Linh kiện điện tử là kiến thức bước đầu và căn bản của ngành điện tử. Giáo trình được biên soạn từ các bài giảng của tác giả trong nhiều năm qua tại Khoa Công Nghệ và Công Nghệ Thông Tin, Trường Đại học Cần Thơ và các Trung Tâm Giáo dục thường xuyên ở đồng bằng sông Cửu Long sau quá trình sửa chữa và cập nhật. Giáo trình chủ yếu dùng cho sinh viên chuyên ngành Điện Tử Viễn Thông và Tự Động Hóa. Các sinh viên khối Kỹ thuật và những ai ham thích điện tử cũng tìm thấy ở đây nhiều điều bổ ích. Giáo trình bao gồm 9 chương: Từ chương 1 đến chương 3: Nhắc lại một số kiến thức căn bản về vật lý vi mô, các mức năng lượng và dải năng lượng trong cấu trúc của kim loại và chất bán dẫn điện và dùng nó như chìa khóa để khảo sát các linh kiện điện tử. Từ chương 4 đến chương 8: Đây là đối tượng chính của giáo trình. Trong các chương này, ta khảo sát cấu tạo, cơ chế hoạt động và các đặc tính chủ yếu của các linh kiện điện tử thông dụng. Các linh kiện quá đặc biệt và ít thông dụng được giới thiệu ngắn gọn mà không đi vào phân giải. Chương 9: Giới thiệu sự hình thành và phát triển của vi mạch. Người viết chân thành cảm ơn anh Nguyễn Trung Lập, Giảng viên chính của Bộ môn Viễn Thông và Tự Động Hóa, Khoa Công Nghệ Thông Tin, Trường Đại học Cần Thơ đã đọc kỹ bản thảo và cho nhiều ý kiến quý báu.
Giáo trình Linh Kiện Điện Tử L i nói đ u ********* Linh kiện điện tử kiến thức bước đầu ngành điện tử Giáo trình biên soạn từ giảng tác giả nhiều năm qua Khoa Công Nghệ Công Nghệ Thông Tin, Trường Đại học Cần Thơ Trung Tâm Giáo dục thường xuyên đồng sông Cửu Long sau trình sửa chữa cập nhật Giáo trình chủ yếu dùng cho sinh viên chuyên ngành Điện Tử Viễn Thơng Tự Động Hóa Các sinh viên khối Kỹ thuật ham thích điện tử tìm thấy nhiều điều bổ ích Giáo trình bao gồm chương: Từ chương đến chương 3: Nhắc lại số kiến thức vật lý vi mô, mức lượng dải lượng cấu trúc kim loại chất bán dẫn điện dùng chìa khóa để khảo sát linh kiện điện tử Từ chương đến chương 8: Đây đối tượng giáo trình Trong chương này, ta khảo sát cấu tạo, chế hoạt động đặc tính chủ yếu linh kiện điện tử thông dụng Các linh kiện q đặc biệt thơng dụng giới thiệu ngắn gọn mà không vào phân giải Chương 9: Giới thiệu hình thành phát triển vi mạch Người viết chân thành cảm ơn anh Nguyễn Trung Lập, Giảng viên Bộ mơn Viễn Thơng Tự Động Hóa, Khoa Cơng Nghệ Thơng Tin, Trường Đại học Cần Thơ đọc kỹ thảo cho nhiều ý kiến quý báu Cần Thơ, tháng 12 năm 2003 Trương Văn Tám Trang Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử M cl c Ch ng I M C NĂNG L NG VÀ D I NĂNG L NG .4 I KHÁI NI M V C H C NGUYÊN L NG: II PHÂN B ĐI N T TRONG NGUYÊN T THEO NĔNG L NG: .6 III D I NĔNG L NG: (ENERGY BANDS) Ch ng II 12 S D N ĐI N TRONG KIM LO I 12 I II III IV V VI Đ LINH Đ NG VÀ D N XU T: 12 PH NG PHÁP KH O SÁT CHUY N Đ NG C A H T T B NG NĔNG L NG: 14 TH NĔNG TRONG KIM LO I: .15 S PHÂN B C A ĐI N T THEO NĔNG L NG: 18 CÔNG RA (HÀM CÔNG): 20 ĐI N TH TI P XÚC (TI P TH ): 21 Ch ng III 22 CH T BÁN D N ĐI N .22 I CH T BÁN D N ĐI N THU N HAY N I B M: 22 II CH T BÁN D N NGO I LAI HAY CÓ CH T PHA: 24 Ch t bán d n lo i N: (N - type semiconductor) .24 Ch t bán d n lo i P: .25 Ch t bán d n h n h p: .26 III D N SU T C A CH T BÁN D N: .27 IV C CH D N ĐI N TRONG CH T BÁN D N: 29 V PH NG TRÌNH LIÊN T C: 30 Ch ng IV .32 N I P-N VÀ DIODE 32 I C U T O C A N I P-N: .32 II DÒNG ĐI N TRONG N I P-N KHI Đ C PHÂN C C: .34 N i P-N đ c phân c c thuận: .35 N i P-N đ c phân c c ngh ch: 38 III NH H NG C A NHI T Đ LÊN N I P-N: 40 IV N I TR C A N I P-N 41 N i tr tĩnh: (Static resistance) 41 N i tr đ ng c a n i P-N: (Dynamic Resistance) 42 V ĐI N DUNG C A N I P-N 44 Đi n dung chuy n ti p (Đi n dung n i) 44 Đi n dung khu ch tán (Difusion capacitance) 45 VI CÁC LO I DIODE THÔNG D NG .45 Diode ch nh l u: 45 Diode tách sóng 53 Diode schottky: 53 Diode n áp (diode Zenner): 54 Diode bi n dung: (Varicap – Varactor diode) 57 Diode h m (Tunnel diode) .58 Bài tập cu i ch ng 59 Ch ng V .61 TRANSISTOR L NG C C .61 I II III IV V VI C U T O C B N C A BJT 61 TRANSISTOR TR NG THÁI CH A PHÂN C C 61 C CH HO T Đ NG C A TRANSISTOR L NG C C .63 CÁC CÁCH RÁP TRANSISTOR VÀ Đ L I DÒNG ĐI N .64 DÒNG ĐI N R TRONG TRANSISTOR 66 Đ C TUY N V-I C A TRANSISTOR .67 M c theo ki u c c n n chung: 68 M c theo ki u c c phát chung 69 nh h ng c a nhi t đ lên đ c n c a BJT 72 VII ĐI M ĐI U HÀNH – Đ NG TH NG L Y ĐI N M T CHI U .73 VIII KI U M U M T CHI