C ấu trúc “ñảo” ấu trúc “không ñảo” Hình A.II.13: ấu trúc OLED truyền thống và OLED phát xạ thông qua bề mặt.
I.1.1.1.Buồng chân khôn g:
Một trong những bộ phận chính của hệ nhiệt bốc bay là buồng chân không (hình B.I.3). Buồng chân không có dạng bán cầu thủy tinh có ñường kính 17cm với thể tích 1285cm3. Buồng chứa thuyền bốc bay và giá ñể mẫu. Buồng chân không là nơi ñược tạo chân không cao ñể phục vụ cho quá trình bốc bay tạo mẫu. Buồng tạo ñược chân không cao 2.10-7 torr nhờ vào bơm khuếch tán và bơm sơ cấp.
Các thông số cơ bản của hệ nhiệt bốc bay như sau: • Bơm khuếch tán:
1. Áp suất giới hạn Pgiới hạn : 10-7 torr 2. Áp suất ñối Pñối : 10-1 torr
3. Vận tốc hút S : 400 l/s • Bơm sơ cấp : 1. Áp suất giới hạn Pgiới hạn : 5.10-4 torr 2. Áp suất ñối Pñối : khí trời 3. Vận tốc hút S : 4 l/s
Hình B.I.3: Buồng chân không và giá ñể mẫu
Dựa vào bộ hiển thị chân không ta có thể biết ñược chân không bên trong buồng. Bộ hiển thị chân không hoạt ñộng dựa trên nguyên tắc của áp kế cặp nhiệt ñiện ñược gắn bên trong buồng.
Hình B.I.4: Bộ hiển thị chân không
Trong quá trình tiến hành thực nghiệm, chiều cao của buồng bốc bay chân không bị giới hạn, khoảng cách từ thuyền bốc bay ñến ñế chỉ có thể thay ñổi từ 1cm ñến 10cm. Nên khi
bốc bay ñiện cực Al, vì khoảng cách giữa thuyền bốc bay và ñế rất gần nên các nguyên tử có ñộng năng lớn có khả năng ñi xuyên sâu vào trong lớp vật liệu hữu cơ, làm phá vỡ cấu trúc của màng gây ảnh hưởng ñến sự phát quang của OLED.
Để khắc phục tình trạng trên, chúng tôi ñã tiến hành nâng buồng chân không lên một ñộ cao thích hợp ñể phục vụ cho quá trình bốc bay ñiện cực mà không ảnh hưởng ñến lớp vật liệu hữu cơ phủ lên trước ñó. Chúng tôi ñã nâng buồng cao thêm 10cm (hình B.I.5) bằng một ống Inox chịu nhiệt và tổng thể tích sau khi ñã nâng buồng là 3555cm3 . Mặc dù vậy, chúng tôi vẫn ñảm bảo ñược ñộ chân không của hệ. Thông qua quá trình nâng cao buồng chân không, khoảng cách từ thuyền bốc bay ñến ñế có thể thay ñổi từ 1cm ñến 20cm .Vì vậy khi bốc bay ñiện cực, khoảng cách từ thuyền bốc bay ñến ñế khá xa, các nguyên tử khi bay lên chỉ ñủ ñộng năng ñể bám trên ñế, không ñủ ñộng năng ñể xuyên sâu vào trong lớp vật liệu hữu cơ nên không ảnh hưởng ñến sự phát quang của OLED.
Hình B.I.5: Buồng chân không khi ñã nâng cao