... tia"p di~m d(lp h6 quang. 112 r-\ L ~ r-r-I 1 L C.v: V4A idA u " + I e-,vi I/' r x I :, ~ a , !lofT , K . - - Hinh 8 - 9. So dO to) bi~n t!n thyristor. ... nay di! ~o khI ion -hoa trong m(>t s6 cOng nghii;!p v~ dung mlH h6 quang trong la hO quang plasma -1 804 r-, , , , I I 4, -1 E-" ;-& apos; +-J I I , MgCh , ,J,iitKhIM ... va den d\1,tru DB. B(l lQc Lll - C12 dung san bAng dbng chlnh luu d~p m?ch. Khoa chuyi!n ddi K co tae d\lng nhu sO d6 a hlnh 8-1 2. Cac role dong c\1'c dl;ti...