Chương trình điều khiển giao thoa kếđược giải thích như sau:
Sau khi tất cảcác motor được kết nối đúng, bật máy tính và bắt đầu chương trình
điều khiển “INTERFEROMETER _ 248.LLB”. Thường trình khởi tạo motor sẽ được thực hiện đầu tiên. Có thể không dễ dàng để ngắt thường trình này. Tất cả các motor
đang di chuyển tới vị trí tham chiểu của chúng. Sau khi sự khởi tạo thành công, mặt nạ đầu vào sẽđược mở. Đưa vào các tham số quan trọng để xác định cấu hình giao thoa kế.
* Các thông số quan trọng:
- Phase Mask period - Chu kỳ Phase Mask được sử dụng (giá trị mặc định 1060nm hoặc 560nm).
- Interferometer mirror distance - Khoảng cách giữa các gương giao thoa (giá trị
mặc định 62mm).
- Effective fiber refractive index - Chỉ số khúc xạ hiệu dụng của sợi (giá trị mặc
định 1,454)
- Laser wavelenght - Bước sóng laser (giá trị mặc định 248nm)
- Wavelenght at the effective fiber refractive index - Bước sóng tương ứng với chỉ số khúc xạ hiệu dụng của sợi (giá trị mặc định 1543nm)
3.2.2. Những thành phần khác
- Hệ khí: hệ khí tạo laser gồm khí Heli, Neon, Kripton và Flo; Trong đó hai khí Heli và Neon là khí đệm còn hai khí Kripton và Flo là khí chính. Khí Flo rất độc nên
được giữ trong hộp kín để đảm bảo an toàn. Trước khi nạp khí cần xả hết khí trong buồng laser bằng cách dùng bơm chân không, khi thay khí cần mở van từ từvà đóng
hết các van lại khi nạp đủđể tránh bị rò rỉ
Có hai cách nạp khí:
+ Chỉ dùng Heli làm khí đệm: tổng áp suất trong buồng khi nạp đủ khí là 3000mbar
+ Dùng cảHeli và Neon làm khí đệm: tổng áp suất khi đó là 4200mbar
- Nguồn laser Excimer KrF:
Có công suất trung bình lớn nhất là 100 W
Năng lượng lớn hơn 200mJ
Độ rộng xung trong khoảng 5 – 90ns
Bước sóng phát ra 248nm