C của biến ỏp quay
3.2.5 Giao thoa kế laze
Giao thoa kế laze là một hệ thống đo có độ chính xác cực kỳ cao dùng trong phép đo khoảng cách và quét ảnh trên các máy công cụ. Ví dụ nh là sự kết hợp giữa quét ảnh, đo khoảng cách và thớc khắc vạch chia, hoặc quét ảnh và đo độ chính xác của ổ lăn các trục và trục răng…Nó cũng đợc sử dụng trong các thớc lỷ lệ lớn và độ chính xác cao của máy công cụ và dùng nh một hệ thống đo vị trí.
Trong giao thoa kế Michelson thì một nguồn sáng phát ra một chùm ánh sáng đơn sắc với chiều dài bớc và tần số nh nhau rồi chúng đợc tách làm hai phần nhờ một gơng nửa trong suốt. Hai chùm sáng này đợc phản xạ toàn bộ qua hai gơng, nơi mà một gơng thì đợc đặt thẳng với điểm chuẩn còn một gơng có
thể dịch chuyển đợc và đợc định vị trên cơ cấu kiểm tra bên dới. Đó là nơi mà các chùm ánh sáng đợc phản sạ lại sẽ giao thoa với một chùm ánh sáng khác. Điều này gây lên sự suy giảm tơng hỗ hoặc sự khuyếch đại theo vị trí các bớc giao thoa tơng ứng trong bộ thu quang điện. Các mạch xung sẽ đợc hình thành từ tính hiệu nhận đợc, số mạch xung thì tỷ lệ với phần tính hiệu nhận đợc. Độ chính xác của phơng pháp giao thoa có thể coi nh phụ thuộc vào độ ổn đinh của dải nguồn sáng, mà nó chỉ bị ảnh hởng bởi tác động của điều kiện xung quanh nh là áp suất khí quyển, nhiệt độ, độ ẩm, hàm lợng CO2 trong không khí và điều kiện làm việc của
máy laze. Có rất nhiều cách để tăng độ ổn định của sóng ánh sáng song phù hợp nhất là phơng pháp dùng ti laze tần số kép.
Sai số của phép đo có thể đạt đợc xấp xỉ 1àm/m nếu các giao thoa kế laze giữ đợc ổn định và có thể ghi đợc với tốc độ là 18m/phút. Độ chính xác có thể đạt đợc qua sự khuyếch đại là 5.10-3àm.