THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ - BÀI 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

... THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ BÀI 1: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I TÓM TẮT LÝ THUYẾT: I .1 Định nghĩa tượng phún xạ: Phún xạ tượng nguyên tử bề ... Hình 1. 1: Sơ đồ mô tả trình phún xạ I.2 Phương pháp phún xạ magnetron DC: I.2 .1 Hệ magnetron phẳng: HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ (Hình 1. 2)  Bộ phận hệ phún xạ magnetron ... khí Ar oxi, tới va chạm với bia phún xạ III .10 không? Ưu điểm phương pháp phún xạ so với bốc bay chân HVTH: PHẠM THỊ THU HƯỜNG THỰC TẬP CHUYÊN ĐỀ QUANG – QUANG PHỔ  Hạt vật liệu bay từ bia có...

PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY VÀ PHÚN XẠ - Bài 1 TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

... dày phương pháp tốc độ bay bốc khó điều khiển Đồng thời, việc chế tạo màng đa lớp khó khăn với phương pháp Phương pháp phún xạ: Hình - Quá trình phún xạ Cơ chế phương pháp phún xạ: Phún xạ không ...  Ít tốn nguyên liệu phún xạ ta điều chỉnh dòng phún xạ Bài 2: TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG I LÝ THUYẾT: Định nghĩa:  Bốc bay chân không phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý ... độ dày màng mỏng phún xạ ( nêu rõ ảnh hưởng nào? ) Trả lời: - Độ dày màng mỏng phún xạ liện quan đến hiệu suất trình phún xạ - Hiệu suất trình phún xạ = NA/Ni Với: NA tổng nguyên tử phún xạ Ni...

15
2,361
2

Chế tạo màng ZnO tạp chất (In,N) bán bẫn loại p bằng PP phún xạ magnetron DC, kh.sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán dẫn loại p

... ti p tục thực chế tạo màng ZnO: (In,N) bán bẫn loại p phương ph p phún xạ magnetron DC Khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng bán ... 3: PHƯƠNG PH P PHÚN XẠ MAGNETRON DC Có nhiều phương ph p tạo màng mỏng đế rắn, phương ph p có ưu điểm nhược điểm riêng Tuy nhiên, chia chúng làm hai nhóm phương ph p là: Các phương ph p tạo màng ... ….) phương ph p tạo màng vật lý (bay hơi, phún xạ xung laser ….) Trong nhóm phương ph p tạo màng vật lý phương ph p phún xạ magnetron DC RF hai phương ph p nhà khoa học sử dụng phổ biến phòng...

106
1,690
1

Nghiên cứu chế tạo màng ZnO tạp chất Sn trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC và khảo sát các yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện, tính chất quang của màng

... tính chất quang học màng tốt Trong khóa luận này, thực chế tạo màng ZnO: Sn đế thủy tinh phương pháp phún xạ magnetron DC Qua khảo sát yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc, tính chất điện tính chất quang ... 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO Để thuận tiện việc so sánh kết quả, chế tạo hai loại bia gốm ZnO không pha tạp ZnO pha tạp Sn ... Hùng CHẾ TẠO MÀNG ZnO PHA TẠP Sn BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC .42 3.1 Chế tạo bia gốm ZnO SZO 42 3.2 Hệ tạo màng trình phún xạ .48 3.3 Các bước chuẩn bị trước phún...

72
1,563
0

Báo cáo nghiên cứu khoa học: " SỰ ẢNH HƯỞNG DÒNG PHÚN XẠ VÀ SỰ Ủ NHIỆT LÊN TÍNH CHẤT QUANG XÚC TÁC MÀNG TiO2 CHẾ TẠO BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC KHÔNG CÂN BẰNG" doc

... diện tích mặt lớn Màng tạo dòng phún xạ mạnh có tính quang xúc tác cao mà xử lý ủ nhiệt Giải pháp tăng dòng phún xạ kinh tế hiệu quả, ứng dụng công nghệ phủ màng quang xúc tác Trang 48 Bản quyền ... việc tăng dòng phún xạ tính quang xúc tác màng TiO2 mà không cần xử lí nhiệt nhằm tối ưu hóa công nghệ sản xuất vật liệu 1.2.Cơ sở Phún xạ magnetron sử dụng rộng rãi, nhiệt độ tạo màng thấp phù ... Vol 11, No.10 - 2008 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 12 Hình 11 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 14 Hình 13 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 15 Hình 16 Sau ủ nhiệt Trước ủ nhiệt Hình 17 Trang 46 Hình...

