III .RE SULTS AND DISCUSS ION
^Mđdu 2 Chwomg I Tdng quan ly thiiyei
LI Quang trd 3
1.1.1 Sa luge v6 hien tuong quang din 3
1.1.2 Quang trd va tinh chat ciia no : 4
1.1.2.1 Khainiem: 4 1.1.2.2 Tinh châ: 4 1.1.3 Vat lieu lam qung tra : 6
1.1.4 Cam bien quang din: 7 1.1.4.1 Khainien: 7 1.1.4.2 Cam bien quang iirngoai: 7
1.2 Vdt lieu ZnO 9
1.2.1 Cáu true mang luc giac wurtzite 10 1.2.2 cáu tnic viing nang luang ciia ZnO 10
1.3 Mgt sô tinh chat quang cua vat lieu bdn đn 11
1.3.1 Tong quan v6 cac ca chéháp thu anh sang 11
1.3.1.1 Háp thu ca ban 12 1.3.1.2 Háp thu exciton 16 1.3.1.2.1 Háp thu exciton chuyen mirc thing, dugc phep 17
1.3.1.2.2 Háp thu exciton chuyen miic nghieng dugc phep 18
1.3.1.2.3 Háp thu exciton bi cam 19
1.3.2 Cac qua trinh tai hgp 19 1.3.2.1 Tai hgp vung-vung 20 1.3.2.2 Tai hgp exciton 21
Chuang II Cac phucmg phap thuc nghiem 23 2.1 Che tao mang mong ZnO bang phuang phap phun xg r.f magnetron 23
2.1.1 Gidri thieu 23 2.1.2 Cac ky thuat phun xa CO ban 24
2.1.2.1 Phiin xa phong dien phat sang mot chieu 24 2.1.2.2 Phun xa phong dien phat sang xoay chieu 25
2.1.2.3 Phiin xa magnetron 26 2.1.2.4 Phiin xa r.f magnetron • • 26
2.2 Cdc ky thuat nghien cuu tinh chat quang vd dien ciia mdng mong ZnỌ...27
2.2.1 Phokenhi^uxatiaX 27 2.2.2 Kinh hiénvi dien lU quel (SEM) 28
2.2.3 He do ph6 hap thu va truyen qua 30
2.2.4 He do pho huynh quang 31
Chuang IIỊ Ket qud yd thdo hum 33
3.1 Che tao bia gdm ZnO ^^ 3.2 Che tao mang mong ZnO bang phirong phap phun xa rf. magnetron 34
3.3 Tinh chit cau tnic cua mang ZnO 34 3.4 Tinh chat dien va tinh chat quang 36