... Đề tài thực hiện với mục đích chế tạo màng AZO, pin mặt trời có cấu trúc p-n trên cơ sở đế nền p-Si và khảo sát các thông số chế tạo màng AZO tốt nhất để ứng dụng làm lớp chống phản xạ và truyền ... với các thông số chế tạo như sau: Về màng AZO: Màng AZO được chế tạo với các thông số khảo sát: chế độ ủ nhiệt, nồng độ pha tạp, dung môi, chất tạo phức, tỉ lệ môi của chất tạo phức và đế ... trưng của màng AZO, nguyên lí, cấu trúc của pin mặt trời, vật liệu Si và pha tạp Si . Từ đó, so sánh và đưa ra phương pháp chế tạo thích hợp (chế tạo màng AZO bằng phương pháp Sol-gel, tạo lớp...