NGHIÊN CỨU VÀ CHẾ TẠO MÀNG DẪN ĐIỆN TRONG SUỐT ZnO TẠP CHẤT (In, N) BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC

... VẬT LIỆU ZnO VẬT LIỆU ZnO PHA TẠP LOẠI P CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In, N) KẾT LUẬN Ứng dụng vật liệu bán dẫn ZnO p-n LED Trong suốt OLED Màng mỏng dẫn điện suốt Cảm biến khí Màng bán dẫn pha tạp loại ... NHIỆT ĐỘ ĐẾ Tính chất điện màng ZnO: (In, N): 1.8.102 Tạp In %wt Ảnh hưởng tỷ lệ tạp In lên tính chất điện màng ZnO: (In, N) ẢNH HƯỞNG NỒNG ĐỘ TẠP In Tính chất quang màng ZnO: (In, N) Sự dịch chuyển ... CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Chu trình nhiệt độ trình dung kết CHƯƠNG 3: CHẾ TẠO MÀNG ZnO: (In ,N) 3.1 Quy trình chế tạo bia gốm ZnO: In Bia gốm trước phún xạ Bia...

52
1,363
0

Quang phổ Laser - Màng mỏng ZnO pha tạp nguyên tố đất hiếm chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

... thấp, dẫn điện tốt Phương pháp chế tạo - Phún xạ magnetron - Lắng đọng pha hoá học hữu kim loại (MOCVD) - Lắng đọng laser xung (PLD) Các ứng dụng Màng mỏng ZnO pha tạp Al In sử dụng điện cực ... thiệu màng ZnO pha tạp Nguyên tố pha tạp - Nhóm III: B, Al, Ga hay In - Nhóm IV: Si, Ge, Ti, Zr hay Hf - Halogen: F Tính chất - Trong suốt, độ truyền qua cao - Điện trở suất thấp, dẫn điện tốt Phương ... phát quang (EL) diod phát quang hữu Màng ZnO pha tạp Al, Ga hay B với bề mặt thô ráp dùng làm điện cực suốt cho pin mặt trời α-Si CuInSe2 Người ta cho màng mỏng ZnO pha tạp Al Ga tốt cho màng...

Quang phổ Laser - Dùng phổ Raman và phổ phát quang nghiên cứu ảnh hưởng của tỉ lệ khí oxy và sự ủ nhiệt đối với màng TiO2 chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron phản ứng

... Quang phổ Laser MỤC ĐÍCH: Nghiên cứu ảnh hưởng tỉ lệ dòng oxy đưa vào hệ phún xạ việc chế tạo màng Nghiên cứu ảnh hưởng nhiệt độ ủ trình hình thành cấu trúc màng Quang phổ Laser GiỚI THIỆU: Chế ... tạo màng TiOx phương pháp phún xạ magneton trực tiếp nhiệt độ phòng với tỉ lệ dòng oxy đưa vào khoảng 3-1 5% FO FO % = × 100% ( FO2 + FAr ) Sau đem ủ nhiệt 35 0-7 50oC Dùng phổ nhiễu xạ tia X, quang ... quang phát quang phổ Raman để nghiên cứu tính chất màng Quang phổ Laser THÍ NGHIỆM: Dùng đế p-Si(100), làm H2SO4 H2O Target Ti tinh khiết 99.99%, đường kính 2in áp vào nguồn DC 100W Đế áp điện -1 50V...

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của nhiệt độ đế lên cấu trúc và tính chất điện của màng dẫn điện trong suốt SnO2:Sb được chế tạo bằng phương pháp phún xạ Magnetron phản ứng potx

... sát giản đồ XRD để xét ảnh hưởng nhiệt độ đế lắng đọng màng lên cấu trúc màng Trên hình giản đồ XRD mẫu bột SnO2 mẫu màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ đế khác với thơng số tạo màng cho bảng Kết phù ... 4.KẾT LUẬN Cơng trình chế tạo thành cơng màng dẫn điện suốt SnO2:Sb phương pháp phún xạ magnetron phản ứng kết hợp với q trình cấp nhiệt cho đế Màng có trạng thái kết tinh tốt Độ truyền qua cực đại ... qua màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ khác (1) Trang 17 Science & Technology Development, Vol 12, No.17 - 2009 Bảng Các thơng số quang học màng SnO2:Sb chế tạo nhiệt độ khác Nhiệt độ đế (0C) Độ dày...

Báo cáo khoa học: Ảnh hưởng của sự pha tạp Ga lên tính chất điện của màng ZnO tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron docx

... khảo ảnh hưởng nhiệt độ đế nhiệt độ ủ màng lên tính chất điện phụ thuộc nhiều vào phương pháp tạo màng chế dẫn điện màng Chúng tơi tạo màng ZnO -Ga có điều kiện tạo màng khác nhiệt độ ủ màng là: ... KẾT LUẬN Màng ZnO -Ga tạo phương pháp phún xạ magnetron có điện trở suất khoảng 4-5 x 10-4 Ωcm , độ truyền qua trung bình vùng khả kiến T ~ 85% Màng cho tính chất quang điện tốt phún xạ nhiệt ... cao) Tính chất điện cấu trúc màng gần khơng phụ thuộc vào nhiệt độ xử lý Cơ chế dẫn điện màng chủ yếu hạt tải tự sinh pha tạp donor hình thành lỗ trống oxy Màng ZnO -Ga dẫn điện chủ yếu tạp chất donor,...

