Ngoài các phương pháp thực nghiệm bao gồm chế tạo và đo đạc khảo sát tính chất, đặc trưng của sensor được trình bày ở trên, trong luận văn này, một số các phép đo khác được thực hiện để nghiên cứu tính chất từ, điện và tính chất bề mặt của vật liệu cũng đã được thực hiện bao gồm:
- Đo đường cong từ hóa và độ cảm từ của các băng từ Meglas sử dụng hệ đo từ kế mẫu rung. Phép đo này được thực hiện trên hệ VSM LakeShore 7404 (Lakeshore, USA) đặt tại Phòng Thí nghiệm Công nghệ Micro và Nano, Đại học Công Nghệ - ĐHQGHN với dải từ trường khảo sát nằm trong khoảng 300 Oe. Phép đo được thực hiện theo ba phương song song với chiều dài, chiều rộng của mẫu và vuông góc với mặt phẳng mẫu. Thông qua các kết quả đo này, chúng tôi đánh giá được tính chất từ mềm và xác định trục từ hóa dễ của băng từ để từ đó tối ưu kích thước và cấu hình vật liệu triển khai cho việc chế tạo sensor đo từ trường trái đất.
- Nghiên cứu bề mặt của mẫu, đo chiều dày của băng từ và của lớp kết dính, đánh giá độ đồng nhất lớp kết dính, trong luận văn này, chúng tôi sử dụng máy đo SEM S-3400N của hãng Hitachi tại Phòng thí nghiệm Micro-nano, Trường Đại học Công Nghệ - Đại học Quốc Gia Hà Nội. Phép đo được thực hiện tại nhiệt độ phòng
với độ phân giải của thiết bị: 3.0 nm (tại 30 kV, chân không cao), 10 nm (tại 3 kV, chân không cao), 4.0 nm (tại 30 kV, chân không thấp) và dải làm việc của điện áp nằm trong khoảng từ 0,1 kV đến 30 kV.
Chƣơng 3
KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN