Hình 2.9 thể hiện một vài công đoạn quan trọng theo tứ tự của các bước trong
cơng nghệ quang khắc. Các bước chính bao gờm:
- Chuẩn bị dụng cụ, thiết bị, hoá chất, cảm quang, tủ sấy, đế bán dẫn và các dụng cụ thiết bị cần thiết.
- Xử lý đế bán dẫn Si, sấy khô đế bán dẫn.
- Phủ lớp cảm quang lên đế bán dẫn bằng phương pháp quay li tâm. - Sấy màng cảm quang trong lò.
- Lắp đặt các đế bán dẫn vào máy quang khắc, chiếu sáng UV.
- Hiện hình lớp cảm quang đã chiếu sáng trong các dung dịch thích hợp ứng với từng loại cảm quang dương, âm.
- Ủ nhiệt cho lớp cảm quang.
- Ăn mòn lớp vật liệu màng mỏng vừa định hình tạo các cấu hình cửa sổ bằng các dung dịch ăn mòn thích hợp.
- Tẩy lớp cảm quang dư thừa sau quang khắc, không để lại một vết bẩn hữu cơ hay vô cơ nào trên vật liệu làm ảnh hưởng đến các công đoạn sau.
- Xử lý sạch các phiến đã ăn mòn tạo cửa sổ.
2.2.4. Phương pháp chế tạo màng kim loại làm điện cực
Có nhiều phương pháp hỗ trợ việc chế tạo màng kim loại làm điện cực, tuy nhiên trong phạm vi luận văn chỉ đề cập đến hai phương pháp chính: bốc bay chùm tia điện tử (được sử dụng để tạo điện cực nguồn, điện cực máng), phún xạ (tạo điện cực cổng).
Phương pháp phún xạ (sputtering)
Phương pháp phún xạ là một trong những phương pháp lắng đọng quan trọng theo nguyên lí vật lý. Nó có một số dạng sau:
- Phương pháp phún xạ catot
Trong phương pháp này, cấu trúc buồng phún xạ gồm hai điện cực nằm đối diện nhau. Bề mặt catot được phủ bằng vật liệu tạo màng. Cực anot là vật liệu cần được phủ màng lên. Buồng phun chứa khí trơ, thường là argon (Ar) với áp suất thấp.