Nghiên cứu phương pháp không tiếp xúc đo Profin bề mặt chi tiết cơ khí bằng đầu dò quang học hoạt động theo nguyên lý tự động bù sai lệch hội tụ301

Bộ giáo dục đào tạo Trờng đại học bách khoa hà nội Ngô ngọc anh Nghiên cứu phơng pháp không tiếp xúc đo profin bề mặt chi tiết khí đầu dò quang học hoạt động theo nguyên lý tự động bù sai lệch hội tụ Luận án tiến sĩ kỹ thuật Hà NI - 2011 Bộ giáo dục đào tạo Trờng đại học bách khoa hà nội Ngô ngọc anh Nghiên cứu phơng pháp không tiếp xúc đo profin bề mặt chi tiết khí đầu dò quang học hoạt động theo nguyên lý tự động bù sai lệch hội tụ Chuyên ngành : Công nghệ Chế tạo máy M số : 62.52.04.01 Ln ¸n tiÕn sÜ kü tht H−íng dÉn khoa häc : PGS TS Ngun TiÕn Thä : Hµ NộI - 2011 TS Vũ khánh xuân Lời cam đoan Tôi xin cam đoan luận án công trình khoa học nghiên cứu Các kết công bố trung thực không trùng với công trình khác Nghiên cứu sinh Ngô NgôNgọc NgọcAnh Anh Lời cảm ơn Trong trình nghiên cứu, tác giả luận án đ nhận đợc nhiều giúp đỡ quý báu thầy cô, nhà khoa học nớc số lĩnh vực liên quan, đồng nghiệp, bạn bè gia đình Trớc hết, lời cảm ơn sâu sắc xin đợc gưi tíi PGS.TS Ngun TiÕn Thä mét nhµ khoa häc, ngời thầy lớn đ tận tâm bảo, hớng dẫn không trình thực luận án Tiếp theo xin cảm ơn TS Vũ Khánh Xuân, ngời hớng dẫn thứ hai đồng thời thủ trởng quan làm việc, đ tạo nhiều điều kiện thuận lợi cho hoàn thành chơng trình nghiên cứu Xin gửi lời cảm ơn tới: ã Các thầy cô Bộ môn Cơ khí Chính xác Quang học - Viện Cơ khí Trờng Đại học Bách khoa Hà nội ã Giáo s Kuang Chao Fan - Khoa Chế tạo máy - Trờng đại học Quốc gia Đài loan với báo liên quan tới vấn đề nghiên cứu luận án nh trao đổi nhiệt tình, nhanh chóng giá trị ã TS Lê Duy Tuấn số đồng nghiệp thuộc Bộ môn Khí tài quang - Học viện Kỹ thuật Quân với trao đổi, thảo luận, tài liệu nh trợ giúp đo đạc thông số chi tiết quang học ã Các đồng nghiệp Viện nghiên cøu khoa häc vµ chuÈn Hµn Quèc (KRISS): TS Ho Suhng Suh, TS Jae Wan Kim, TS Chu Shik Kang, TS Eom Tae Bong đ gửi số báo tài liệu liên quan tới vấn đề nghiên cứu luận án ã Thạc sĩ Bùi Quốc Thụ đồng nghiệp phòng Độ dài - Viện Đo lờng Việt nam Sau xin tỏ lòng biết ơn tới ngời thân gia đình đ tạo điều kiện thuận lợi cho trình nghiên cứu Xin chân thành cảm ơn! Tác giả NCS Ng« Ngäc Anh đng Mơc lơc Trang Danh mục thuật ngữ, chữ viết tắt, ký hiệu 01 Danh mơc b¶ng 03 Danh mơc h×nh 04 Mở đầu 08 Chơng - Tổng quan Nhám bề mặt phơng pháp đo nhám .12 1.1 Sai lệch hình dạng, sóng nhám bề mặt 12 1.2 Các thông số nhám bề mặt 13 1.2.1 Th«ng sè nh¸m 2D 14 1.2.1.1 Đờng trung bình, chiều dài chuẩn, chiều dài đánh giá: 15 1.2.1.2 Một số thông số biên độ 16 1.2.1.3 Th«ng sè vỊ b−íc nh¸m RSm (hay Sm) 19 1.2.1.4 Thông số độ dốc trung bình tuyệt đối R a 19 21 1.2.1.5 Các hàm số phân tích thống kê thông số liên quan 1.2.2 Thông sè nh¸m 3D 23 1.2.2.1 Phân loại thông số nh¸m 3D 23 1.2.2.2 Một số thông số nhám 3D 25 1.3 Ph−¬ng pháp đo nhám bề mặt 27 28 1.3.1 Một số phơng