Trước hết để khẳng định rằng các mẫu chế tạo được để khảo sát tính chất là đúng thành phần mong muốn và không có lẫn tạp chất, chúng tôi đã tiến
hành phân tích thành phần của mẫu bằng phương pháp phổ tán sắc năng lượng (EDS). Hình 3.1 là kết quả đo phổ tán sắc năng lượng của mẫu BTO và một số mẫu đại diện cho hệ mẫu BTFO với nồng độ thay thế Fe cho Ti là x = 0.05, 0.1 và 0.2. Kết quả cho thấy, phổ EDS của BTO (Hình 3.1a) chỉ xuất hiện các đỉnh phổ đặc trưng cho các nguyên tố Ba, Ti và O không có mặt của các nguyên tố tạp chất nào khác. Khi có sự thay thế một phần Ti bởi Fe ta thu được phổ tán sắc năng lượng của các mẫu như trên Hình 3.1 (b, c, d) tương ứng. Trong các mẫu chứa Fe thì ngoài các đỉnh phổ tương ứng với các nguyên tố Ba, Ti và O như trong mẫu BTO khi chưa pha tạp, còn xuất hiện thêm các đỉnh đặc trưng của Fe, tại mức năng lượng khoảng 6.4 keV. Khi nồng độ thay thế x tăng, cường độ các đỉnh đặc trưng cho Fe có xu hướng tăng dần. Đặc biệt, cường độ và vị trí các đỉnh đặc trưng cho Ti và Ba gần như trùng nhau nên rất khó để phân biệt được vị trí các vạch đặc trưng của hai nguyên tố này một cách riêng biệt. Các kết quả này chứng tỏ hệ mẫu đã chế tạo đúng thành phần danh định và không bị lẫn tạp chất. Mặc dù phổ EDS không xác định được pha vật liệu mà chỉ giúp đánh giá thành phần các nguyên tố trong vật liệu, tuy nhiên trước khi phân tích pha cấu trúc cần phân tích định lượng, xác định tỷ phần các nguyên tố. Sau đây chúng tôi sẽ khảo sát chi tiết tỷ phần pha và sự chuyển pha cấu trúc của vật liệu bằng phương pháp phân tích XRD.