Cơ sở của phương pháp này là dựa vào sự lắng đọng của các vật liệu trong phản ứng hóa học, thường là sự lắng đọng của các halogenua hoặc các muối hữu cơ của các hợp chất bán dẫn.
Sol là gì? Sol là trạng thái tồn tại của các hạt thể keo rắn bên trong chất lỏng và để cho các hạt rắn tồn tại ở trạng thái ổn định thì kích thước hạt phải đủ nhỏ để lực cần cho phân tán phải lớn hơn trọng lực. Hệ keo là các hạt thấy được mà không thể đi qua màng bán thấm, trên thực tế có kích thước từ 2 mm đến 0,2 m và trong mỗi hạt có khoảng từ 103
đến 109 phân tử.
Gel là gì? Gel là chất rắn lỗ xốp có cấu tạo mạng liên kết 3 chiều bên trong môi trường phân tán chất lỏng và gel được hình thành từ các hạt keo gọi là colloide gel, còn trong trường hợp được tạo thành từ những đơn vị hóa học nhỏ hơn các hạt colloide thì gọi là gel cao phân tử. Hơn nữa, vì có tồn tài chất lỏng bên trong cấu tạo mạng rắn nên hai tướng ở trong trạng thái cân bằng nhiệt động và lúc này bên trong chất lỏng không có được tính lưu động của mình. Đại bộ phận bên trong gel là nước nên trong trường hợp tướng dung dịch nước chiếm nhiều phần nhất thì gọi là hydgel hay aquagel và trong trường hợp tướng lỏng là alcohol thì gọi là alcohol gel. Khi đã loại phần lớn chất lỏng thì gọi là gel khô và tùy theo phương pháp sấy khô người ta chia thành xerogel và aerogel.
Sơ đồ tổng quát cho quá trình chế tạo vật liệu vô cơ được trình bày trong hình 2.1. Ở đây, các hạt keo (sol) ổn định từ chất dạng hạt đã chọn và thông qua việc gel hóa sol này biến tướng lỏng thành tổ chức mạng ba chiều (gel)[16].