7. Bố cục của đề tài
2.2.1. Xử lí đế thạch anh
- Hóa chất: H2SO4 đặc (98%), H2O2 (30%), acetone, xà phòng, nước cất. - Dụng cụ: Nhiệt kế, cốc thủy tinh, chậu thủy tinh, kẹp sắt, pipet, công tơ hút, đế thạch anh (2cm x 1cm), bếp điện.
- Cách tiến hành: Rửa lam kính bằng xà phòng. Sau đó, đặt chậu thủy tinh lên bếp điện, cho nước vào 2/3 chậu, đưa nhiệt độ lên và giữ nhiệt cho nước ở 70-75o
C. Lấy dung dịch H2SO4 và H2O2 theo tỉ lệ 7:3 cho vào cốc 50ml. Cho đế thạch anh vào dung dịch và ngâm trong khoảng 30 phút. Lấy đế ra tráng qua nước cất 2 lần, sau đó tráng qua acetone và để khô. Quy trình rửa lam kính được biểu diễn trên hình 2.2.
21
2.2.2. Quy trình tạo màng ZnO
- Hóa chất: Dung dịch tiền chất ZnO/NH3 dùng phủ màng. - Dụng cụ: Đế thủy tinh đã được rửa sạch, xilanh, filter. - Thiết bị: máy spin coating.
- Cách tiến hành:
Tạo màng: Lắp đế lên máy, điều chỉnh tốc độ quay của máy, lọc dung dịch qua filter và nhỏ nhanh lên đế thạch anh. Thực hiện phủ 3 mẫu màng:
+ Mẫu 1: nhỏ dung dịch, bật máy quay trong 10 giây, để sol phân tán đều sau đó nhỏ tiếp dung dịch lên màng và quay trong 50 giây với tốc độ 2000 vòng/phút.
+ Mẫu 2: nhỏ dung dịch sol lên màng, cho máy quay với tốc độ 2000 vòng/phút và trong 50 giây.
+ Mẫu 3: nhỏ dung dịch lên màng, cho quay trong 50 giây với tốc độ 1500 vòng/phút.
Xử lí nhiệt cho màng phủ quay trong 50 giây, tốc độ 2000 vòng /phút: Đặt màng lên bếp điện, xử lí nhiệt cho màng tạo thành ở 100oC, 200oC, 300oC và nghiên cứu bằng phổ phát xạ PL. Màng mỏng xử lí ở 100oC được nghiên cứu đặc trưng cấu trúc bằng phương pháp phổ điện tử quét (SEM) và phổ nhiễu xạ tia X.