- Đây là yếu tố quan trọng trong hệ PLD.
III.2.2 Bộ phận giữ và chuyển đổi bia:
Có những sự hạn chế về bia trong hệ PLD. Một hệ phủ màng thành công có thể làm từ dạng hạt, dạng vật liệu nung thiêu kết, vật liệu đúc sẵn, đơn tinh thể,và dạng lá kim loại. Sự khác nhau giữa các loại hình thái vật liệu khác nhau nằm ở bản chất ăn mòn của từng loại và quá trình sinh ra hạt của vật liệu đó. Sự khống chế tốt về mật độ năng lượng cao và chất lượng bia đồng nhất sẽ cho ra màng có chất lượng tốt nhất. Tuy nhiên dù chất lượng bia tốt nhất cũng phải được làm lại bề mặt (làm cho phẳng lại) cách khoảng thời gian giữa những lần phủ màng nhằm giữ tính tối ưu nhất. Vì lí do này mà bia cần phải tháo lắp và thay thế dễ dàng trong buồng, và việc lắp vào tháo ra càng dễ dàng càng tốt.
Về khía cạnh ăn mòn, sử dụng vật liệu bia sao cho đồng đều thì người ta hay sử dụng phương pháp quay bia trong suốt quá trình phủ màng. Dùng phương pháp này thì hình dạng 1 vùng có dạng đĩa tròn trên bia sẽ bị ăn mòn(bị sử dụng để phủ), Bằng việc đặt thêm 1 khẩu độ vuông góc với bán kính bia thì ta sẽ thu được 1 hiệu suất tối đa để ăn mòn bia. Một phương pháp khác là cho ăn mòn mặt đáy của bia có hình trụ. Trường hợp này bia sẽ được quay quanh trục hình trụ. PP này ít phổ biến hơn khi phủ màng đa lớp.
4
4
(Susbtrate heater) Dụng cụ chứa đế này được quảng cáo bởi công ty Excel Instruments India và có khả năng chịu được nhiệt độ 800 độ C và môi trường làm việc trong chân không 10^-7 torr. Khi sử dụng bia hình đĩa, bia được đưa vào giá hay khung nằm trên trục quay của dụng cụ chứa đế. Khi dùng bia, bia sẽ bị gia nhiệt do 2 đk: năng lượng của laser và hệ thống làm nóng đế tác động. Để giải quyết vấn đề này, người ta đưa ra 2 giải pháp:Bonding: dùng epoxy hay 1 hỗn hợp nhão chứa Ag, sẽ tạo ra 1 mối tương tác nhiệt tốt giữa bia và khung giữ bia, làm giảm vấn đề gia nhiệt này. Hoặc Clamping Mechanism: sử dụng 1 hệ thống giải nhiệt để giải nhiệt cho bia.
tránh tình trạng chảy bia.
Một trong những ưu điểm lớn nhất của PLD trong kĩ thuật tạo màng là dễ dàng trong việc tạo cấu trúc đa lớp tạo đúng vị trí mún phủ. Hệ thống giữ bia có thể chứa nhiều bia đã được ứng dụng trong pp này.