Phổ tán sắc năng l-ợng tia X, hay phổ tán sắc năng l-ợng là kỹ thuật phân tích thành phần hóa học của vật rắn dựa vào việc ghi lại phổ tia X phát ra từ vật rắn do t-ơng tác với các bức xạ ( mà chủ yếu là chùm điện tử có năng l-ợng cao trong các kính hiển vi điện tử)
Nguyên lý làm việc của EDX chủ yếu đ-ợc thực hiện trong các kính hiển vi điện tử, trong đó, ảnh vi cấu trúc vật rắn đ-ợc ghi lại thông qua việc sử dụng chùm điện tử có năng l-ợng cao t-ơng tác với vật rắn. Khi chùm điện tử có năng l-ợng lớn hơn đ-ợc chiếu vào vật rắn, nó sẽ đâm xuyên sâu vào nguyên tử vật rắn và t-ơng tác với các lớp điện tử bên trong của nguyên tử. T-ơng tác này dẫn đến việc tạo ra các tia X có b-ớc sóng đặc tr-ng tỉ lệ với nguyên tử số của nguyên tử theo định luật Mosley.
Có nghĩa là, tần số tia X phát ra là đặc tr-ng với nguyên tử của mỗi chất có mặt trong vật rắn. Việc ghi nhận phổ tia X phát ra từ vật rắn sẽ cho thông tin về các nguyên tố hóa học có mặt trong mẫu đồng thời cho các thông tin về tỉ phần các nguyên tố này.
Có nhiều thiết bị phân tích EDX nh-ng chủ yếu EDX đ-ợc phát triển trong các kính hiển vi điện tử, ở đó các phép phân tích đ-ợc thực hiện nhờ các chùm điện tử có năng l-ợng cao và đ-ợc thu hẹp nhờ hệ các thấu kính điện từ. Phổ tia X phát ra sẽ có tần số (năng l-ợng photon tia X) trải trong một vùng rộng và đ-ợc phân tích nhờ phổ kế tán sắc năng l-ợng do đó ghi nhận thông tin về thành phần, khối l-ợng các nguyên tố có mặt trong mẫu.
Ch-ơng 2: THựC NGHIệM