... cao nhờ công nghệ vi cơ (micromachining technology). Do tính đặc thù cũng nh khả năng đặc biệt của công nghệ vi cơ, công nghệ này đã đợc ứng dụng để chế tạo các cấu trúc và các bộ cảm biến ... presented. 1. Mở đầu Các cấu trúc đo tín hiệu cơ tiêu biểu thờng có dạng các màng hoặc các thanh dầm đợc chế tác 3 chiều từ các vật liệu khối. Chỉ có thể chế tạo các cấu trúc này với độ ... dụng, thì độ nhạy cảm biến bằng hệ số góc của đờng đặc trng trong vùng làm việc tuyến tính. Từ các đáp tuyến của cảm biến theo lực tác dụng, độ nhạy của các cảm biến với các diện tích màng khác...