CHƯƠNG 3 VẬT LIỆU MPAs HẤP THỤ ĐẲNG HƯỚNG HAI CHIỀU
3.4. MPAs hấp thụ hai chiều theo cơ chế chồng chập cộng hưởng
3.4.2. Kết quả mô phỏng sự hấp thụ hai chiều của DP
Cấu trúc DP được thiết kế như trong Hình 3.6a với các DP được đặt trên một đế Silicon có độdày 4 μm, độđiện thẩm 11,9 và độ tổn hao 0,005. Các tham số cấu trúc của DP bao gồm: đường kính đĩa d là 40 μm, độ dày lớp đệm điện môi ts là 1,5 μm, độ dày của đĩa Au tm là 0,1 μm. Trong vùng tần số từ 1,2 THz đến 2,8 THz, lớp đệm điện môi được chọn là SiO2 có độ điện thẩm 3,9 và độ tổn hao 0,002. Kết quả mô phỏng phổ hấp thụ của DP khi giảm dần kích thước ơ cơ sở từ 80 μm đến 45 μm được trình bày trong Hình 3.18. Khi kích thước ơ cơ sở bằng 80 μm, phổ hấp thụ xuất hiện ba đỉnh hấp thụ tại các tần số 1,70 THz, 2,17 THz và 2,57 THz có độ hấp thụ tương ứng là 24%, 46% và 24%. Các kết quả mơ phỏng và phân tích mạch điện LC ở trên đã xác định được: đỉnh hấp thụ ở tần số thấp 1,70 THz là do cộng hưởng điện,
đỉnh hấp thụ tại tần số 2,17 THz là do cộng hưởng từ. Đỉnh hấp thụ tại tần số cao 2,57 THz được nhận định là do cộng hưởng điện bậc cao.
Hình 3.18. Phổ hấp thụ của DP khi thay đổi kích thước ơ cơ sở a.
Khi a giảm dần đến 70 μm, đỉnh hấp thụ do cộng hưởng điện dịch lên tần số cao và biên độ tăng dần, trong khi đó đỉnh hấp thụ do cộng hưởng từ khơng thay đổi vị trí nhưng biên độ giảm một chút. Sự dịch đỉnh hấp thụ của cộng hưởng điện do tần số cộng hưởng điện tăng và sự khơng đổi vị trí đỉnh hấp thụ của cộng hưởng từ đã được phân tích ở trên. Sự thay đổi biên độ của các đỉnh hấp thụ được giải thích do sự thay đổi về phối hợp trở kháng. Khi a bằng 70 μm, đỉnh hấp thụ do cộng hưởng điện dịch đến tần số 1,95 THz với độ hấp thụ đạt 30%, đỉnh hấp thụ do cộng hưởng từ gây ra tại tần số 2,18 THz với độ hấp thụ đạt 36%, đỉnh hấp thụ do cộng hưởng điện bậc cao gây ra đã dịch ra ngoài vùng tần số quan sát. Khi a giảm đến 60 μm, phổ hấp thụ còn một đỉnh hấp thụ tại tần số 2,15 THz với độ hấp thụ đạt 90%. Khi đó cộng hưởng
Tần số (THz) Đ ộ h ấ p th ụ
điện đã trùng lên cộng hưởng từ, cộng hưởng điện bậc cao khi đó đã dịch ra khỏi vùng tần số quan sát. Khi a giảm đến 55 μm và tiếp tục giảm, phổ hấp thụ vẫn duy trì một đỉnh hấp thụ tại tần số 2,15 THz với độ hấp thụđạt 98%.
Để làm rõ hơn nữa bản chất vật lý của sự hấp thụ hiệu suất cao là do sự chồng chập cộng hưởng điện và cộng hưởng từ, các phổ hấp thụ của DP được mô phỏng tính tốn khi triệt tiêu cộng hưởng điện hoặc cộng hưởng từvà được trình bày trong Hình 3.19. Để triệt tiêu cộng hưởng điện tại vị trí hấp thụ của DP, hai đĩa Au phía dưới của hai ơ cơ sở kế tiếp được nối với nhau dọc theo hướng phân cực điện trường (DP1). Để triệt tiêu cộng hưởng từ tại vị trí hấp thụ của DP, hai đĩa Au của cặp đĩa được nối với nhau ở hai đầu mỗi đĩa dọc theo hướng phân cực điện trường (DP2). Các phổ hấp thụ trong Hình 3.19 cho thấy: trong vùng chồng chập cộng hưởng của DP, phổ hấp thụ của DP1 (đường màu đỏ) vẫn còn một đỉnh hấp thụ với hiệu suất 45%, đúng như dự đoán là do cộng hưởng từ gây ra; trong khi đó, trong vùng chồng chập cộng hưởng của DP, phổ hấp thụ của DP2 (đường màu xanh dương) hồn tồn khơng cịn đỉnh hấp thụ, độ hấp thụ giảm về gần bằng không. Kết quả phổ hấp thụ của DP2 được giải thích khi nối hai đĩa Au của DP lại, làm triệt tiêu cộng hưởng từ. Đồng thời khi đó, tần số plasma hiệu dụng của cấu trúc giảm do dòng điện trong trường hợp này chỉ còn phân bố trên một đĩa Au, dẫn đến cộng hưởng điện cũng đã bị dịch đi.
