4. Các phương pháp chế tạo T1 O2
4.2.3. Phương pháp CVD
Bằng những phương pháp hóa hoặc lý người ta tạo ra vật liệu dưới dạng hơi rồi cho hơi này ngưng đọng trên bề mặt chất rắn để có lớp phủ. Khi ngưng đọng có thế có phản ứng hóa học xảy ra nèn không nhất thiết vật liệu ở lớp phủ phải giống như là vật liệu ở pha hơi.
Để chế tạo bột kim loại tinh khiết, người ta dùng bình kín, hút chân không cao và đốt nóng kim loại để kim loại nóng chảy rồi bốc bay lên hoặc trực tiếp bốc bay lên từ pha rắn (thăng hoa). Hơi kim loại bay lên được ngưng tụ lại trên bề mặt vật rắn đặt gần đấy cũng ở trong bình chân không.
Đê chè tạo bột với khỏi lượng dáng kể người ta dùng lò cao tần để làm nóng chảy và bôc hay liên tục. Hơi được dẫn qua ống có bề mặt được làm lạnh nên ngưng tụ lại, và tạo thành bột kim loại. Sau đỏ dược làm lạnh tiếp đê bột rơi xuông, lọc lây ra ngoài.
Muôn tạo bột oxyt kim loại, thay cho chân không cao người ta cho khí oxy (í áp suât thâp thích hợp thôi qua binh. Cùng với sự ngưng đọng trên bẻ mặt, có các phản ứng hóa học xảy ra tạo được bột với thành phân mong muôn.
Ở phương pháp này, dung dịch muối chứa các thành phần của hợp chất được phun, lắng đọng trên đế nóng và bị phân hủy thành oxit kim loại. Thành phàn của màng thay đổi khi thay đổi thành phần dung dịch phun. Khí nén tạo áp suất thường là khí trơ hoặc không khí. Phương pháp này có thể cho phép tạo màng có diện tích rộng, độ bám đế tốt, khả năng đồng đều cao. M ặt khác, do thiết bị sử dụng đơn giản nên phương pháp này khá kinh tể. Tuy nhiên, phương pháp này có hạn chế là tạp chất trong môi trường có thể ảnh hưởng tới chất lượng của vật liệu. Điển hình của phương pháp này là công nghệ chế tạo màng S n 02 [17].