pháp đo theo mặt 1.3.1.1 Phơng pháp đo tán xạ toàn phần 28 1.3.1.2 Giao thoa kế hoạt động theo nguyên lý dịch pha 29 32 1.3.1.3 Nguyên lý đo bề mặt theo thay đổi điểm hội tô 34 1.3.2 Một số phơng pháp đo chép hình 34 1.3.2.1 Phơng pháp đo tiếp xúc đầu dò 35 1.3.2.2 Thiết bị đo profin bề mặt theo nguyên lý tam giác đạc 1.3.2.3 Phơng pháp đo chép hình profin bề mặt theo nguyên lý tự động bù sai lệch hội tụ 36 1.4 KÕt luËn ch−¬ng 40 Ch−¬ng - Cơ sở tính toán thiết kế đầu dò không tiếp xúc đo profin bề mặt hoạt động theo nguyên lý tù ®éng bï sai lƯch héi tơ .41 2.1 Sơ đồ nguyên lý đầu dò quang học 41 2.2 Xây dựng sở tính toán chuyển đổi tín hiệu đo hệ quang đầu 43 dò 2.2.1 Công thức xác định quan hệ tia sáng với tia sáng vào thÊu kÝnh héi tô 45 Xác định tín hiệu đo vật đo nằm tiêu cự vật kính 48 Xây dựng hàm chuyển đổi tín hiệu ®o l−êng, tÝnh to¸n kÝch th−íc hai b¸n trơc cđa đốm sáng êlíp theo sai lệch hội tụ 53 55 2.2.3.1 Tr−êng hỵp bề mặt vật đo nằm tiêu cự vật kính 61 2.2.3.2 Trờng hợp bề mặt vật ®o n»m tiªu cù vËt kÝnh 67 2.3 BiÕn ®ỉi sai lƯch héi tơ tõ diƯn tÝch ®èm s¸ng thành tín hiệu điện 67 2.3.1 Xác định thay đổi diện tích đốm sáng theo sai lƯch héi tơ 70 2.3.2 BiÕn ®ỉi diƯn tích chiếu sáng thành tín hiệu điện 77 2.4 Quá trình bù sai lệch hội tụ hình thành số đo profin bề mặt 2.5 KÕt luËn ch−¬ng 80 2.2.2 2.2.3 Chơng - Một số yếu tố ảnh hởng tới độ xác độ tin cậy phơng pháp đo profin bề mặt đầu dò laser tự ®éng bï sai lƯch héi tơ 81 3.1 ThiÕt lập hàm chuyển đổi tín hiệu đo lờng trờng hợp bề mặt vật đo phản xạ gơng 81 81 3.1.1 BÒ mặt đo nằm tiêu cự vật kính 84 3.1.2 BỊ mỈt ®o n»m tiªu cù cđa vËt kÝnh 87 3.1.3 Tóm tắt kết tính toán chuyển đổi tín hiệu ®o l−êng 91 3.2 C¬ së thiết lập thông số hệ quang theo yêu cầu đo l−êng 91 3.2.1 Đặc điểm thiết bị ®o quang häc 93 3.2.2 C¬ sở thiết lập thông số hệ quang theo yêu cầu đo lờng 3.3 ảnh hởng góc nghiêng profin bề mặt tới độ xác dịch chuyển bù sai lƯch héi tơ 96 3.4 ảnh hởng nguồn sáng tới khả hội tụ thành điểm hệ quang 101 3.4.1 Laser b¸n dÉn 101 3.4.2 Tính toán ảnh hởng độ loạn thị nguồn laser diode đến kích th−íc mịi dß quang häc 103 109 3.4.3 Nhận xét ảnh hởng độ loạn thị nguồn laser bán dẫn 3.4.4 Đảm bảo ổn định nguån laser 109 111 3.5 Một số biện pháp nâng cao độ nhạy chất lợng hệ quang đầu dò 111 3.5.1 Một giải pháp nâng cao độ tin cậy tín hiƯu sai lƯch héi tơ 3.5.2 B¶o vƯ ngn sáng tăng cờng độ nhạy đầu dò laser với ánh sáng phân cực 113 3.5.2.1 Tạo ánh sáng phân cực thẳng phân cực tròn 113 3.5.2.2 Sự biến đổi trạng thái phân cực tia sáng hệ quang đầu dò114 116 3.5.3 Biện pháp giảm thất thoát tín hiệu ®o víi mµng máng quang häc 116 3.5.3.1 Khử phản xạ bề mặt thấu kính 3.5.3.2 Màng bán thấu 118 3.6 KÕt luËn ch−¬ng 119 Ch−¬ng - thùc nghiƯm Kết 120 120 4.1 Sơ đồ thiết bị đo profin bề mặt theo nguyên lý tự động bù sai lệch hội tụ 4.2 Thực nghiệm xác định tín hiệu sai lệch hội tụ U đầu dò quang học .121 4.2.1 Đầu dò quang