Vi động cơ quay dạng sâu đo: Có khá đa dạng các cấu trúc để thực hiện chuyển động
dạng sâu đo, một trong số đó đƣợc trình bày trong [84]. Stator của vi động cơ gồm sáu chân, mỗi chân là một cấu trúc áp điện bimorph đa lớp kép. Các chân sẽ bị uốn khi đặt các điện áp ngƣợc dấu vào các lớp và sẽ thay đổi chiều dài khi kích hoạt cùng một điện áp. Bằng việc đặt điện áp thích hợp, đĩa rotor phía trên có thể quay với vận tốc lớn nhất 4
30 vịng/phút và tạo ra mơmen xoắn với trị số lớn nhất 1,4 mNm. Nguyên lý hoạt động của vi động cơ đƣợc miêu tả trên hình 1.32.
Sang-Chae Kim, Soo Hyun Kim sử dụng bốn bộ vi kích hoạt/chấp hành áp điện và hai dây đai cuốn quanh rotor để thực hiện chuyển động quay dạng sâu đo [85].
1.7 Vi động cơ kiểu hợp kim nhớ hình SMA
Hiệu ứng SMA ít đƣợc ứng dụng trong các vi động cơ hơn so với các loại hiệu ứng thông dụng khác. Tuy nhiên với những ƣu điểm nhƣ có thể hoạt động với điện áp dẫn thấp, có tỷ lệ giữa cơng suất với kích thƣớc, khối lƣợng của hệ thống vào loại cao nhất, các bộ vi kích hoạt/chấp hành và các vi động cơ sử dụng hợp kim nhớ hình vẫn đƣợc ứng dụng nhiều trong công nghiệp y sinh, hàng không vũ trụ … Một trong những nhƣợc điểm của dẫn động bằng SMA là chuyển vị nhỏ với các dây SMA thẳng. Do đó trong [86] các tác giả sử dụng lò xo SMA để tạo ra chuyển động tịnh tiến. Phƣơng pháp đơn giản nhất đƣợc trình bày nhƣ trên hình 1.33a, với cấu trúc gồm hai lị xo, một SMA và một bằng thép. Lò xo SMA sẽ “nhớ” hình dạng ở nhiệt độ cao, do đó ở trạng thái ban đầu cần sử dụng thêm một lò xo thép ở trạng thái dãn đồng thời tích lũy năng lƣợng. Khi nhiệt độ hạ, lị xo SMA dãn ra cùng với lò xo thép nén trở về hình dạng ban đầu làm con trƣợt chuyển động theo phƣơng kéo, nén của các lị xo. Trên hình 1.33b, c là sơ đồ nguyên lý hoạt động cũng nhƣ ảnh chụp của robot chuyển động theo nguyên lý sâu đo nhờ phần tử SMA và các gai nhỏ bám vào bề mặt.