Chất thải sau khi vận chuyển về Nhà máy xử lý, chất thải được nạp liệu vào lò đốt bằng bộ phận nạp liệu thuỷ lực với trọng lượng là 100kg/mẽ. Tại buồng đốt sơ cấp nhiên liệu để đốt là dầu DO sẽ được phun sương và đốt cháy hâm nóng buồng đốt đến nhiệt độ 4500C thì tắt béc đốt các thành phần hữu cơ trơ được nạp vào và bị nhiệt phân phân huỷ thành hỗn hợp khí gồm: CO, H2, CxHy, hơi nước và các khí acid như HCl, SOx,NOx… trong đó các thành phần “khí gas” là chủ yếu bao gồm: CO, H2, CH4 đây là hỗn hợp khí cháy và dùng để cấp cho buồng đốt thứ cấp. Còn các sản phẩm cháy khác là những chất gây ô nhiễm môi trường và giảm chất lượng “khí gas”.
Để tạo được lượng “khí gas”có chất lượng tốt nhất (giàu hàm lượng mêtan nhất) ta phải luôn duy trì nhiệt độ tại buồng nhiệt phân bằng cách điều chỉnh chế độ cấp thích hợp và luôn duy trì ở mức 1 – 3% V buồng nhiệt phân. Toàn bộ lượng ‘khí gas’ hình thành từ buồng đốt sơ cấp được cấp cho buồng thứ cấp và được đốt cháy hoàn toàn trong điều kiện nhiệt độ cao và dư oxy. Nhiệt lượng toả ra từ quá trình đốt cháy ‘khí gas’ là nguồn bổ sung năng lượng đáng kể cho buồng thứ cấp do vậy giảm được tiêu hao nhiên liệu và giảm thời gian kết thúc xử lý.
Sau đó dòng khí thải được dẫn lên buồng đốt thứ cấp có chức năng đốt các sản phẩm từ quá trình nhiệt phân chất thải, toàn bộ lượng “khí gas” được cấp từ buồng đốt sơ cấp bị đốt cháy hoàn toàn. Về bản chất thì buồng đốt thứ cấp có chức năng như một hệ thống xử lý khí thải bằng phương pháp oxy hoá trong môi trường nhiệt độ cao và dư oxy. Để xử lý triệt để các chất khí gây ô nhiễm môi trường thì yêu cầu buồng đốt thứ cấp phải luôn cao hơn 10000C. Tương tự như buồng sơ cấp, trong buồng đốt thứ cấp nhiên liệu dầu DO cũng được cung cấp thêm vào và luôn cấp khí vào buồng đốt bảo đảm lượng oxy dư là 5- 10% nhằm duy trì hiệu quả cháy tốt nhất trong lò đốt.
Khí sinh ra từ lò đốt chất thải sẽ được dẫn qua thiết bị trao đổi nhiệt nhằm giảm nhiệt độ xuống còn 300oC, để tránh sự hình thành các độ chất: dioxin, furan…. Tại đây thiết bị giải nhiệt là thiết bị ống chùm với tác nhân giải nhiệt là không khí và nước. Ở đây, một phần nhiệt lượng sẽ được làm nóng không khí và dẫn qua hệ thống lò sấy để sấy khô chất thải photoresist. Dòng khí sau khi hạ nhiệt độ sẽ được dẫn qua hệ thống xử lý khí thải với thiết bị xử lý là tháp hấp thụ có các lớp đệm vòng sứ để tăng diện tích và thời gian tiếp xúc giữa 02 pha khí và lỏng (dung dịch hấp thụ là NaOH) các thành phần khí acid sẽ được loại bỏ ra khỏi khí thải trước khi xả thải ra môi trường qua ống khói cao 20 m.
Các thành phần kết dính bụi và kim loại nặng trong khí thải được giữ lại trong tháp hấp thụ và bể lắng và được tách ra theo định kỳ 20 ngày/lần. Dung dịch hấp thụ được tuần hoàn để xử lý do hấp thụ các khí acid nên pH của dung dịch giảm xuống và ta phải luôn bổ sung hoá chất vào dung dịch hấp thụ để đảm bảo pH cho quá trình xử lý khí thải thông qua bộ điều khiển pH metter.
Tro sinh ra được lấy theo định kỳ sau mỗi cuối chu kỳ đốt và được thực hiện bằng tay: khi lò đã để nguội ta cào tro và cho vào thùng chứa sau đó được phun ẩm bằng nước ngay để không sinh bụi. Tuỳ thuộc vào thành phần chất thải đem đi xử lý mà tro sinh ra phải được xử lý ổn định hóa rắn trước khi chôn lấp (tro có hàm lượng kim loại nặng vượt quá tiêu chuẩn quy định) hoặc chôn lấp trực tiếp tại bãi chôn lấp.
Tại Nhà Máy Xử Lý Chất Thải - VINAUSEN cặn tro còn lại từ quá trình đốt chất thải nhựa cản quang photoresist được ổn định hóa rắn, lưu giữ cẩn thận trong nhà kho sau đó sẽ mang đi chôn lấp tại các bãi chôn lấp. Dung dịch thải từ hệ thống xử lý khí, khi thay mới dung dịch theo định kỳ bảo trì bảo dưỡng được bơm vào hệ thống xử lý nước thải của Nhà máy tiến hành xử lý bằng các phương pháp hoá lý trước khi xả thải vào hệ thống thoát nước chung của Khu Công Nghiệp Lê Minh Xuân.