học 121 123 4.2.2 Xác định tín hiệu sai lệch hội tụ1 U 4.3 BiÕn ®ỉi tÝn hiƯu sai lƯch héi tơ U tÝn hiƯu bù sai lệch hội tụ 2U , thành hình thành số đo phơng z profin bề mặt 126 4.4 Xác định đặc tÝnh cđa c¬ cÊu bï sai lƯch héi tơ 128 129 4.5 Thùc nghiƯm x¸c định kích thớc mũi dò quang học đầu đo 131 4.6 Thiết kế chế tạo thiết bị đo profin bề mặt với đầu dò quang học 131 4.6.1 Mô tả thiết kế 131 4.6.2 Phơng pháp hình thành số đo phơng x profin bề mặt 132 4.6.3 Thực nghiệm đánh giá độ xác số đo phơng x 4.6.4 Đánh giá ảnh hởng độ thẳng đờng trợt phơng x tới độ 133 xác số đo phơng z profin 4.6.5 Thu thập, lu giữ xử lý tín hiệu đo, hình thành profin bề mặt dạng số hãa 134 135 4.6.6 Giíi thiƯu thiÕt bÞ đo với đầu dò laser đợc chế tạo 136 4.7 Xây dựng chơng trình đo nhám bỊ mỈt 136 4.7.1 ThuËt toán xử lý liệu profin bề mặt 4.7.2 Xây dựng đánh giá chơng trình đo nhám bề mặt cho thiết bị đo laser không tiếp xúc đợc chế t¹o 138 4.8 Thực nghiệm đánh giá độ xác thiết bị đo đợc chế tạo mẫu nhám chuẩn 142 4.9 KÕt luËn ch−¬ng .144 KÕt luËn 145 Danh mục công trình đG công bố luận án 147 Tài liệu tham kh¶o 149 Phô lôc Phô lôc Phô lôc Phô lôc Phô lôc Phô lôc 155 159 173 176 190 196 Danh môc thuật ngữ, chữ viết tắt, ký hiệu Tiếng Việt Tiếng Anh Sai lệch hình dạng : Form error Độ sóng : Waviness Độ nhám : Roughness Thông số nhám bề mỈt : Surface roughness parameters Profin : Profile Sampling length / Cut-off length : Chiều dài chuẩn Chiều dài đánh giá : Assessment length / Evaluation length Đờng trung bình : Mean line Thông số biên độ : Amplitude Parameter Thông số bớc/khoảng cách : Spacing Parameter Thông số hỗn hợp : Hybrid Parameter Kỹ thuật đo chép hình :Profiling technique Kỹ thuật đo mặt :Area technique Kỹ thuật đo đầu dò tiếp xúc Stylus : technique Tán xạ toàn phần : Total Integrated Scatter (TIS) Thiết bị đo tam giác đạc : TriAngular Instrument (TAI) Giao thoa kế dịch pha : Phase Shifting Interferometry (PSI) Thiết bị đo thay đổi tiêu điểm Focus : variation instruments Phơng pháp hội tụ loạn thị : Astigmatism method Nguyên lý ®iỊu tiªu tù ®éng : Autofocus principle Sai lƯch héi tơ : Focus Error TÝn hiƯu sai lƯch héi tơ :Focus Error Signal ChiỊu s©u héi tơ : Depth of Focus Hàm phân bố biên độ : Amplitude Distribution Function (ADF) Hàm mật độ biên độ : Amplitude Density Function (ADF) Đờng phân bố biên độ : Amplitude Distribution Curve (ADC) Đờng tỷ lệ chịu tải : Bearing Ratio Curve (BRC) Đờng vùng chịu tải : Bearing Area Curve (BAC) §−êng tû lƯ vËt liƯu : Material Ratio Curve (MRC) Phơng trình vi phân Lagrang điểm Khẩu độ sè (NA) 7-point : Lagrangian differential formula : Numerical Aperture / Angular Aperture Góc thu : Acceptance angle Phản xạ gơng : Specular reflection Phản xạ khuếch tán : Diffuse reflection Hệ số phản xạ biên độ : Amplitude reflection coefficient Hệ số truyền qua biên độ : Amplitude transmission coefficient Hệ số phản xạ cờng độ : Reflectance Hệ sè trun qua c−êng ®é : Transmittance HƯ sè hÊp thơ : Absorption coefficient HƯ sè suy gi¶m : Attenuation coefficient Mét sè ký hiƯu f1 : Tiªu cù vËt kÝnh f2 : Tiªu cù thÊu kÝnh chuÈn trùc f3 : Tiêu cự thấu kính trụ l : Khoảng cách vật kính thấu kính chuẩn trực c : Khoảng cách thấu kính chuẩn trực thấu kính trụ R : Bán kính đốm sáng tròn mặt phẳng thu hội tụ : Sai lệch hội tụ bề mặt đo với tiêu cự vật kính a, b : Kích thớc hai bán trục đốm sáng êlíp mặt phẳng thu U1 : Tín hiệu sai lƯch héi tơ U2 : TÝn hiƯu bï sai lƯch héi tơ Danh mơc b¶ng Trang B¶ng 2.1 : Thông số xác định tia sáng qua thấu kính hệ quang 49 Bảng 2.2 : Các công thức xác định R2 tg2 cho bề mặt phản xạ khuếch tán 63 Bảng 3.1 : Các công thức tổng quát xác định kích thớc hai bán trục a b 87 Bảng 3.2 : So sánh kích thớc a b trờng hợp khác 90 Bảng 3.3 : Tính toán hệ quang với độ loạn thị nguồn SA= 8àm 107 Bảng 3.4 : Tính toán hệ quang với độ loạn thị nguồn SA= 200 àm 108 Bảng 4.1 : Những chân lấy tín hiệu cần sử dụng SF-HD62 122 Bảng 4.2 : So sánh kết chơng trình đo với Softgauge 141 Bảng 4.3 : Kết đo so sánh với giá trị danh định 143 Bảng 4.4 : Kết đo so sánh với giá trị đo thiết bị đo đầu dò tiếp xúc 143 188 Try Private Sub Parameter_SetAllStat_bt_Click(ByVal sender As System.Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles Parameter_SetAllStat_bt.Click Dim pos As Integer For Each Box As Object In Me.Parameter_tab.SelectedTab.Controls Try pos = InStr(Box.Name, "stat") If pos Then Box.Checked = True End If Catch ex As Exception End Try Next End Sub Private Sub Parameter_CanAllStat_bt_Click(ByVal sender As System.Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles Parameter_CanAllStat_bt.Click Dim pos As Integer For Each Box As Object In Me.Parameter_tab.SelectedTab.Controls Try pos = InStr(Box.Name, "stat") If pos Then Box.Checked = False End If Catch ex As Exception End Try Next End Sub Private Sub Parameter_SetAllSheet_bt_Click(ByVal sender As System.Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles Parameter_SetAllSheet_bt.Click Dim pos As Integer For Each Box As Object In Me.Parameter_tab.SelectedTab.Controls Try pos = InStr(Box.Name, "sheet") If pos Then Box.Checked = True End If Catch ex As Exception End Try Next End Sub Private Sub SetStandard_Disposed(ByVal sender As Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles Me.Disposed Main.Show() End Sub Private Sub SetStandard_Load(ByVal sender As System.Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles MyBase.Load Select Case Me.standard_buff Case "ISO 1997" Me.ISO1997_Click(sender, e) Case "JIS 1982" Me.JIS1982_Click(sender, e) Case "JIS 1994" Me.JIS1994_Click(sender, e) Case "JIS 2001" Me.JIS2001_Click(sender, e) Case "ANSI 1995" Me.ANSI1995_Click(sender, e) End Select End Sub Private Sub ANSI1995_Click(ByVal sender As Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles ANSI1995.Click Me.standard_buff = "ANSI 1995" 189 