Trong phạm vi chân không cao và áp suất siêu cao hiện nay ngƣời ta đều dùng phƣơng pháp điện để tiến hành đo lƣờng,các dụng cụ đo kiểu điện cho phép đạt tới những hạn đo cao hơn và có thể đo đƣợc áp suất biến đổi rất nhanh.
Chân không kế kiểu dẫn nhiệt: hệ số dẫn nhiệt của chất khí ở áp suất bình thƣờng thì không có quan hệ với áp suất nhƣng ở điều kiện áp suất tƣơng đối nhỏ thì ngƣời ta thấy tồn tại quan hệ trên. Nhiệt độ dây dẫn khi đã cân bằng nhiệt sẽ thay đổi tùy theo hệ số dẫn nhiệt của khí và dùng cầu điện không cân bằng để xác định điện trở dây dẫn ta sẽ biết đƣợc độ chân không tƣơng ứng.
Chân không kế Ion: Nhờ hiện tƣợng ion hóa tạo nên dòng ion trong khí loãng có quan hệ với áp suất nên từ trị số của dòng ion ngƣời ta xác định đƣợc độ chân không của môi trƣờng. Có nhiều cách thực hiện việc ion hóa nhƣ : dùng tác dụng của từ trƣờng và điện trƣờng,sự dự phát xạ của ca tốt đƣợc đốt nóng khi có điện áp trên a nốt,dùng sự phóng xạ...và tùy theo các cách đó mà ta có các chân không kế khác nhau.
Áp kế kiểu áp từ: Áp suất tạo ra ứng lực cơ học trong vật liệu sắt từ biến đổi sẽ làm biến đổi hệ số dẫn từ của vật liệu đó. Lợi dụng hiệu ứng áp từ ta có thể chế tạo đƣợc bộ nhạy cảm kiểu áp từ.
Áp kế áp suất điện trở: Muốn đo những áp suất lớn hơn 10.000 kG/cm2 hiện nay hầu nhƣ chỉ có 1 cách duy nhất là dùng bộ phận nhạy cảm áp suất điện trở làm áp kế.
2.4. ĐẶC ĐIỂM CẤU TẠO VÀ NGUYÊN LÝ HOẠT ĐỘNG CỦA HỆ THỐNG ĐO LƢỜNG CHIỀU DÀI ỐNG HỆ THỐNG ĐO LƢỜNG CHIỀU DÀI ỐNG
Việc xác định vị trí và dịch chuyển đóng vai trò rất quan trọng trong kỹ thuật. Hiện nay có hai phƣơng pháp cơ bản để xác định vị trí và dịch chuyển.
Trong phƣơng pháp thứ nhất,bộ cảm biến cung cấp tín hiệu là hàm phụ thuộc vào vị trí của một trong các phần tử của cảm biến,đồng thời phần tử này có liên quan đến vật cần xác định dịch chuyển.
Trong phƣơng pháp thứ hai,ứng với một dịch chuyển cơ bản,cảm biến phát ra một xung. Việc xác định vị trí và dịch chuyển đƣợc tiến hành bằng cách đếm số xung phát ra.
Một số cảm biến không đòi hỏi liên kết cơ học giữa cảm biến và vật cần đo vị trí hoặc dịch chuyển. Mối liên hệ giữa vật dịch chuyển và cảm biến đƣợc thực hiện thông qua vai trò trung gian của điện trƣờng,từ trƣờng hoặc điện từ trƣờng,ánh sáng.
Trong chƣơng này trình bày các loại cảm biến thông dụng dùng để xác định vị trí đơn vị và dịch chuyển của vật nhƣ điện thế kế điện trở,cảm biến điện cảm,cảm biến điện dung,cảm bién quang,cảm biến dùng sóng đàn hồi.