a.Nguyên lý
Thiết bị bao gồm súng điện tử, với nguồn là sợi đốt volfram hoạt động trong chế độ thế có gia tốc điều chỉnh theo bước từ 0,2 đến 40 kV và cường độ dòng của đầu dò điện tử từ 10-12
- 10-5A. Kích thước của đầu dò điện tử có thể nhỏ tới 1nm- 1µm, và cường độ 1pA-1µA trên điểm phân tích. Khi mẫu vật bị bắn phá bởi chùm tia điện tử hội tụ có năng lượng cao để phân tích thành phần hoá học của một vùng có thể tích nhỏ cỡ micromet. Một trong các tín hiệu thu được là các photon tia X đặc trưng của các nguyên tố hoá học có mặt trong mẫu phát ra từ phần thấp của vùng thể tích bị kích hoạt và được thu, xử lý, ghi lại dưới dạng phổ và hình ảnh tia X.
31
Các tín hiệu thứ sinh cơ bản khác như điện tử thứ sinh (SE), điện tử phản xạ ngược (BE) được thu và xử lý bằng phổ kế tán xạ năng lượng (EDS) và phổ kế tán xạ bước sóng (WDS) cho ra các loại hình ảnh cấu trúc, địa hình và thành phần của khoáng vật được phân tích.
b. Ứng dụng
Bằng cách đo cường độ của các vạch phổ đặc trưng của các nguyên tố có mặt trong mẫu so sánh với cường độ của các nguyên tố trong mẫu chuẩn đã biết chính xác thành phần. Từ đó có thể xác định nồng độ tuyệt đối của các nguyên tố tương ứng tại điểm phân tích. Phương pháp được áp dụng để phân tích chính xác thành phần hóa học của các khoáng vật, trên cơ sở hàm lượng các các nguyên tố có mặt trong mỗi loại khoáng vật dưới dạng % trọng lượng các oxit (ví dụ: SiO2, Al2O3