X la budc sdng ti a su dung di ghi nhieu xa (trong trudng hgp cu the, bírc xa
Q la gdc nhieu xa, trong thuc nghiem gian đ XRD dugc ghi theo gdc 29.
trong manJ^^*^'^*^\^'^* ^^^^ nghiem ciia (3 va 0, kfch thudc trung binh ciia cachat tinh thi
nhiXr^ g ™ng VO2 xac dinh duac trong khoang 85 din 120 nm. Gia tri nay hoan toan
phu hgp vai gia tr, do true tilp tren anh SEM.
3.2. Tfnh chat chuyin mach
S t l ^ x i i ^ ' . ^ o ^'^"^ "^"^ ^° ^*'"*^ ^h^t chuyin pha KLBD thi hien rdt rd tai nhiet dp 63°C, h t h 1 H ? T ""^"^ ^ ^ ^ ^*^^"8 thudng hay VO2 tinh thi khdị Dilu nay cd thi giai
mien la ao nang lupng tu do trong vat lieu nand thdp han (bdi su sdp xip mdt trat tu ciia cac hat nano d|t muc dp cao). Pha cdu tnic bin vung ciia mdt vat rdn tdn tai ung vdi n^ng lugng tir do thap nhat. Qua trinh chuyin pha KLBD xay ra ichi nhiet do ciia mlu tang len aen gia tn tai han nhat dinh. Nang lugng cdn thilt cho qua trinh chuyin pha ty le thuan vdi
« ^ " i ' T ^ ^ "^^ ""^^ ^'""^ ^'"^ ^^^^ ""^ t^^ "^»» ^^ chinh la nang luang tdi thilu dl
dich chuyen cac nguyen tu trong mang tinh thi tu vi tri cua mang dan ta (ung vdi pha ban dan) sang v, tri ciia mang tu giac (ung vdi pha kim loai). Do đ tai NDCP dien trd sudt cua mang VO2 ha dpt ngdt, gia tri dien trd sudt cd thi giam den ba bac. Tfnh chdt nay duac ung dung trong cdng nghe che tao nhiet diln trd thdng minh. Trong chuyin pha BDKL chiing ta cdn nhan thay mdt tfnh chdt dac biet nGa la su thay đi tfnh chdt quang ciia mang
mong. VO2 a nhiet dp phdng hay dudi NDCP cd ciu tnic mang dan ta vdi dp rdng vCing
cam vao khoang 3,2 eV, vi vay mang VO2 trong sudt d vung nhin thdy va hdng ngoai gdn. Tai vung nhiet dp cao han NDCP, VO2 cd cdu tnic tu giac thudc pha kim loaị Do mang mdng cho nen d vung nhin thdy VO2 vin trong sudt, nhung d vung hdng ngoai he sd phan xa tang len - tfnh chat dac trung ciia pha kim loaị Vi vay, dp tniyin qua giam. Tren hinh 3 la phd truyen qua ciia mang VO2 phu thudc nhiet dp. Tai budc sdng 2500 nm, do truyin qua cua mang V02-nhiet dp cao giam xudng dudi 10% (trong khi T ciia VO2-NDP cao din 60%). Gia tri sai khac trong dp truyin qua dat 50%. Tuy nhien, budc sdng ma chiing ta quan tam lai la 1550^ nm, đ la budc sdng phat ra ciia laser sgi quang. Tai budc sdng nay, dp sai khac trong phd truyin qua dat gia tri 35%. Vdi sir khac biet nay, vb2 cd thi sir dung vdi tu each mdt sensor nhiet-quang trong cdng nghe chi tao cam biln nhiet-quang. So do cau tao ciia cam bien nhiet-quang dugc trinh bay tren hinh 4. Nguyen ly boat dpng ciia cam bien nay dugc md ta nhu saụ Truyen tia laser hdng ngoai vao sgi quang ma phia dau cua nd da dugc phii Idp mang mdng VO2. Khi nhiet dp ciia dau sgi quang cdn thdp, tia laser truyen qua ldp mang gan nhu hoan toan, do đ phd phan xa rat thap. Khi nhiet dp tang len den 63 °C (NDCP cua V02-nand), tia laser dugc phan xa ngugc lai vdi phd phan xa cao hon ban. So sanh hai phd phan xa nay, bd phan hien thi ciia may cho chiing ta biet nhiet dp ciia mdi trudng da tang len din nguong cao bdng NDCP ciia dau sensor. Khao sat tren he cam biln nhiet quang thu nghiem, budc đu mdi da cho thay hieu ung nhung chua dn dinh. Nguyen nhan cd thi la do ky thuat gdn sgi quang vao he chuyen mach chua dam bao, cho nen tin hieu phan xa ciia tia laser thu dugc chua chac chan.
IV. KET LUAN
Mang mdng VO2 cdu tnic nand tren thiiy tinh va sgi quang da dugc chi tao bang phuang phap bdc bay trong chan khdng diing chiim tia dien tir va tai ket tinh trong dxy dp xuat thip. Vdi ciu true nand, mang VO2 cd nhiet dp chuyin pha thap ban mang thdng thudng khoang 3°C. Qua trinh chuyin pha ban dan kim loai xay ra trong VO: dan din thay đi dp dan va phd quang hpc: Dien trd sudt ha thdp gin ba bac, dp truyen qua giam, dp phan xa tang tai budc sdng vung hdng ngoai vdi dp khac biet tir 35-50%. Da che thir cam bien