U C A BJT 78 Trang Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử IX BJT V I TÍN HI U XOAY CHI U 80 Mơ hình c a BJT: 80 Đi n d n truy n (transconductance) 82 T ng tr vào c a transistor: .83 Hi u ng Early (Early effect) 85 M ch t ng đ ng xoay chi u c a BJT: 86 Bài tập cu i ch ng 90 CH NG 91 TRANSISTOR TR NG NG 91 I C U T O CĔN B N C A JFET: 91 II C CH HO T Đ NG C A JFET: 93 III Đ C TUY N TRUY N C A JFET 99 IV NH H NG C A NHI T Đ TRÊN JFET 100 V MOSFET LO I HI M (DEPLETION MOSFET: DE MOSFET) 102 VI MOSFET LO I TĔNG (ENHANCEMENT MOSFET: E-MOSFET) 107 VII XÁC Đ NH ĐI M ĐI U HÀNH: 111 VIII FET V I TÍN HI U XOAY CHI U VÀ M CH T NG Đ NG V I TÍN HI U NH 113 IX ĐI N D N TRUY N (TRANSCONDUCTANCE) C A JFET VÀ DEMOSFET 117 X ĐI N D N TRUY N C A E-MOSFET 118 XI T NG TR VÀO VÀ T NG TR RA C A FET 119 XII CMOS TUY N TÍNH (LINEAR CMOS) .120 XIII MOSFET CÔNG SU T: V-MOS VÀ D-MOS 122 V-MOS: 122 D-MOS: 123 Bài tập cu i ch ng 125 CH NG VII .126 LINH KI N CÓ B N L P BÁN D N PNPN VÀ NHỮNG LINH KI N KHÁC .126 I SCR (THYRISTOR – SILICON CONTROLLED RECTIFIER) 126 C u t o đ c tính: .126 Đ c n Volt-Ampere c a SCR: .128 Các thông s c a SCR: 129 SCR ho t đ ng n th xoay chi u 130 Vài ng d ng đ n gi n: 131 II TRIAC (TRIOD AC SEMICONDUCTOR SWITCH) 133 III SCS (SILICON – CONTROLLED SWITCH) 135 IV DIAC 136 V DIOD SHOCKLEY 137 VI GTO (GATE TURN – OFF SWITCH) .138 VII UJT (UNIJUNCTION TRANSISTOR – TRANSISTOR Đ C N I) 140 C u t o đ c tính c a UJT: 140 Các thông s kỹ thuật c a UJT v n đ n đ nh nhi t cho đ nh: 143 ng d ng đ n gi n c a UJT: .144 VIII PUT (Programmable Unijunction Transistor) .145 CH NG VIII 148 LINH KI N QUANG ĐI N T 148 I ÁNH SÁNG 148 II QUANG ĐI N TR (PHOTORESISTANCE) 149 III QUANG DIOD (PHOTODIODE) 151 IV QUANG TRANSISTOR (PHOTO TRANSISTOR) 152 V DIOD PHÁT QUANG (LED-LIGHT EMITTING DIODE) 154 VI N I QUANG 155 CH NG IX .157 S L C V IC 157 I KHÁI NI M V IC - S K T T TRONG H TH NG ĐI N T 157 II CÁC LO I IC .159 IC màng (film IC): .159 IC đ n tính th (Monolithic IC): 159 IC lai (hibrid IC) .160 III S L C V QUI TRÌNH CH T O M T IC Đ N TINH TH .160 IV IC S (IC DIGITAL) VÀ IC T NG T (IC ANALOG) 162 IC Digital: 162 IC analog: 163 Tài li u tham kh o 163 Trang Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Ch ng I M C NĂNG L NG VÀ D I NĂNG L NG Trong ch ng ch y u nh c l i ki n th c c b n v c h c nguyên l ng, s phân b n t nguyên t theo nĕng l ng, t hình thành d i nĕng l ng tinh th ch t bán d n Đ h c ch ng này, sinh viên ch c n có ki n th c t ng đ i v vật lý hóa h c đ i c ng M c tiêu c n đ t đ c hi u đ c ý nghĩa c a d i d n n, d i hóa tr d i c m, t phân bi t đ c ch t d n n, bán d n n cách n I KHÁI NI M V C H C NGUYÊN L NG: Ta bi t r ng vật ch t đ c c u t o t nh ng nguyên t (đó thành ph n nh nh t c a nguyên t mà gi nguyên tính ch t c a ngun t đó) Theo mơ hình c a nhà vật lý Anh Rutherford (1871-1937), nguyên t g m có m t nhân mang n tích d ng (Proton mang n tích d ng Neutron trung hoà v n) m t s n t (electron) mang n tích âm chuy n đ ng chung quanh nhân ch u tác đ ng b i l c hút c a nhân Ngun t ln ln trung hịa n tích, s electron quay chung quanh nhân b ng s proton ch a nhân - n tích c a m t proton b ng n tích m t electron nh ng trái d u) Đi n tích c a m t electron -1,602.10-19Coulomb, u có nghĩa đ có đ c Coulomb n tích ph i có 6,242.1018 electron n tích c a n t có th đo đ c tr c ti p nh ng kh i l ng c a n t không th đo tr c ti p đ c Tuy nhiên, ng i ta có th đo đ c t s gi a n tích kh i l ng (e/m), t suy đ c kh i l ng c a n t là: mo=9,1.10-31Kg Đó kh i l ng c a n t chuy n đ ng v i vận t c r t nh so v i vận t c ánh sáng (c=3.108m/s) Khi vận t c n t tĕng lên, kh i l ng c a n t đ c tính theo cơng th c Lorentz-Einstein: me = mo v2 1− c M i n t chuy n đ ng m t đ ng tròn ch u m t gia t c xuyên tâm Theo thuy t n t chuy n đ ng có gia t c, n t ph i phát nĕng l ng S m t nĕng l ng làm cho quỹ đ o c a n t nh d n sau m t th i gian ng n, n t s r i vào nhân Nh ng th c t , h th ng m t h th ng b n theo th i gian Do đó, gi thuy t c a Rutherford không đ ng v ng Nhà vật lý h c Đan M ch Niels Bohr (1885- 1962) b túc b ng gi thuy t sau: Trang Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Có nh ng quỹ đ o đ t bi t, n t có th di chuy n mà không phát nĕng l ng T ng ng v i m i quỹ đ o có m t m c nĕng l ng nh t đ nh Ta có m t quỹ đ o d ng Khi n t di chuy n t m t quỹ đ o t ng ng v i m c nĕng l ng w1 sang quỹ đ o khác t ng ng v