V là thế ion hóa
IV.3.1 Cơ chế va chạ m:
Phún xạ do va chạm được hiểu là do sự truyền mô men động lương trực tiếp từ sự va chạm giữa các “hạt”. Sự tương tác giữa tia laser tới và bề mặt không thể xảy ra với xung laser . Chúng ta xem xét sự truyền năng lượng cực đại của va chạm đôi giữa 1 hạt có năng lượng là E1
có khối lượng nghỉ là M1 và nguyên tử với khối lượng nghỉ là M2 nếu tính đến hiệu ứng tương đối và khối lượng nguyên tử là Mi thì ta có biểu thức sau
Loại hạt Năng lượng hạt tới (eV)
Động năng cực đại truyền cho nguyên tử (eV)
photon 500000 8 . 10-9
Electron 500000 8 . 10-4
He+ 500000 4,5
Bảng tính toán lý thuyết năng lượng trao đổi cực đại đối với các loại va chạm giữa các loại hạt
4
Giá trị của E2 cho photon , electron và ion He+ va chạm với nguyên tử Al được trình bày ở bảng dưới .Ta chú ý rằng photon truyền 1 năng lượng không đáng kể so với năng lượng truyền tải bởi 1 electron gia tốc trong cao thế hay 1 ion
Hiệu ứng va chạm gián tiếp tồn tại với photon . Ta thấy rằng khi mà plasma hình thành thì trong suốt quá trình tương tác với vật chất trong chân không hay trong không khí sau đó thì quá trình va chạm thì các nguyên tử hay ion trong plasma sẽ được gia tốc tới năng lượng 100- 1000eV và bề mặt bia bị bắn phá bởi các ion này .Một minh chứng cho hiệu ứng này là sự hình thành có đỉnh hình chóp trên bề mặt nó được dễ dàng chứng minh là do sự bắn phá của ion .