Me.Parameter_tab.SelectTab(4) Me.Filter_tab.SelectTab(4) Me.Profile_tab.SelectTab(4) Me.SetAll_bt_Click(sender, e) Me.R_filter_ANSI1995.Checked = False Me.Default_cb.Enabled = False Me.Default_cb.Checked = True End Sub Private Sub JIS2001_Click(ByVal sender As Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles JIS2001.Click Me.standard_buff = "JIS 2001" Me.Parameter_tab.SelectTab(3) Me.Filter_tab.SelectTab(3) Me.Profile_tab.SelectTab(3) Me.SetAll_bt_Click(sender, e) Me.G_filter_JIS2001.Checked = True Me.G_filter_JIS2001.Enabled = False Me.R_filter_JIS2001.Enabled = True Me.R_filter_JIS2001.Checked = False Me.Default_cb.Enabled = False Me.Default_cb.Checked = True End Sub Private Sub JIS1982_Click(ByVal sender As Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles JIS1982.Click Me.standard_buff = "JIS 1982" Me.Parameter_tab.SelectTab(1) Me.Filter_tab.SelectTab(1) Me.Profile_tab.SelectTab(1) Me.SetAll_bt_Click(sender, e) Me.R_filter_JIS1982.Checked = False Me.Default_cb.Enabled = True Me.Default_cb.Checked = False End Sub Private Sub ISO1997_Click(ByVal sender As Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles ISO1997.Click Me.standard_buff = "ISO 1997" Me.Parameter_tab.SelectTab(0) Me.Filter_tab.SelectTab(0) Me.Profile_tab.SelectTab(0) Me.SetAll_bt_Click(sender, e) Me.G_filter_ISO1997.Enabled = False Me.R_filter_ISO1997.Checked = False Me.Default_cb.Enabled = True Me.Default_cb.Checked = False End Sub Private Sub ISO1997_Click(ByVal sender As Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles ISO1997.Click Me.standard_buff = "ISO 1997" Me.Parameter_tab.SelectTab(0) Me.Filter_tab.SelectTab(0) Me.Profile_tab.SelectTab(0) Me.SetAll_bt_Click(sender, e) Me.G_filter_ISO1997.Enabled = False Me.R_filter_ISO1997.Checked = False Me.Default_cb.Enabled = True Me.Default_cb.Checked = False End Sub End Class 190 TEST FOCUS POINTS Hình 4.4: Đặc tuyến sai lệch hội tụ đợc thể chơng trình đo Imports ZedGraph Public Class TestFocusPoint Dim pulA, pulB, pulC, pulD As Double Dim servoFesMin As Integer = Dim servoFesMax As Integer = Dim listPoint As PointPairList Private Sub CreateGraph(ByVal zgc As ZedGraphControl, ByVal list As PointPairList) Dim myPane As GraphPane = zgc.GraphPane ' Set the titles and axis labels myPane.Title.Text = "Đặc tuyến sai lệch hội tụ (Focus Error Signal curve)" myPane.Title.FontSpec.Size = 14 myPane.XAxis.Title.Text = "Sai lệch hội tụ" myPane.YAxis.Title.Text = "Fes (V)" ' Make up some data points from the Sine function Dim list1 = New PointPairList() Dim x As Double, y As Double For x = To 36 y = Math.Sin(x * Math.PI / 15.0) list1.Add(x, y) Next x Private Sub cancel_bt_Click(ByVal sender As System.Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles OK_bt.Click Main.MeasureTimer.Enabled = True Me.Close() Main.Show() End Sub Private Sub Zoomout_Click(ByVal sender As System.Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles PictureBox3.Click Dim averagePointY, averagePointX As Double 191 averagePointY = (Me.DoThi.GraphPane.YAxis.Scale.Max + Me.DoThi.GraphPane.YAxis.Scale.Min) / averagePointX = (Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Max + Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Min) / Me.DoThi.GraphPane.YAxis.Scale.Min = averagePointY - ((averagePointY Me.DoThi.GraphPane.YAxis.Scale.Min) / 1.1) Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Min = averagePointX - ((averagePointX Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Min) / 1.1) Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Max = averagePointX + ((Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Max - averagePointX) / 1.1) Me.DoThi.GraphPane.AxisChange() Me.DoThi.Refresh() End Sub Private Sub Zoomin_Click(ByVal sender As System.Object, ByVal e As System.EventArgs) Handles PictureBox1.Click Dim averagePointY, averagePointX As Double averagePointY = (Me.DoThi.GraphPane.YAxis.Scale.Max + Me.DoThi.GraphPane.YAxis.Scale.Min) / averagePointX = (Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Max + Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Min) / Me.DoThi.GraphPane.YAxis.Scale.Max = averagePointY + ((Me.DoThi.GraphPane.YAxis.Scale.Max - averagePointY) * 1.1) Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Min = averagePointX - ((averagePointX Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Min) * 1.1) Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Max = averagePointX + ((Me.DoThi.GraphPane.XAxis.Scale.Max - averagePointX) * 1.1) Me.DoThi.GraphPane.AxisChange() Me.DoThi.Refresh() End Sub Private Sub SERVOFES_EDITOR_Scroll(ByVal sender As System.Object, ByVal e As System.Windows.Forms.ScrollEventArgs) Handles SERVOFES_EDITOR.Scroll Vout = _global.minVout + (Me.SERVOFES_EDITOR.Maximum Me.SERVOFES_EDITOR.Value) * thangdo Main.AnalogOut.RealOutput(Vout) Me.SERVOFES_EDITOR_tb.Text = Me.SERVOFES_EDITOR.Maximum – Me.SERVOFES_EDITOR.Value Me.ServoFES_manual_tb.Text = Vout Main.AnalogIn.ChannelNow = pulA = Main.AnalogIn.DataAnalog.ToString Main.AnalogIn.ChannelNow = pulC = Main.AnalogIn.DataAnalog.ToString Main.AnalogIn.ChannelNow = pulD = Main.AnalogIn.DataAnalog.ToString Main.AnalogIn.ChannelNow = pulB = Main.AnalogIn.DataAnalog.ToString fes = (pulA + pulC - pulD - pulB) '/ (pulA + pulB + pulC + pulD) Me.FES_manual_tb.Text = fes End Sub End Class 192 Phô lục MộT Số hình ảnh thực nghiệm Hình 5.1:Mô hệ quang loạn thị với chơng trình tính toán hệ quang ZEMAX Hình 5.2: Thực nghiệm xác định hàm nhòe điểm PSF vật kính kích thớc mũi dò quang Bộ môn Khí tài -Học viện Kỹ thuật Quân Hình 5.3: Đánh giá độ xác cđa c¸c trơc vÝt me bi víi ngn chn laser HP529A Viện Đo lờng Việt nam 193 Hình 5.4: Thực nghiệm xác định đặc tuyến sai lệch hội 1tụcủa U đầu dò Hình 5.5: Một số mạch điện đợc thiết kế chế tạo Hình 5.6: Card thu thập xử lý tín hiệu PCI 1711 cáp nối PCL-10168, cổng kết nối 68 chân ADAM 3968 194 Hình 5.7: Thực