B. nội dung
3.6. Cải tiến công nghệ chế tạo
Công nghệ chế tạo cảm biến vì nó đặt ra những yêu cầu khắt khe, đặc biệt là những yêu cầu giao diện, sự tán nhiệt, và sự cần thiết phải khắc phục độ nhiễu, độ ồn cho tất cả các thiết bị điện và cơ. Một giao diện trong một hệ thống siêu vi luôn tồn tại những thông lượng không mong muốn (thông lượng thừa), như thông lượng điện từ, cơ khí, nhiệt, hoá học, âm thanh, và quang thông. Như vậy, một yêu cầu đặt ra là phải luôn có sự cải tiến về công nghệ chế tạo.
Để hoàn thiện và tăng khả năng ứng dụng của linh kiện, việc đánh giá các thông số của chúng đặc biệt quan trọng. Do kích thước của những linh kiện vi cơ nói chung và cảm biến đo vận tốc nói riêng là rất nhỏ, từ vài chục milimetcho đến vài chục micomet, và nhỏ hơn nữa, nên việc đo đạc đánh giá chính xác các tham số của chúng là một bài toán đòi hỏi độ chính xác cao,
tinh tế. Với linh kiện MEMS nói chung và cảm biến vận tốc nói riêng, cấu trúc kiểu tụ cho phép linh kiện làm việc với độ ổn định cao. Tuy nhiên, dao diện điện tử tương đối phức tạp.
Cảm biến vận tốc được chế tạo bằng vật liệu silic. Cấu trúc được chế tạo trên cơ sở công nghệ vi cơ khối dựa trên đặc tính ăn mòn dị hướng của vật liệu silic đơn tinh thể trong dung dịch kiềm potassum hyđroxit để tạo nên các cấu trúc cơ học dạng khối. Ưu điểm của công nghệ này là tương đối đơn giản, do chỉ dùng kết hợp kĩ thuật quang khác với phương pháp ăn mòn ướt để tạo cấu trúc. Song nhược điểm của nó là do đặc điểm có sự khác nhau về tốc độ ăn mòn của silic theo hướng tinh thể khác nhau. Chính vì vậy, cấu trúc không có cạnh thẳng đứng và không thể giảm kích thước đến giớ hạn ngưỡng đối với một chiều dày nhất định. Tuy có sự hạn chế về cấu trúc cơ xong nhiều thông số công nghệ có thể được cải thiện nhờ phần mạch điện tử. Các phần tử mạch điện được ghép trực tiếp trên cấu trú cơ tạo thành cảm biến hoàn chỉnh. Thông qua các phần tử mạch điện ta có thể điều chỉnh các thông số đầu vào cũng như việc xử lý các tín hiệu đầu ra. Như vậy, vấn đề đặt ra là cần phải xây dựng lên các phần tử mạch điện hoàn chỉnh, xây dựng các phương pháp đo hợp lý hơn để có thể khắc phục phần nào nhược điểm trong công nghệ vi cơ tạo ra.
Công nghệ nano, một công nghệ đầy hứa hẹn với nhiều lĩnh vực trong cuộc sống, trong đó có công nghệ cảm biến. Rồi đây công nghệ nano sẽ mang lại những thành công vượt bậc cho công nghệ chế tạo các loại cảm biến. Công nghệ tích hợp nano có thể tạo ra những thế hệ cảm biến tí hon, thông minh, nhạy, ít hao mòn điện năng và có thể được sản xuất hàng loạt với giá thành hạ. Trên đây là một vài ứng dụng của cảm biến vận tốc, còn rất nhiều ứng dụng của cảm biến loại này, trong các lĩnh vực khác nhau mà tôi không trình bày trong khoá luận này. Mong rằng, ngoài các ứng dụng mà tôi trình bày ở trên các bạn sẽ tự tìm hiểu các ứng dụng khác. Chắc chắn rằng các bạn sẽ thấy rất thú vị [3].