ε Qex2 (eV) (×10-16 cm2)