Việc làm sạch bằng sĩng siêu âm dựa trên hiện tƣợng xâm thực sĩng siêu âm. Khi một sĩng cơ học đƣợc tạo ra trong khơng khí hay trong chất lỏng, dƣới tác dụng của áp suất một lƣợng vật chất đƣợc dồn nén tạo thành các con sĩng, sĩng này đƣợc dịch chuyển về phía cĩ áp suất thấp hơn và đƣợc lan truyền theo các hƣớng khác nhau nhƣng mạnh hơn cả vẫn là hƣớng thẳng trực tiếp của lực đẩy. Chùm sĩng này chứa vơ số chùm sĩng cĩ tần số cao hơn tạo nên vì vậy xuất hiện trong búp sĩng vơ vàn các búp sĩng nhỏ thƣờng đƣợc gọi là bong bĩng. Kích thƣớc những bong bĩng này phát triển khá đa dạng, thơng thƣờng phụ thuộc vào tần số của sĩng siêu âm. Sĩng siêu âm càng cao kích thƣớc sĩng bong bĩng càng nhỏ.
Những bong bĩng này di chuyển kế tiếp nhau trong mơi trƣờng chất lỏng cho đến khi đập vào bề mặt vật cản trên đƣờng truyền sĩng. Dƣới tác dụng lực nén của sĩng các bong bĩng vỡ tung tạo ra các vụ nổ, bắn các hạt chất lỏng trực tiếp vào bề mặt vật. Những vụ bắn phá này chia cắt các màn chất bẩn, bụi cặn phủ trên bề mặt và kéo chúng ra khỏi vật khi cĩ áp suất âm xuất hiện trong lịng chất lỏng gần sát bề mặt vật.
Để cơng nghệ rửa siêu âm cĩ hiệu suất cao chúng ta phải áp dụng các dung mơi tẩy rửa phù hợp cho từng loại chất bẩn bảo đảm chất bị chia tách dễ hịa tan trong dung mơi và tách dễ dàng ra khỏi bề mặt vật cần rửa. Trong quá trình rửa siêu âm lớp dung mơi tẩy rửa gần với bề mặt vật dần dần bị bão hịa do mật độ chất bẩn tách ra khỏi vật tăng. Nhƣ vậy theo thời gian các dung mơi tẩy rửa lớp gần với bề mặt vật mất khả năng kích hoạt. Để tăng hiệu suất tẩy rửa ta cĩ thể chao lắc vật hoặc thay đổi cƣờng độ sĩng siêu âm theo một tần số thấp hơn nhiều so với tần số làm việc thực tế của sĩng siêu âm. Đối với bề mặt vật cần rửa cĩ nhiều hốc, lỗ sâu trong vật hoặc cĩ hình dáng ngoằn ngèo
18
chúng ta cần đặt vật trong bể rửa ở tƣ thế sao cho chất bẩn tách ra dễ dàng di chuyển ra khỏi lỗ, hốc của nĩ. Trong một số trƣờng hợp cần tạo một dịng chất lỏng tuần hồn trong dung dịch tẩy rửa. Nhƣ vậy để rửa siêu âm hiệu quả cao cần cĩ một quy trình rửa cụ thể cho từng đối tƣợng vật cần rửa cũng nhƣ dạng bụi bẩn bám trên vật đĩ.[1]