Sơ đồ quy trình chế tạo loại đế SERS dạng các hạt nano bạc hình cầu trên phiến Si phẳng được mô tả như Hình 2.1.
Hình 2.1. Sơ đồ quy trình chế tạo loại đế SERS dạng các hạt nano bạc trên Si phẳng.
Các hóa chất sử dụng trong quy trình đều là các loại hóa chất tinh khiết và được liệt kê trong Bảng 2.1.
Bảng 2.1. Danh mục các hóa chất sử dụng trong quy trình chế tạo loại đế SERS dạng các mảng hạt nano bạc trên Si phẳng
TT Tên hóa chất Ký hiệu hóa học Xuất xứ
1 Đế Si Si wafer Đài loan
2 Ethanol C2H6O Sigma-Aldrich 3 Acetone C3H6O Sigma-Aldrich 4 Axắt nitric HNO3 Sigma-Aldrich 5 Axắt flohydric HF Merck
6 Bạc nitrat AgNO3 Trung Quốc 7 Nước khử ion DI Việt Nam
Dụng cụ, máy móc thiết bị sử dụng trong quy trình bao gồm: Các cốc thủy tinh và các cốc nhựa 100, 250, 500 mL; Bình Teflon nhựa 250 mL; Các ống đong bằng thủy tinh và nhựa 100 và 250 mL; Các xi lanh tiệt trùng nhựa 1, 5, 10 mL; Các chai nhựa và chai thủy tinh trung tắnh 250 mL; Cân phân tắch Scientech với độ chắnh xác 0.1 mg; Tủ hút; Hệ nước khử ion; Máy khuấy từ gia nhiệt; Giấy lọc định lượng, Găng tay cao su phẫu thuật; Nguồn ổn dòng một chiều.
Các bước thực hiện quy trình bao gồm: 1) Chuẩn bị đế Si, pha các dung dịch chế tạo; 2) Làm sạch đế Si; 3) Lắng đọng các hạt nano Ag lên đế Si; 4) Rửa và làm khô các đế SERS; 5) Khảo sát hình thái cấu trúc của các đế SERS.
Chi tiết của quy trình chế tạo này được trình bày trong phần Phụ lục 1. Lưu ý: Vì HF ăn mòn thủy tinh, do đó các ống đong, các cốc đựng và các chai đựng dung dịch có chứa HF đều phải làm bằng nhựa hoặc làm bằng teflon.