Kính hiển vi điện tử quét (Scaning Electron Microscope – SEM) hoạt động trên nguyên tắc quét chùm electron lên bề mặt mẫu cần nghiên cứu, điện tử tương tác với bề mặt mẫu và phát bức xạ thứ cấp. Thu lại các chùm tia bức xạ thứ cấp để nhận ảnh vi cấu trúc
vật liệu với độ phân giải rất cao. Ngoài ra, còn có thể thu được phổ tán xạ năng lượng (Energy Dispersive Spectrum – EDS), từ đó có được đồng thời các thông tin về các nguyên tố, tỷ lệ các nguyên tố hoá học trong mẫu.
Kính hiển vi điện tử quét (SEM) đã trở thành một công cụ khá phổ biến, cho phép phân tích vi cấu trúc từ bề mặt mẫu vật với độ phân giải cao mà không cần phá mẫu. Để làm ảnh rõ nét, người ta
thường phủ một lớp kim loại như Cr, hoặc hợp kim Au – Pt hoặc C mỏng trên bề mặt mẫu. Ảnh SEM có độ nét chuẩn với chiều sâu nhất định trên bề mặt mẫu. Khi quét ảnh, cần chọn ảnh đại diện tốt nhất cho cấu trúc vi mô của mẫu cần nghiên cứu.
Ảnh từ kính hiển vi điện tử quét (SEM) giúp chúng ta nghiên cứu cấu trúc vi mô của vật liệu. Xác định thành phần, sự phân bố và tỷ lệ định lượng của các pha tinh thể, vô định hình và cả lỗ xốp. Có thể xác định hình thái tinh thể của một khoáng, xác định sự phân bố và định lượng chúng. Kết hợp với những thông tin khác về thành phần hoá, quá trình xử lý nhiệt…có thể xác định quá trình hình thành khoáng, cơ chế kết khối, từ đó định hướng kỹ thuật sản xuất cũng như một số đặc trưng tính chất của sản phẩm.
Hình 2.1.3: Kính hiển vi điện tử quét (SEM)
Kích thước hạt và hình dạng của chúng được xác định bằng kính hiển vi điện tử quét (SEM) tại viện Khoa học vật liệu Tp.HCM.