i m c nĕng l ng w2 s có hi n t ng b c x hay h p thu nĕng l ng T n s c a b c x (hay h p thu) là: w − w1 h Trong đó, h=6,62.10-34 J.s (h ng s Planck) f= Trong m i quỹ đ o d ng, moment đ ng l Moment đ ng l ng: m.v.r = n ng c a n t b ng b i s c a h = nh 2π h =h 2π v -e r +e Hình V i gi thuy t trên, ng i ta d đoán đ c m c nĕng l ng c a nguyên t hydro gi i thích đ c quang ph v ch c a Hydro, nh ng không gi i thích đ c đ i v i nh ng nguyên t có nhi u n t Nhận th y s đ i tính gi a sóng h t, Louis de Broglie (Nhà vật lý h c Pháp) cho r ng có th liên k t m i h t n kh i l ng m, chuy n đ ng v i vận t c v m t b c sóng λ = h mv đ T ng h p t t c gi thuy t môn c h c nguyên l c hi n t ng quan sát đ c c p nguyên t đ Ph ng trình cĕn b n c a môn c h c nguyên l c vi t nh sau: ng, kh dĩ có th gi i thích ng ph ng trình Schrodinger h2 − ∇ϕ + ( E − U ) ϕ = 2.m ∇ toán t Laplacien Trang Biên soạn: Trương Văn Tám ∇ϕ = Giáo trình Linh Kiện Điện Tử δ2ϕ δ2ϕ δ2ϕ + + δx δy δz E: nĕng l ng toàn ph n U: th nĕng (E-U): đ ng nĕng ϕ m t hàm s g i hàm s sóng Hàm s xác đ nh xác su t tìm th y h t n mi n không gian kh o sát Trong gi i ph ng trình Schrodinger đ tìm nĕng l ng c a nh ng n t m t nguyên t nh t, ng i ta th y r ng m i tr ng thái nĕng l ng c a electron ph thu c vào s nguyên g i s nguyên l ng: S nguyên l ng xuyên tâm: (S nguyên l ng chính) Xác đ nh kích th c c a quỹ đ o n=1,2,3,…7 S nguyên l ng ph ng v : (S nguyên l ng ph ) Xác đ nh hình th quỹ đ o l=1,2,3,…,n-1 S nguyên l ng t : Xác đ nh ph ng h ng c a quỹ đ o ml=0,±1, …, m l S nguyên l ng Spin: 1 Xác đ nh chi u quay c a electron m s = + 2 Trong m t h th ng g m nhi u nguyên t , s nguyên l ng tuân theo nguyên lý ngo i tr Pauli Nguyên lý cho r ng: m t h th ng khơng th có tr ng thái nguyên l ng gi ng nhau, nghĩa không th có hai n t có s nguyên l ng hoàn toàn gi ng II PHÂN B ĐI N T NĂNG L NG: TRONG NGUYÊN T T t c nguyên t có s nguên l K,L,M,N,O,P,Q ng v i n=1,2,3,4,5,6,7 THEO ng h p thành m t t ng có tên m i t ng, n t có s l t o thành ph t ng có tên s,p,d,f t v i l=0,1,2,3 ng ng T ng K (n=1) có m t ph t ng s có t i đa n t T ng L (n=2) có m t ph t ng s có t i đa n t m t ph t ng p có t i đa n t T ng M (n=3) có m t ph t ng s (t i đa n t ), m t ph t ng p (t i đa n t ) m t ph t ng d (t i đa 10 n t ) T ng N (n=4) có m t ph t ng s (t i đa n t ), m t ph t ng p (t i đa n t ), m t ph t ng d (t i đa 10 n t ) m t ph t ng f (t i đa 14 n t ) Nh vậy: T ng K có t i đa n t Trang Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử T ng L có t i đa n t T ng M có t i đa 18 n t T ng N có t i đa 32 n t Các t ng O,P,Q có ph t ng có t i đa 32 n t ng v i m i ph t ng có m t m c nĕng l theo th t nh sau: ng m c nĕng l ng đ cx p 1s 2s 3s 4s 5s 6s 7s 2p 3p 4p 5p 6p 7p 3d 4d 5d 6d 7d 4f 5f 6f 7f Hình Khi khơng b kích thích, tr ng thái nĕng l ng nh b n t chi m tr c (g n nhân h n) h t ch m i sang m c cao h n (xa nhân h n) Thí d : nguyên t Na có s n t z=11, có ph t ng 1s,2s,2p b n t chi m hồn tồn nh ng ch có n t chi m ph t ng 3s Cách bi u di n: Theo m u c a Bohr Theo m c nĕng l Na11 NATRI ng 1s2 2s2 2p6 3s1 Na +11 Na 2-8-1 Trang Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Si14 SILICIUM 1s2 2s2 2p6 3s2 3p2 Si +14 Si 2-8-4 Ge32 GERMANIUM 1s2 2s2 2p6 3s2 3p6 4s2 3d10 4p2 Ge +32 Ge 2-8-18-4 Hình L p b o hòa: M t ph t ng b o hòa có đ s n t t i đa M t t ng b o hòa m i ph t ng b o hòa M t t ng b o hịa r t b n, khơng nhận thêm khó m t n t T ng cùng: Trong m t nguyên t , t ng ngồi khơng bao gi ch a q n t Nguyên t có n t t ng đ u b n v ng (tr ng h p khí tr ) Các n t t ng quy t đ nh h u h t tính ch t hóa h c c a m t nguyên t III D I NĂNG L NG: (ENERGY BANDS) Nh ng công trình kh o c u d ng k t tinh tia X ch ng t r ng h u h t ch t bán d n đ u Trang Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Ta xét m t m ng tinh th g m N ngun t thu c nhóm 4A, thí d C6 Ta t ng t ng r ng có th thay đ i đ c kho ng cách gi a nguyên t mà không thay đ i c u t o cĕn b n c a tinh th N u nguyên t cách m t kho ng d1 cho tác đ ng l n khơng đáng k m c nĕng l ng c a chúng trùng v i m c nĕng l ng c a m t nguyên t đ c nh t Hai ph t ng ngồi có n t s n t p (C6=1s22s22p2) Do đó, n u ta khơng đ ý đ n t ng trong, ta có 2N n t chi m t t c 2N tr ng thái s có m c nĕng l ng; Ta có 2N n t p chi m 2N tr ng thái p Vậy có 4N tr ng thái p ch a b chi m Gi s kho ng cách gi a nguyên t đ c thu nh h n thành d2, tác d ng c a m t nguyên t b t kỳ lên