Bảng số liệu kết quả giải số hệ phƣơng trỡnh khuếch tỏn đồng thời của

Một phần của tài liệu Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic (Trang 129)

của B, I và V sau 10 phỳt khuếch tỏn ở nhiệt độ 10000C

x(cm) CB CI CV 0.0000000000E+00 1.0E+19 1.1E+12 1.0E+15

5.2941176471E-06 6.5E+18 2.0E+13 5.8E+13 1.0588235294E-05 4.4E+18 2.6E+13 4.5E+13 1.5882352941E-05 2.8E+18 2.6E+13 4.4E+13 2.1176470588E-05 1.6E+18 2.4E+13 4.8E+13 2.6470588235E-05 8.3E+17 2.0E+13 5.6E+13 3.1764705882E-05 4.0E+17 1.7E+13 6.9E+13 3.7058823529E-05 1.8E+17 1.3E+13 8.7E+13 4.2352941176E-05 7.2E+16 1.0E+13 1.1E+14 4.7647058823E-05 2.7E+16 7.6E+12 1.5E+14 5.2941176471E-05 9.6E+15 5.6E+12 2.0E+14 5.8235294118E-05 3.2E+15 4.0E+12 2.8E+14 6.3529411765E-05 9.8E+14 2.9E+12 4.0E+14 6.8823529412E-05 2.8E+14 2.0E+12 5.7E+14 7.4117647059E-05 7.8E+13 1.4E+12 8.2E+14 7.9411764706E-05 2.0E+13 9.8E+11 1.2E+15 8.4705882353E-05 5.0E+12 7.1E+11 1.6E+15 9.0000000000E-05 1.2E+12 5.4E+11 2.1E+15 9.5294117647E-05 2.6E+11 4.6E+11 2.5E+15 1.0058823529E-04 5.5E+10 4.5E+11 2.5E+15

x(cm) CB CI CV 1.2176470588E-04 7.2E+07 1.1E+12 1.0E+15 1.2705882353E-04 1.2E+07 1.3E+12 8.8E+14 1.3235294118E-04 2.1E+06 1.5E+12 7.8E+14 1.3764705882E-04 3.4E+05 1.6E+12 7.0E+14 1.4294117647E-04 5.2E+04 1.8E+12 6.4E+14

In màu: 16, 18, 27, 30, 45, 73, 86, 87, 88, 89, 90, 91, 92, 100, 104, 111, 112, 113,

x(cm) CB CI CV 2.5411764706E-04 1.0E-15 3.6E+12 3.2E+14 2.5941176471E-04 9.2E-17 3.6E+12 3.2E+14 2.6470588235E-04 7.5E-18 3.6E+12 3.2E+14 2.7000000000E-04 2.3E-19 3.6E+12 3.2E+14 2.7529411765E-04 0.0E+00 3.6E+12 3.2E+14 2.8058823529E-04 0.0E+00 3.6E+12 3.2E+14 2.8588235294E-04 0.0E+00 3.6E+12 3.2E+14 2.9117647059E-04 0.0E+00 3.6E+12 3.2E+14 2.9647058824E-04 0.0E+00 3.5E+12 3.2E+14 3.0176470588E-04 0.0E+00 3.5E+12 3.2E+14 3.0705882353E-04 0.0E+00 3.5E+12 3.3E+14 x(cm) CB CI CV

3.8117647059E-04 0.0E+00 2.8E+12 4.0E+14 3.8647058823E-04 0.0E+00 2.8E+12 4.1E+14 3.9176470588E-04 0.0E+00 2.7E+12 4.2E+14 3.9705882353E-04 0.0E+00 2.7E+12 4.3E+14 4.0235294118E-04 0.0E+00 2.6E+12 4.3E+14 4.0764705882E-04 0.0E+00 2.6E+12 4.4E+14 4.1294117647E-04 0.0E+00 2.5E+12 4.5E+14 4.1823529412E-04 0.0E+00 2.5E+12 4.6E+14 4.2352941176E-04 0.0E+00 2.4E+12 4.7E+14 4.2882352941E-04 0.0E+00 2.4E+12 4.8E+14

--- 4500C

DI = 8,84.10-25 Cv0 = 1,50.107 CI0 = 4.55.103

Một phần của tài liệu Nghiên cứu khuếch tán đồng thời tạp chất và sai hỏng điểm trong silic (Trang 129)

Tải bản đầy đủ (PDF)

(132 trang)