BÁO CÁO THỰC TẬP-CHUYÊN ĐỀ LUYỆN THI ĐẠI HỌC CẤU TẠO NGUYÊN TỬ

... mayradapro@gmail.com Trang - - TÀI LIỆU LUYỆN THI ĐẠI HỌC – GS MAYRADA GROUPS Thể tích nguyên tử hạt nhân nguyên tử : V= r3 (đvtt) Trong : -  = 3,14 r bán kính nguyêntử hạt nhân nguyên tử Chú ý : 1nm  109 ... khối lượng Ngun tử khối C 12,011 đvC Tìm khối lượng ngun tử O theo đơn vị gam ? Hƣớng Dẫn Giải Cách : Tính ngun tử khối Oxi 2 .Nguyên tử khối O 72,7  Nguyên tử khối C 27,3 Nguyên tử khối C 72,7 ... + Các ngun tử dùng chung e ngồi tạo hợp chất cấu hình e ngun tử giống khí https://www.facebook.com/HoiNhungNguoiHamHoc Email : mayradapro@gmail.com Trang - - TÀI LIỆU LUYỆN THI ĐẠI HỌC – GS MAYRADA...

BÀI THỰC TẬP 1, lớp cao hoc vật lý điện tử K20 - TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP BỐC BAY CHÂN KHÔNG

... số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD) Một số phương pháp tạo màng lắng đọng vật lý (PVD): - Phương pháp bốc bay • Bay trực tiếp chân không: cung cấp lượng cho vật liệu để chuyển vật ... bốc bay chùm điện tử nhược điểm lớn nguồn bốc bay nhiệt điện trở ? Hãy giải thích rõ điều Ưu điểm lớn nguồn bốc bay chùm điện tử nhược điểm lớn nguồn bốc bay nhiệt điện trở là: nguồn bốc bay ... nhôm bốc bay Bài thực tập TẠO MÀNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON DC I Tóm tắt lý thuyết Định nghĩa tượng phún xạ Phún xạ tượng nguyên tử bề mặt vật liệu bị bị bắn phá ion có lượng cao Sơ...

chế tạo vật liệu tổ hợp pzt-nife-cofe bằng phương pháp phún xạ các màng mỏng sắt từ lên đế áp điện pzt phân cực quang và phân cực dọc

... phương pháp chế tạo vật liệu PZT Vật liệu PZT chế tạo nhiều phương pháp khác bao gồm phương pháp hoá học phương pháp vật lý Phần tiếp theo, luận văn trình bày số phương pháp chế tạo vật liệu PZT ... cứu vật liệu sắt điện -áp điện cấu trúc perovskite, có PZT vật liệu tổ hợp đa pha Trong luận văn này, vật liệu tổ hợp PZT/ NiFe/CoFe cấu trúc micro-nano chế tạo trực tiếp PZT phương pháp phún xạ, ... thông tin Một số loại vật liệu tổ hợp đa pha phương pháp chế tạo tổng kết bảng 1.2 14 Bảng 1.2 Một số vật liệu multiferroics tổ hợp đa pha Vật liệu tổ hợp Phương pháp chế tạo BaTiO3-CoFe2O4 -...

Tóm tắt báo cáo nghiên cứu khoa học " CÁC TÍNH CHẤT QUANG ĐIỆN CỦA MÀNG MỎNG ĐA LỚP TẠO BỞI PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ MAGNETRON " pdf

... [4] Chế tạo màng mỏng tungsten oxyt phương pháp phún xạ magnetron RF.Hội nghị Khoa học Trường ĐHKHTN tháng 10-2004 [5] Pin mặt trời màng mỏng (ZnO:Al)/ p-Si (111) tạo phương pháp phún xạ magnetron ... độ cao rào Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần [4] Tạo màng dẫn điện suốt ZnO: Al đế PET phương pháp phún xạ magnetron DC Báo cáo hội nghị vật lý toàn quốc lần 5.3 Các báo cáo khoa học hội nghị, ... nhiệm vụ đặt − Nghiên cứu chế tạo màng đa lớp khảo sát tính chất quang điện, ứng dụng chế tạo tế bào pin mặt trời chế tạo màng điện sắc − Đề nghị hổ trợ kinh phí để tiếp tục nghiên cứu ứng dụng...

Xem thêm