nguyên t lân cận tr thành quan tr ng Nĕng l ng E 4N tr ng thái ch a b chi m 6N tr ng thái p (2N tr ng thái b chi m) D i d n n 2p D i c m EG D ic m 4N tr ng thái b chi m 2s 2N tr ng thái s b chi m D i hóa tr d0 d4 d3 d2 d1 Hình Ta có m t h th ng g m N nguyên t , nguyên t ph i tuân theo nguyên lý Pauli 2N n t s khơng th có m c nĕng l ng mà ph i có 2N m c nĕng l ng khác nhau; kho ng cách gi a hai m c nĕng k ng r t nh nh ng N r t l n nên kho ng cách gi a m c nĕng l ng cao nh t th p nh t l n, ta có m t d i nĕng l ng 2N tr ng thái c a d i nĕng l ng đ u b 2N n t chi m T ng t , bên d i nĕng l ng ta có m t d i g m 6N tr ng thái p nh ng ch có 2N tr ng thái p b chi m ch Ta đ ý r ng, gi a hai d i nĕng l ng mà n t chi m-đ c có m t d i c m Đi n t không th có nĕng l ng n m d i c m, kho ng cách (d i c m) thu hẹp kho ng cách d nh (xem hình) Khi kho ng cách d=d3, d i nĕng l ng ch ng lên nhau, 6N tr ng thái c a d i hoà v i 2N tr ng thái c a d i d i cho ta 8N tr ng thái, nh ng ch có 4N tr ng thái b chi m kho ng cách này, m i nguyên t có n t t ng ngồi nh ng ta khơng th phân bi t đ c n t n t s n t n t p, kho ng cách t đó, tác d ng c a nguyên t lên r t m nh S phân Trang Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử b d i nĕng l ng tuỳ thu c vào d ng tinh th nguyên t s Ng i ta xác đ nh s phân b b ng cách gi i ph ng trình Schrodinger có k t qu nh hình v Ta có m t d i hố tr (valence band) g m 4N tr ng thái hoàn toàn b chi m m t d i d n n (conduction band) g m 4N tr ng thái ch a b chi m Gi a hai d i nĕng l ng này, có m t d i nĕng l ng c m có nĕng l ng kho ng 6eV (eV: ElectronVolt) volt hi u n th gi a hai m c a m t m ch n nĕng l Joule đ chuy n m t n tích Coloumb t m đ n m Vậy, volt ← V = Vậy nĕng l → Joule W Q → Coloumb ng mà m t n t ti p nhận v V= ng cung c p t m t hi u n th volt là: W Q ⇒ 1V = W 1,602 10 -19 ⇒ W = 1,602.10 −19 Joule Nĕng l ng đ c g i 1eV (1eV=1,602.10-19J) Ta kh o sát tr ng h p đ c bi t c a tinh th Cacbon N u ta kh o sát m t tinh th b t kỳ, nĕng l ng c a n t đ c chia thành t ng d i D i nĕng l ng cao nh t b chi m g i d i hóa tr , d i nĕng l ng th p nh t ch a b chi m g i d i d n n Ta đ c bi t ý đ n hai d i nĕng l ng E Nĕng l ng D i d n n (D i nĕng l th p nh t ch a b chi m) EG ng D ic m D i hoá tr (D i nĕng l ng cao nh t b chi m) Hình * Ta có tr ng h p: Trang 10 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Chú ý gi i h n ch có tính cách t ng đ i S khác v t n s l i d n đ n m t s khác bi t quan tr ng n a nĕng l ng b c x Nĕng l ng b c x t l v i t n s theo công th c: E=h.f v i h: h ng s planck = 6,624.10-34J.sec Nh ta th y, biên đ trung bình c a ph đ c g i c ng đ sáng đ c đo b ng đ n v footcandles Thí d ngu n sáng m t bóng đèn trịn, m t m xa ngu n, c ng đ sáng y u nh ng s l ng ánh sáng t a m t góc kh i (hình nón) không đ i đ c g i quang thông Đ n v c a quang thông Lumens (Lm) hay Watt Lm = 1,496.10-10 watt Đ n v c a c ng đ ánh sáng foot-candles (fc), Lm/ft2 hay W/m2 Trong đó: Lm/ft2 = fc = 1,609.10-12 W/m2 II QUANG ĐI N TR (PHOTORESISTANCE) Là n tr có tr s gi m đ c chi u sáng m nh Đi n tr t i (khi không đ c chi u sáng - bóng t i) th ng 1MΩ, tr s gi m r t nh có th d i 100Ω đ c chi u sáng m nh λ Ký hi u Hình d ng Hình Nguyên lý làm vi c c a quang n tr ánh sáng chi u vào ch t bán d n (có th Cadmium sulfide – CdS, Cadmium selenide – CdSe) làm phát sinh n t t do, t c s d n n tĕng lên làm gi m n tr c a ch t bán d n Các đ c tính n đ nh y c a quang n tr dĩ nhiên tùy thu c vào vật li u dùng ch t o Đi n tr Ω 105 10000 1000 0,1 10 100 1000 fc Hình V ph ng di n nĕng l ng, ta nói ánh sáng cung c p m t nĕng l ng E=h.f đ n t nh y t dãi hóa tr lên dãi d n n Nh nĕng l ng c n thi t h.f ph i l n h n nĕng l ng c a dãi c m Trang 149 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Vài ng d ng c a quang n tr : Quang n tr đ c dùng r t ph bi n m ch u n M ch báo đ ng: B+ Bóng đèn ho c chuông t i R1 SCR λ Ngu n sáng h ng ngo i Hình Khi quang n tr đ c chi u sáng (tr ng thái th ng tr c) có n tr nh , n th c ng c a SCR gi m nh không đ dịng kích nên SCR ng ng Khi ngu n sáng b ch n, R tĕng nhanh, n th c ng SCR tĕng làm SCR d n n, dòng n qua t i làm cho m ch báo đ ng ho t đ ng Ng i ta có th dùng m ch nh trên, v i t i m t bóng đèn đ có th cháy sáng v đêm t t vào ban ngày Ho c có th t i m t relais đ u n m t m ch báo đ ng có cơng su t l n h n M ch m n t đ ng v đêm dùng n AC: Bóng đèn DIAC 15K A TRIAC 220V/50Hz 