Hình 3.19. Phổ hấp thụ của: cấu trúc DP, cấu trúc DP1 nối hai đầu của cặp đĩa với nhau, cấu trúc DP2 nối hai đĩa ở hai ô cơ sở kế tiếp với nhau, các vị trí nối nằm trên
hướng phân cực điện trường. Tần số (THz) Đ ộ h ấ p th ụ
Để đạt được hiệu suất hấp thụ cao, ngoài các yếu tố cộng hưởng, điều kiện phối hợp trở kháng đóng vai trị qua trọng. Khi trở kháng của vật liệu và trở kháng của môi trường bằng nhau (phối hợp trở kháng hoàn hảo), toàn bộ sóng điện từ đi được vào trong vật liệu, khi đó cộng hưởng mới có thể dẫn đến sự hấp thụ hoàn hảo. Với cấu trúc DP, các kết quả mơ phỏng tính tốn trình bày trong Hình 3.20 cho thấy, trởkháng tỉđối z (tỉ số giữa trởkháng của vật liệu và trởkháng của môi trường xung quanh – chân khơng) phụ thuộc vào kích thước ơ cơ sở a. Tại tần số 2,15 THz, khi a giảm dần từ 90 μm đến 65 μm, trở kháng tỉ đối thay đổi trong khoảng từ 0,45 đến 0,60, khi đó độ hấp thụđạt hiệu suất trong khoảng từ25% đến 65%. Khi a giảm đến 60 μm, trở kháng tỉ đối đạt kết quả gần bằng 1, dẫn đến độ hấp thụ đạt hiệu suất cao.
Hình 3.20. Độ hấp thụvà trở kháng tỉđối z khi a thay đổi.
MPA cấu trúc DP do khơng có mặt phẳng kim loại nên có thể hấp thụ sóng điện từ đến từ hai phía của mặt phẳng mẫu, đồng thời bên ngoài tần số cộng hưởng, sóng điện từ vẫn có thể truyền qua được. Hình 3.21 trình bày kết quảmơ phỏng phổ truyền qua của cấu trúc DP với kích thước ơ cơ sở 60 µm, đường kính DP và đĩa đệm điện mơi là 40 µm trong hai trường hợp: sóng truyền từ mặt trước ra mặt sau của mặt phẳng mẫu (T21) tương ứng với đường màu đen và sóng truyền từ mặt sau ra mặt trước của mặt phẳng mẫu (T12) tương ứng với đường màu đỏ. Có thể thấy phổ truyền qua T21 và T12 tương đối giống nhau, đồng thời bên ngồi tần số cộng hưởng (2,15 THz) sóng điện từ vẫn truyền qua được MPA, đặc biệt ở vùng tần số thấp sóng điện từ truyền qua rất tốt (đạt được 90%). Đây chính là tính năng ưu thế của MPA hấp thụ đẳng hướng hai chiều. Mặc dù đã loại bỏđược mặt phẳng kim loại liên tục đóng vai
Kích thước ơ cơ sở a (μm) Đ ộ h ấ p th ụ A, t ỉ s ố z = Z/Z 0
trò là gương phản xạ sóng điện từ, nhưng trong thiết kế cấu trúc DP nói riêng và các cấu trúc MMs nói chung hoạt động ở vùng tần số THz vẫn cần một mặt phẳng đóng vai trị là tấm nền (trong luận án này sử dụng tấm nền Si –phù hợp với công nghệ chế tạo phổ biến hiện nay) dẫn đến sự hấp thụ của DP nói riêng và của các cấu trúc khác trong luận án nói chung chưa hồn tồn là đẳng hướng hai chiều nếu tính đến cả tấm nền Si. Tuy nhiên xét về bản chất vật lý của cấu trúc DP hoàn toàn đối xứng với cả hai chiều sóng điện từ truyền tới do đó trong tương lai nếu có tấm nền trong suốt hồn tồn ở vùng tần số THz thì các cấu trúc DP nói riêng và các cấu trúc khác nghiên cứu trong luận án nói chung hồn tồn có thểđạt được hấp thụsóng từđiện đẳng hướng hai chiều ở thực nghiệm.
Hình 3.21. Phổ truyền qua mô phỏng của MPA cấu trúc DP trong hai trường hợp
sóng truyền từhai phía của mặt phẳng mẫu.