nghiệm xác định đặc tuyến bù sai lệch hội tụ U2 đầu dò Kết cho thấy phạm vi tuyến tính lên tới 700 àm Hình 5.8: Thực nghiệm đánh giá độ thẳng sống trợt theo phơng dịch chuyển đo Chuẩn sử dụng: thiết bị đo so sánh TT80 đồng hồ rà 195 Hình 5.9: Thiết bị đo profin bề mặt với đầu dò laser hoạt động theo nguyên lý tự động bù sai lệch hội tụ đợc chế tạo Hình 5.10: Giao diện chơng trình đo Hình 5.12: Profin kết đo mẫu nhám chuẩn dạng sóng sin số 431931 Mitutoyo với máy đo nhám tiếp xúc SV3000-CNC Hình 5.11: Đặc tuyến sai lệch hội tụ thu đợc trình đo Hình 5.13: Profin kết đo mẫu nhám chuẩn dạng sóng sin số 431931 Mitutoyo với máy đo profin không tiếp xúc đợc chế tạo 196 Phô lôc MộT Số giấy chứng nhận kết đo thử nghiệm thiết bị đo nhám laser không tiếp xúc đợc chế tạo rdrue cuc ruu cHuAru Do LuoNG cHAr lueNe (Directorate for Standards, Metrology and Quality) vFN Do LudNe uFr NAM (Vetnam Metrolo gy Institute ) Add: 56 Duong Hoong Qu5c ViQt - Cbu gidy - Hd Tel: (84-4) 38361872 Emqil: vmi@hn.vnn.vn ; / vmi@fpt.vn; Fox: (84-4) 37564260; NOi Website: http://www.vmi,gov.vn l CAv CHI1NG NHAN rEr auA Do, TH0 NGHTFM lr' (Measurement & Testing Certificate) sii qNo;: vot.cN6.oto.11 TCn rtdi tuqng do, thri nghiQm (objects.): /' Thi6t bi profin bd m[t (Laser Profilometer) Ki& Wp"l: khdng titip xric E[c tnmg k! thu$t co s& sri dpng 36 6eria N1: V0t.CN6.010.t (rechnicat specification)i DAnh ,' (customer)i bing laser l gi6 chucmg trinh xri ly sO liQu thOng s6 nh6m Phdng Do lucrng DQ cria thitit b|,,do dii; viQn Do ludng Vi0t nam tu Phuong ph6p thgc hiQn @ accordancewith)i Do soi6nh ChuAn dugc sri dgng (Standards used)i Asia Pacific Metrology Program (APIvIP) , Ki5t qui Intercomparison of Surface Roughness (Resutts); Ngdy 30 th6ng 06 ndm ffi Tru6ng phdng thf nghi6m (Head of the calibration Laboratory) rw Tranp: (Na ipogrilU3 Khdng duqc ch€p bang vdn bdn TRT/ONG */t'"9 Btri Quiic ThB 20tt PHO VICN TRUdNG 6.dh,.%rfli" %tdn riri gidy ch*ng nhdn cd nhibu trang ndu khdng duqc sw dbng cua Vien Do ludng ViQt Nam (This calibration certiJicate shall not be reproduced except in full, without written gpproval of VMI) ! la KET QUA Chuin sr? & Testing results) dgng: BO 07 softgauge gdm: EDMl6ms, Ground08ms, Bu6c 6y m6u: 0.25 pm Ti0uchu6n: ISO 5436-2 TOn bQ , R" vir Ro R" (pm) Gi6 tri chudn ,, ,($:': EDMl6ms r.422 Ground0Sms,.' 0.855 0.832 HoneO8ms 0.787 0.799 0.500 0.485 Sinl 0.637 0.653 Sinl2phs ,0.810 0.795 t,' >)-;g @a of pages) I (M1"'": ' Sai lOch (7o) [i#]"rc[% -1.20 1.310 -2.69 +1.52 -3.00 +2.5I -1.85 +1.47 dtoi l6n nhdt - 3.00 Sai l€ch tr€n l6n nhdt + 2.5I Sai lAch J ; r.29t CorlOgau Trang: Gi6,tr-i tinh b6i chuong,tdnhd0 softgauge b' Sawl, Sinl, 56 tqa d0 tli6m trOn profin m6u: 24001 iil6m Th0ng sd }O LL{ HoneO8ms, Sinl2phs, Corl0gau Kiit qui al6nh gid trGn 03 thdng sd : R" @ vlE, vlq'r DO, THl} NGHIEM (Measurement Kam theo gidy chung nh6n kdt qud iloltht nghiem sd (attached to certificate Il!): ,