110V/50Hz 1K λ Hình Trang 150 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Ban ngày, tr s c a quang n tr nh Đi n th m A không đ đ m Diac nên Triac không ho t đ ng, đèn t t v đêm, quang tr tĕng tr s , làm tĕng n th m A, thơng Diac kích Triac d n n, bóng đèn sáng lên III QUANG DIOD (PHOTODIODE) Ta bi t r ng m t n i P-N đ c phân c c thuận vùng hi m hẹp dịng thuận l n h t t i n đa s (đi n t ch t bán d n lo i N l tr ng ch t bán d n lo i P) di chuy n t o nên Khi phân c c ngh ch, vùng hi m r ng ch có dịng n r nh (dòng b o hòa ngh ch I0) ch y qua I R V Ký hi u Phân c c Hình Bây gi ta xem m t n i P-N đ c phân c c ngh ch Thí nghi m cho th y chi u sáng ánh sáng vào m i n i (gi s diod đ c ch t o su t), ta th y dòng n ngh ch tĕng lên g n nh t l v i quang thơng lúc dịng n thuận không tĕng Hi n t ng đ c dùng đ ch t o quang diod Khi ánh sáng chi u vào n i P-N có đ nĕng l ng làm phát sinh c p n t - l tr ng sát hai bên m i n i làm mật đ h t t i n thi u s tĕng lên Các h t t i n thi u s khu ch tán qua m i n i t o nên dòng n đáng k c ng thêm vào dòng n b o hòa ngh ch I0 t nhiên c a diod, th ng d i vài trĕm nA v i quang diod Si d i vài ch c µA v i quang diod Ge Đ nh y c a quang diod tùy thu c vào ch t bán d n Si, Ge hay Selenium… Hình v sau cho th y đ nh y theo t n s c a ánh sáng chi u vào ch t bán d n này: Trang 151 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Đ nh y (%) 100 Se Si Ge 75 50 25 2000 T ngo i λ(Ao) 4000 6000 Ánh sáng th y đ 8000 10000 12000 14000 c H ng ngo i Dòng n ngh ch mA 0,5 4000fc 0,4 3000fc 0,3 2000fc 0,2 1000fc 0,1 Dòng t i L=0 Đi n th phân c c ngh ch Hình Đ c n V-I c a quang diod v i quang thông thông s cho th y quang thông nh n th phân c c ngh ch nh , dòng n tĕng theo n th phân c c, nh ng n th phân c c l n h n vài volt, dòng n g n nh b o hòa (không đ i n th phân c c ngh ch tĕng) quang thơng l n, dịng n thay đ i theo n th phân c c ngh ch T n s ho t đ ng c a quang diod có th lên đ n hành MHz Quang diod nh quang n tr th ng đ c dùng m ch u n đ đóng - m m ch n (d n n có ánh sáng chi u vào ng ng t i) IV QUANG TRANSISTOR (PHOTO TRANSISTOR) Quang transistor n i r ng đ ng nhiên c a quang diod V m t c u t o, quang transistor gi ng nh transistor th ng nh ng c c n n đ h Quang transistor có m t th u kính su t đ tập trung ánh sáng vào n i P-N gi a thu n n Khi c c n n đ h , n i n n-phát đ c phân c c thuậnchút dịng n r (đi n th VBE lúc kho ng vài ch c mV transistor Si) n i thu-n n đ c phân c c ngh ch nên transistor vùng tác đ ng Vì n i thu-n n đ c phân c c ngh ch nên có dịng r Ico ch y gi a c c thu c c n n Vì c c n n b tr ng, n i n n-phát đ c phân c c thuận chút nên dịng n c c thu Ico(1+β) Đây dòng t i c a quang transistor Trang 152 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử IC (mA) hf N IC R ∅4 P N VCC B ∅5 Quang thông ∅3 ∅2 ∅1 Ký hi u Phân c c VCE Đ c n V-I Hình Khi có ánh sáng chi u vào m i n i thu n n s xu t hi n c a c p n t l tr ng nh quang diod làm phát sinh m t dòng n Iλ ánh sáng nên dòng n thu tr thành: IC=(β+1)(Ico+Iλ) Nh vậy, quang transistor, c dòng t i l n dòng chi u sáng đ u đ c nhân lên (β+1) l n so v i quang diod nên d dàng s d ng h n Hình trình bày đ c tính V-I c a quang transistor v i quang thơng m t thông s Ta th y đ c n gi ng nh đ c n c a transistor th ng m c theo ki u c c phát chung Có nhi u lo i quang transistor nh lo i m t transistor dùng đ chuy n m ch dùng m ch u n, m ch đ m… lo i quang transistor Darlington có đ nh y r t cao Ngồi ng i ta ch t o quang SCR, quang triac… T2 A G Quang transistor K Quang SCR Quang Darlington T1 Quang TRIAC Hình Vài ng d ng c a quang transistor: Quang k : Đây m ch đ n gi n đ đo c ng đ ánh sáng, bi n tr 5K dùng đ chu n máy nh m t quang k m u Khi ánh sáng chi u vào m ch, quang transistor d n m nh, kim n k l ch nhi u Dĩ nhiên m ch ta có th dùng quang n tr hay quang diod nh ng nh y h n Trang 153 volt Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử K 5KΩ 9V Hình 10 Đóng hay t t Relais: +12V +12V C Relay T2 R C R T2 T1 Relay T1 Hình 11 Trong m ch đóng relais, quang transistor đ c chi u sáng d n n làm T1 thông, Relais ho t đ ng Ng c l i m ch t t relais, tr ng thái th ng tr c quang transistor không đ c chi u sáng nên quang transistor ng ng T1 thơng, Relais tr ng thái đóng Khi đ c chi u sáng, quang transistor d n m nh làm T1 ng ng, Relais không ho t đ ng ( tr ng thái t t) V DIOD PHÁT QUANG (LED-LIGHT EMITTING DIODE) quang