đối với màng WO3 các tắnh chất như tắnh ựiện sắc; tắnh khắ sắc; tắnh cảm biến khắ, tắnh lưu trữ ion và lưu trữ ựiện tắch có cơ chế chủ yếu là cho phép sự khuếch tán vào - ra một cách thuận nghịch của các hạt nguyên tử hoặc các ion thắch hợp vào các kênh rỗng (hình 6.1) của mạng tinh thể perovskit. Các kênh rỗng này do các khối bát diện WO6 tạo thành dọc theo các trục cơ bản của ô mạng. điều này cho thấy rằng khi màng WO3 có cấu trúc tinh thể với các kênh rỗng hướng dọc theo phương vuông góc với bề mặt màng và có mật ựộ diện tắch của các Ộống rỗngỢ càng cao thì hệ số khuếch tán của các hạt ion hoặc nguyên tử (có kắch thước phù hợp) vào trong
các ống hoặc khuếch tán ra khỏi chúng sẽ càng lớn. Kết quả là các tắnh chất của màng WO3 có liên quan ựến cơ chế khuếch tán sẽ thể hiện càng nhạy khi màng ựáp
ứng càng tốt tắnh thuận nghịch ựối với sự khuếch tán theo hai chiều nêu trên. Một ựặc ựiểm khá thú vị ựã ựược nêu ra ở chương 5 là hiện tượng màng WO3
ựược tạo trên lớp tinh thể ITO cho trạng thái kết tinh tốt vượt trội so với trên thủy tinh. Mặc dù ựặc ựiểm thú vị khác từ thực nghiệm trong chương này ựó là tắnh ựịnh Hình 6.1: Sự hình thành các kênh rỗng trong mạng tinh thể Perovskit của WO3 (theo www.webelements.com).
hướng phát triển tinh thể của màng WO3 khi màng phát triển trên lớp ITỌ Hướng
phát triển tinh thể này có phụ thuộc vào ựộ dày của lớp ựiện cực trong suốt ITO trong phạm vi từ 150nm ựến trên 350nm. Những ựặc ựiểm này chỉ có thể phát hiện
ựược từ duy nhất phép phân tắch phổ XRD mà không thể nhận ựược từ bất kỳ
phương pháp phân tắch nào khác.
Trong chương này bằng phép phân tắch phổ XRD cũng như khảo sát cấu trúc
của các vật liệu ITO và WO3, những vấn ựề nêu ra trên cũng ựã gợi mở ra rằng có
sự hợp mạng của mạng tinh thể WO3 trên bề mặt ITO, từ ựó có ựịnh hướng trong việc chế tạo màng với hướng phát triển mạng tinh thể phù hợp.