Bốc bay nhiệt sử dụng nguồn nhiệt được cung cấp trực tiếp từ thuyền điện trở. Thuyền điện trở thường được làm từ các dây kim loại có nhiệt độ nóng chảy cao, độ bền cao trong chân không như Vonfram, Molipden… , được uốn thành hình giỏ. Vật liệu cần bốc bay được đặt trực tiếp lên trên thuyền trong buồng chân không có độ chân không cao, áp suất đạt từ 10-2 – 10-13 torr. Khi thuyền được đốt nóng (bằng dòng điện) lên đến nhiệt độ bằng hoặc cao hơn nhiệt độ hóa hơi của vật liệu gốc, các phần tử của vật liệu gốc khi nhận được năng lượng đủ lớn sẽ thăng hoa và được lắng đọng trên bề mặt đế tạo thành màng. Các thao tác cần thực hiện trên máy bốc bay chân không ULVAC SINKU KIKO tại phòng thí nghiệm khoa Vật lý Kỹ thuật-trường Đại học Công nghệ.
Hình 2.2 minh họa hệ bốc bay nhiệt đặt tại phòng vật liệu và linh kiện điện tử, trường đại học Công nghệ. Hệ bao gồm buồng chân không bằng thủy tinh, bơm sơ cấp và bơm khuếch tán. Hệ có thể đạt được áp suất 10-4 torr.
Hình 2.2. Hệ bốc bay tạo điện cực kim loại
Hệ bốc bay chân không này được sử dụng để bốc bay tạo màng Al làm điện cực catốt. Với dòng điện nguồn cấp vào khoảng 7A trong thời gian 30s.
Các thông số cơ bản của hệ như sau:
Bơm khuếch tán: Pgiới hạn: 10-5 torr, Pđối: 10-2 torr.
Bơm sơ cấp : Pgiới hạn: 10-3 torr, Pđối: khí trời.
Áp suất trong buồng chân không được xác định thông qua áp kế cặp nhiệt điện.
Chƣơng 3 - Các phƣơng pháp nghiên cứu