Chương trình mơ phỏng tính chất cơ của linh kiện QCM sử dụng phần mềm Ansys. Đây là một phần mềm được lập ra từ năm 1970 do nhóm nghiên cứu của Tiến sỹ John Swanson. Trong phần mềm này bài toán cơ trong kỹ thuật được giải quyết bằng phương pháp phần tử hữu hạn lấy chuyển vị làm gốc. Ansys có những tính năng nổi bật như sau [4]:
- Khả năng đồ họa rất mạnh, giúp cho việc mơ hình cấu trúc rất nhanh và độ chính xác caọ Có khả năng truyền dẫn những mơ hình CAD của cấu trúc, thành phần hay hệ thống.
- Giải được nhiều bài tốn như tính tốn chi tiết máy, cấu trúc cơng trình, mơ phỏng dao động của vật liệu và tìm ngưỡng phá hủy của vật liệụ
- Thư viện phần tử lớn, có thêm phần tử tái sinh và phần tử chết (Element Birth and Death), dùng để loại bỏ phần tử hay thêm phần tử hoặc thay đổi độ cứng phần tử trong mơ hình khi tính tốn.
- Đa dạng về trọng tải: tập trung, phân bố nhiệt, vận tốc góc…
- Phần xử lý kết quả cao cấp, cho phép vẽ các đồ thị, tính tốn tối ưu… Với các tính năng trên, bài tốn mơ phỏng tính chất cơ của linh kiện vi cân tinh thể thạch anh kèm theo các kết quả mong muốn như khảo sát các mode dao động trượt của vật liệu khi khơng tải và khi có tải tương ứng các mức điện áp khác nhau, giới hạn áp suất mà vật liệu sẽ bị phá hỏng…thì việc sử dụng phần mềm Ansys là hợp lý và đem lại độ chính xác caọ