Cú ba phương phỏp đo được đưa ra để xỏc định hàm lượng của mẫu mỏng đú là phương phỏp chuẩn trong, phương phỏp chuẩn ngoài và phương phỏp đo tuyệt đối (Absolute measurement [13])
Đối với phương phỏp chuẩn trong, chất chuẩn đó biết hàm lượng (khối lượng chất trờn một đơn vị diện tớch) sẽ được thờm vào trong mẫu đo, chất chuẩn này thường phải khụng cú mặt trong mẫu đú, tường người ta chọn cỏc nguyờn tố
đất hiếm như Y hay . Dựa vào cụng thức 22, hàm lượng của chất cần đo sẽ được
tớnh như sau:
C = (24)
Với Ym, m lt Y , m
và Tmlần lượt là số tia X đặc trưng phỏt ra, cường độ tia X lý thuyết, hiệu suất ghi của detector, hiệu suất truyền qua của tấm lọc đối với tia X
Luận văn Thạc sỹ Nguyễn Văn Hiệu
38
phỏt ra của nguyờn tố cần đo. Tương tự đối với cỏc thành phần st Y , st
lt Y , st
và st T
của chất chuẩn trong.
Vỡ chất chuẩn trong được đo trong cựng một điều kiện với cỏc chất cần đo trong mẫu nờn phương phỏp này cú thể loại bỏ sai số hệ thống của cỏc giỏ trị Q, Ω (điện tớch, gúc khối ).
Đối với phộp chuẩn ngoài, mẫu với cỏc nguyờn tố đó biết hàm lượng sẽ được đo trong cựng một điều kiện đối với mẫu cần đo từ đú xõy dựng đường cong độ nhạy nguyờn tố. Dựa vào đú để tớnh toỏn hàm lượng của cỏc chất trong mẫu đo.
Phương phỏp này cũng loại bỏ được phần sai số hệ thống của cỏc giỏ trị Q, Ω.
Phộp đo tuyệt đối sử dụng cỏc thụng số của hệ đo để tớnh trực tiếp hàm lượng của cỏc nguyờn tố dựa vào cụng thức 1. Phương phỏp này đũi hỏi phải xỏc định chớnh xỏc cỏc thụng số của hệ đo và cơ sở dữ liệu tin cậy về tiết diện ion húa, hiệu suất huỳnh quang…