- Thiết bị truyền động áp điện, thường được sử dụng ở vị trí vi mô và dụng cụ chính xác, có đặc tính độ cứng cao, đáp ứng nhanh, và lực đầu ra cao. Tuy nhiên, như đầu ra của nó chuyển vị thường chỉ 10um-30um, và tối đa chuyển vị đầu ra không quá 100um cơ chế khuếch đại dịch chuyển là cần thiết cho thực tế các ứng dụng[5]
- Bản lề uốn là một thiết bị truyền động cơ học sử dụngbiến dạng đàn hồi của phần yếu của nó để đạt được chuyển động. Do đặc điểm không ma sát, không khe hở và cao độ nhạy của chuyển động, bản lề uốn là phổ biến trong bộ khuếch đại vi dịch chuyển. Nói chung, nó có thể phóng to dịch chuyển thành vài trăm micron, rất lớn mở rộng các ứng dụng của bộ truyền động áp điện. Nhiều các loại bản lề uốn được phát triển và dựa trên hình dạng khác nhau của một bản lề, bản lề uốn có thể được được chia thành các loại sau: góc phải, vòng tròn phải, hình elip, parabol, hyperbolic, hình chữ V và góc phi. So với bản lề uốn cong góc phải, một bản lề phải bản lề uốn tròn có độ cứng lớn hơn và dịch vụ tốt hơn cuộc sống, đó là lý do tại sao thiết kế đề xuất áp dụng một vòng tròn bên phải khớp nối. [6]
- Theo nguyên lý khuếch đại dịch chuyển,cho các mục đích thực tế, các cơ chế khuếch đại có thể được chia thành ba loại sau: loại đòn bẩy[7]
- Kiểu đòn bẩy khuếch đại dịch chuyển thông qua các nguyên tắc của đòn bẩy mở
rộng, có cấu trúc đơn giản và làm cho đầu vào và đầu ra duy trì mối quan hệ tuyến tính tốt; tuy nhiên, nó tỷ lệ khuếch đại cấp đầu tiên nhỏ đến mức hai cấp hoặc cơ chế khuếch đại đa cấp có thể cần thiết, dẫn đầu đến một cấu trúc tương đối lớn. Chuyển vị kiểu cầu. Về mặt lý thuyết, tỷ lệ khuếch đại có thể đạt được tỷ lệ 40:1, mặc dù lỗi sẽ được khuếch đại cùng một lúc và nó có tần số cộng hưởng cao và hiệu suất động tốt. Bộ khuếch đại dịch chuyển kiểu mặt móc thường được sử dụng cho biến dạng tấm mỏng và độ cong ban đầu nhỏ hơn, khuếch đại càng lớn; tuy nhiên, cấu trúc không ổn định khi hoạt động trong môi trường tần số cao. [8] [9]