Để vi động cơ hoạt động, đặt điện áp vào hai cực 1 và điện cực của dầm ECA 2 của bộ kích hoạt/chấp hành tĩnh điện dạng răng lƣợc. Lực tĩnh điện tiếp tuyến sinh ra từ các cặp răng lƣợc làm xoay cơ cấu dẫn động sang phải quanh điểm đàn hồi 6. Cơ cấu truyền 4 đƣa
1 1 1 1 2 5 3 4 V Dầm ECA 6
63 chuyển động quay của bộ kích hoạt/chấp hành truyền ra vành răng 5 và quay theo chiều kim đồng hồ. Khi điện áp giảm về không, các dầm cùng với răng lƣợc và cơ cấu truyền động hồi vị về vị trí ban đầu nhờ lực đàn hồi ở cổ dầm 6. Do có các cơ cấu chống đảo 3, vành răng không bị lực ma sát với thanh răng dẫn kéo trở lại (hình 3.11). Vận tốc góc của vành răng phụ thuộc vào tần số của điện áp đặt vào các điện cực. Để đảm bảo vành răng có thể quay đƣợc, chuyển vị trong mỗi bƣớc di chuyển của thanh răng cóc dẫn 7 phải lớn hơn một bƣớc răng cóc.
Hình 3.9 Cơ cấu truyền chuyển động (vị trí ban đầu)
Hình 3.10 Cơ cấu truyền động (vị trí làm việc)
7
8
64 Hình 3.11 thể hiện q trình làm việc của cơ cấu kích hoạt tĩnh điện răng lƣợc và cơ cấu truyền động trong một chu kỳ dẫn động. Các răng lƣợc quay quanh điểm đàn hồi 6 có bề rộng 4m. Bề rộng của mỗi răng lƣợc là 3 m, khe hở δ giữa hai răng lƣợc là 2 m, tổng số răng lƣợc của phần di động là n = 76. Phần di động của bộ kích hoạt/chấp hành là dầm 2 đƣợc cố định một đầu và đầu còn lại đƣợc liên kết với thanh răng dẫn 7 thơng qua lị xo 8 và lò xo 9.