3. Photoresist 1 Giới thiệu
3.3.4.1. Sự phân hủy bằng acid AAL-1 của liên kết cacbonate và este
Phân hủy liên kết cacbonate
Trong hệ chất cảm quang của chúng ta chứa các loại polyme có Tg cao và tan trong bazo – nước. Các polyme thường được sử dụng trong hệ này là poly-[styrene-co-N- (4-hydroxyphenyl) maleimide)], poly(4-hydroxy-anpha-methylstyrene),…. Hệ đươc bảo vệ bằng gốc tBOC nhằm tạo ra sự bền nhiệt .
Dưới tác dụng của tia UV hoặc đun nóng đến 1000C. Các hợp chất poly cacbonate ưa dầu này bị biến đổi bằng phản ứng với axit sinh ra từ quá trinh quanh hóa,cuối cùng sinh ra các hợp chất phân tử nhỏ như: cacbon dioxide, isobutene, một proton,…,phản ứng này gọi là phân hủy bằng acid AAL-1 và các thành phần của hệ bị không còn liên kết chăt nữa, gốc bảo vệ tBOC cũng bị tách ra thành nhiều gốc nhỏ. Cuối cùng hệ cảm quang bị loại bỏ dễ dàng bằng các loại dung môi rửa.
Phân hủy liên kết este và ete
Các polyme mà có chức năng este chịu axit phân AAL-1 khi không có nước rất hưũ ích cho việc tạo cảm quang lưỡng bản: bản âm và bản dương (dual tone). Các loại thường dùng trong hệ là poly(4-vinylbenzoate) và polymethacrylate. Các polyme này bị biến đổi thành poly(vinylbenzoic acid) và poly(methacrylic acid) khi bị chiếu tia UV, đốt hoăc axit phân. Sự biến đổi của các cacbonxylic este thành axit
[Type text] Trang 50 cacbonxylic dẫn đến sự thay đổi tính phân cực hay hoặc tính tan cao hơn và cho phép tạo ảnh âm hoặc ảnh dương ở mức độ khử lớp bảo vệ dễ dàng.
Tính phân cực trong hệ khử nhóm liên kết:
Dung môi hữu cơ không phân cực dùng để tạo ảnh âm màn film.
Dung môi hữu cơ phân cực (rượu,base) dùng tạo ảnh dương màn film.