tr , quang diod quang transistor, nĕng l ng c aq ánh sáng chi u vào ch t bán d n c p nĕng l ng cho n t v t dãi c m Ng c l i m t n t t dãi d n n r t xu ng dãi hố tr thí s phát m t nĕng l ng E=h.f Khi phân c c thuận m t n i P-N, n t t t vùng N xuyên qua vùng P tái h p v i l tr ng (v ph ng di n nĕng l ng ta nói n t dãi d n n – có nĕng l ng cao – r i xu ng dãi hố tr - có nĕng l ng th p – k t h p v i l tr ng), tái h p sinh nĕng l ng Trang 154 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử D i d n n D i c m hf D i hóa tr Hình 12 Đ i v i diod Ge, Si nĕng l ng phát d i d ng nh it Nh ng đ i v i diod c u t o b ng GaAs (Gallium Arsenide) nĕng l ng phát ánh sáng h ng ngo i (không th y đ c) dùng m ch báo đ ng, u n t xa…) V i GaAsP (Gallium Arsenide phosphor) nĕng l ng phát ánh sáng vàng hay đ V i GaP (Gallium phosphor), nĕng l ng ánh sáng phát màu vàng ho c xanh Các Led phát ánh sáng th y đ c dùng đ làm đèn báo, trang trí… Ph n ngồi c a LED có m t th u kính đ tập trung ánh sáng phát ID (mA) R Vcc LED ID VD 10 Ký hi u Phân c c GaAsP đ GaAsP vàng Si GaAs GaP l c 1.5 Đ c n VD (volt) Hình 13 Đ có ánh sáng liên t c, ng i ta phân c c thuận LED Tùy theo vật li u c u t o, n th th m c a LED thay đ i t đ n 2.5V dòng n qua LED t i đa kho ng vài mA VI N I QUANG (OPTO COUPLER-PHOTOCOUPLER-OPTOISOLATOR) M t đèn LED m t linh ki n quang n t nh quang transistor, quang SCR, quang Triac, quang transistor Darlington có th t o nên s truy n tín hi u mà không c n đ ng m ch chung Các n i quang th ng đ c ch t o d i d ng IC cho phép cách ly ph n n công su t mà th ng cao th kh i m ch u n tinh vi phía LED Đây m t u m r t l n c a n i quang Hình sau gi i thi u m t s n i quang n hình: Trang 155 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử 6 5 λ 4N25 (Transistor output) 3 4N29 (Darlington output) λ λ HC11C2 (SCR output) λ MOC3021 (Triac output) Hình 14 Hình sau gi i thi u m t áp d ng c a n i quang 270 Q1 T i 510 U1 MOC3021 510 In 3V →30V 150 51 110Vrms 220VAC Hình 15 - Q1: B o v n i quang n th ngu n l n (chia b t dòng n qua LED) - Khi LED sáng, n i quang ho t đ ng kích hai SCR ho t đ ng (m i SCR ho t đ ng m t bán kỳ có xung kích t n i quang) c p dòng cho t i - Khi LED t t, n i quang ng ng, SCR ng ng, ng t dòng qua t i - M ch m t ví d v m ch SSR (Solid – State – Relay) Trang 156 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử NG IX CH S L C V IC I KHÁI NI M V IC - S ĐI N T K T T TRONG H TH NG IC (Intergated-Circuit) m t m ch n t mà thành ph n tác đ ng th đ ng đ u đ c ch t o k t t ho c m t đ (subtrate) hay thân ho c không th tách r i đ c Đ này, có th m t phi n bán d n (h u h t Si) ho c m t phi n cách n M t IC th ng có kích th c dài r ng c vài trĕm đ n vài ngàn micron, dày c vài trĕm micron đ c đ ng m t v b ng kim l ho c b ng plastic Nh ng IC nh th ng m t b phận ch c nĕng (function device) t c m t b phận có kh nĕng th hi n m t ch c nĕng n t S k t t (integration) thành ph n c a m ch n t nh b phận c u thành c a m t h th ng n t v n h ng tìm tịi theo đu i t lâu ngành n t Nhu c u c a s k t t phát minh t s k t t t t nhiên c a m ch h th ng n t theo chi u h ng t đ n gi n đ n ph c t p, t nh đ n l n, t t n s th p (t c đ chậm) đ n t n s cao (t c đ nhanh) S ti n tri n hậu qu t t y u c a nhu c u ngày tĕng vi c x lý l ng tin t c (information) ngày nhi u c a xã h i phát tri n Nh ng h th ng n t công phu ph c t p g m r t nhi u thành ph n, b phận Do n y nhi u v n đ c n gi i quy t: Kho ng không gian mà s l ng l n thành ph n chi m đo t (th tích) M t máy tính n t c n dùng đ n hàng tri u, hàng vài ch c tri u b phận r i N u không th c hi n b ng m ch IC, khơng nh ng th tích c a s l n m t cách b t ti n mà n nĕng cung c p cho s vơ ph c t p Mà n u có th a mãn chĕng n a, máy khơng th c d ng Đ kh tín (reliability) c a h th ng n t : đ đáng tin cậy ho t đ ng theo tiêu chu n thi t k Đ kh tín c a m t h th ng t t nhiên ph thu c vào đ kh tín c a thành ph n c u thành b phận n i ti p gi a chúng H th ng cáng ph c t p, s b phận tĕng ch n i ti p nhi u Vì vậy, n u dùng b phận r i cho h th ng ph c t p, đ kh tín c a s gi m th p M t h th ng nh s tr c tr c r t nhanh Tu i th trung bình t c a m t h th ng n t g m n thành ph n s là: 1 = + + t2 t t1 N u t1=t2= =tn t = + tn ti n Trang 157 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Vậy n u m t transistor có tu i th 108h, m t máy tính g m 500000 ngàn transistor s ch có tu i th 10 = 200 5.10 Các thành ph n IC đ c ch t o đ ng th i ph tu i th IC x p x m t tu i th m t transistor Planar ng pháp, nên M t h th ng (hay m t máy) n t có c u t o nh hình v : M ch n t c b n B phận linh ki n Vật li u B phận c u thành h th ng H th ng n t B phận ch c nĕng S k t t áp d ng vào IC th ng th c hi n giai đo n b phận ch c nĕng Song khái ni m k t t không nh t thi t d ng l i giai đo n Ng i ta v n n l c đ k t t v i mật đ c c cao IC, n m h ng t i vi c k t t toàn th h th ng n t m t phi m (chíp) Nĕm 1947 1950 Công ngh Phát minh Transi -stor Linh ki n r i S Transistor chip s n ph m th ng m i 1 Các s n ph m tiêu bi u BJT Diode 1966 1971 1980 1985 1990 SSI MSI LSI VLSI ULSI GSI 10 100→ 1000 1000→ 20000 20000 → 500000 >500000 >1000000 1961 Linh M ch ki n đ m, đa planar, h p, C ng m ch logic, c ng Flip Flop Vi x Vi x lý bit, lý 16 ROM, 32 bit RAM Vi x lý chuyên d ng, x lý nh, th I gian th c SSI: Small scale integration: Tích h p qui mơ nh MSI: Medium scale intergration: Tích h p qui mơ trung bình LSI: Large scale integration: Tích h p theo qui mơ l n GSI: Ultra large scale integration: Tích h p qui mơ kh ng l Tóm l i, cơng nh IC đ a đ n nh ng m l i so v i kỹ thuật linh ki n r i nh sau: - Giá thành s n ph m h - Kích c nh - Đ kh tín cao (t t c thành ph n đ Trang 158 c ch t o lúc khơng có nh ng Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử m hàn, n i) - Tĕng ch t l ng (do giá thành h , m t ph c t p h n có th đ c ch n đ h th ng đ t đ n nh ng tính nĕng t t nh t) - Các linh ki n đ c ph i h p t t (matched) Vì t t c transistor đ c ch t o đ ng th i m t qui trình nên thơng s t ng ng c a chúng v c b n có đ l n đ i v i s bi n thiên c a nhi t đ - Tu i th cao II CÁC LO I IC D a qui trình s n xu t, có th chia IC làm lo i: IC màng (film IC): Trên m t đ b ng ch t cách n, dùng l p màng t o nên thành ph n khác Lo i ch g m thành ph n th đ ng nh n tr , t n, cu n c m mà − Dây n i gi a b phận: Dùng màng kim lo i có n tr súât nh nh Au, Al,Cu − Đi n tr : Dùng màng kim lo i ho c h p kim có n tr su t l n nh Ni-Cr; Ni-Cr-Al; Cr-Si; Cr có th t o nên n tr có tr s r t l n − T n: Dùng màng kim lo i đ đóng vai trị b n c c dùng màng n mơi SiO; SiO2, Al2O3; Ta2O5 Tuy nhiên khó t o đ c t có n dung l n h n 0,02µF/cm2 − Cu n c m: dùng m t màng kim lo i hình xo n Tuy nhiên khó t o đ c cu n c m l n q 5µH v i kích th c h plý Trong s đ IC, ng i ta tránh dùng cu n c m đ khơng chi m th tích − Cách n gi a b phận: Dùng SiO; SiO2; Al2O3 Có m t th i, Transistor màng m ng đ c nghiên c u r t nhi u đ ng d ng vào IC màng Nh ng ti c transistor màng ch a đ t đ n giai đoận th c d ng, n u không ph i có tri n v ng th c d ng IC đ n tính th (Monolithic IC): Còn g i IC bán d n (Semiconductor IC) – IC dùng m t đ (Subtrate) b ng ch t bán d n (th ng Si) Trên (hay trong) đ đó, ng i ta ch t o transistor, diode, n tr , t n R i dùng ch t cách n SiO2 đ ph lên che ch cho b phận l p SiO2, dùng màng kim lo i đ n i b phận v i − Transistor, diode đ u b phận bán d n − Đi n tr : đ c ch t o b ng cách l i d ng n tr c a l p bán d n có khu ch tán t p ch t − T n: Đ c ch t o b ng cách l i d ng n dung c a vùng hi m t i m t n i P-N b phân c c ngh ch Đơi ng i ta có th thêm nh ng thành ph n khác h n c a thành ph n k đ dùng cho m c đích đ c thù Trang 159 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Các thành ph n đ c ch t o thành m t s r t nhi u m t chip Có r t nhi u m i n i gi a chúng chúng đ c cách ly nh nh ng n i P-N b phân c c ngh ch (đi n tr có hàng trĕm MΩ) IC lai (hibrid IC) Là lo i IC lai gi a hai lo i T vi m ch màng m ng (ch ch a thành ph n th đ ng), ng i ta g n đ c a nh ng thành ph n tích c c (transistor, diode) t i nh ng n i dành s n Các transistor diode g n m ch lai khơng c n có v hay đ riêng, mà ch c n đ c b o v b ng m t l p men tráng u m c a m ch lai là: - Có th t o nhi u IC (Digital hay Analog) Có kh nĕng t o ph n t th đ ng có giá tr khác v i sai s nh Có kh nĕng đ t m t đ , ph n t màng m ng, transistor, diode c lo i IC bán d n Th c ch t o, ng i ta có th dùng qui trình ph i h p Các thành ph n tác đ ng đ c ch t o theo thành ph n kỹ thuật planar, cịn thành ph n th đ ng theo kỹ thuật màng Nh ng trình ch t o thành ph n tác đ ng th đ ng đ c th c hi n không đ ng th i nên đ c tính thông s c a thành ph n th đ ng khơng ph thu c vào đ c tính thông s c a thành ph n tác đ ng mà ch ph thu c vào vi c l a ch n vật li u, b d y hình dáng Ngồi ra, transistor c a IC lo i n m đ , nên kích th c IC đ c thu nh nhi u so v i IC ch a transistor r i IC ch t o b ng qui trình ph i h p c a nhi u u m V i kỹ thuật màng, m t di n tích nh có th t o m t n tr có giá tr l n, h s nhi t nh Đi u n t c đ ng ng đ ng c a màng, có th t o m t màng n tr v i đ xác r t cao C V QUI TRÌNH CH T O M T IC Đ N III S L TINH TH Các giai đo n ch t o m t IC đ n tinh th có thành ph n tác đ ng BJT, đ gi n hóa g m b c sau: B cđ n c 1: SiO2 25 – 75mm 0.5µm 0.025mm n - Si n - Si 0.15mm N n P-Si N n P-Si 0.15mm Hình Trang 160 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử a T m t n n P-Si (ho c n-Si) đ n tinh th b T o m t l p epitaxy m ng lo i N-Si c Ph m t l p cách n SiO2 B c 2: uv Dùng ph ng pháp quang kh c đ kh l p SiO2 film m t s ch nh t đ nh, t o c a s b m t tinh Ch t c m quang th T c a s , có th khu ch tán t p ch t vào Đ u tiên, v s đ nh ng n i c n m c a s , ch p hình s đ r i l y phim âm b n, thu nh l i Nh ng n i c n m c a s vùng t i phim a Bôi m t l p c n quang b m t Đ t phim r i tia c c tím vào nh ng n i c n m c a s đ c l p đen phim b o v Nhúng tinh th vào dung d ch tricloetylen Ch nh ng n i c n m c a s l p c n quang m i b hòa tan, n i khác r n l i b.L i đem tinh th nhúng vào dung d ch fluorhydric Ch nh ng n i c n m c a s l p SiO2 b hòa tan, nh ng n i khác nh l p c n quang che ch c Đem t y l p c n quang d Khu ch tán ch t bán d n P sâu đ n thân, t o đ o N e L i m c a s , khu ch tán ch t bán d n P vào đ o N (khu ch tán Base) f L i m c a s , khu ch tán ch t bán d n N vào (khu ch tán Emitter) g Ph kim lo i Th c hi n ch n i SiO2 n-Si P-Si Hòa tan R n l i Ch t c m quang SiO2 n-Si P-Si Hòa tan SiO2 n-Si P-Si Khu ch tán p SiO2 Đ o n Thân P n Khu ch tán Base Thí d : M t m ch n đ n gi n nh sau, đ IC đ n tinh th c ch t o d i d ng SiO2 p n R SiO2 n p D1 Hình p n Khu ch tán Emitter D1 N n P n n N n P p n Hình Trang 161 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử Đi n tr Kim lo i Al Diode B B Diode n i B Transistor B n+ n+ B n+ n+ SiO2 n+ Base B p p p n n n Collector Thân p Ti p xúc kim lo i Emitter Hình B IV IC S (IC DIGITAL) VÀ IC T ANALOG) D a ch c nĕng x lý tín hi u, ng Analog (cịn g i IC n tính) NG T (IC i ta chia IC hai lo i: IC Digital IC IC Digital: Là lo i IC x lý tín hi u s Tín hi u s (Digital signal) tín hi u có tr giá nh phân (0 1) Hai m c n th t ng ng v i hai tr giá (hai logic) là: - M c High (cao): 5V đ i v i IC CMOS 3,6V đ i v i IC TTL - M c Low (th p): 0V đ i v i IC CMOS 0,3V đ i v i IC TTL Thông th ng logic t ng ng v i m c H, logic t ng ng v i m c L Logic logic đ ch hai tr ng thái đ i ngh ch nhau: Đóng m , sai, cao th p… Ch ng lo i IC digital không nhi u Chúng ch g m m t s lo i m ch logic cĕn b n, g i c ng logic V công ngh ch t o, IC digital g m lo i: - RTL: Resistor – Transistor logic - DTL: Diode – Transistor logic - TTL: Transistor – Transistor logic Trang 162 Biên soạn: Trương Văn Tám Giáo trình Linh Kiện Điện Tử - MOS: metal – oxide Semiconductor - CMOS: Complementary MOS IC analog: Là lo i IC x lý tín hi u Analog, lo i tín hi u bi n đ i liên t c so v i IC Digital, lo i IC Analog phát tri n chậm h n M t lý IC Analog ph n l n đ u m ch chuy n d ng (special use), tr m t vài tr ng h p đ c bi t nh OP-AMP (IC khu ch đ i thuật toán), khu ch đ i Video nh ng m ch ph d ng (universal use) Do đ tho mãn nhu c u s d ng, ng i ta ph i thi t k , ch t o r t nhi u lo i khác Tài li u tham kh o ********** Fleeman - Electronic Devices, Discrete and Intergrated - Printice - Hall International1998 Boylestad and Nashelky - Electronic Devices and Circuit Theory - Printice - Hall International 1998 J.Millman - Micro electronics, Digital and Analog, Circuits and Systems - Mc.Graw.Hill Book Company - 1979 Nguy n H u Ph ng - Đi n t trung c p - S Giáo D c & Đào T o TP HCM-1992 Trang 163 Biên soạn: Trương Văn Tám ... nh t kỹ thu? ?t ch t o linh ki n n t Silicium Germanium M i nguyên t c a hai ch t đ u có n t ngồi k t h p v i n t c a nguyên t k cận t o thành li? ?n k t hóa tr Vì tinh th Ge Si nhi t đ th p ch t. .. ) m t ph t ng d (t i đa 10 n t ) T ng N (n=4) có m t ph t ng s (t i đa n t ), m t ph t ng p (t i đa n t ), m t ph t ng d (t i đa 10 n t ) m t ph t ng f (t i đa 14 n t ) Nh vậy: T ng K có t i... ch ng t r ng h u h t ch t bán d n đ u Trang Biên soạn: Trương Văn T? ?m Giáo trình Linh Kiện Điện T? ?? Ta x? ?t m t m ng tinh th g m N ngun t thu c nhóm 4A, thí d C6 Ta t ng t ng r ng có th thay đ