[1]. Nguyễn Phúc Anh Đức, Nghiên cứu chế tạo cảm biến khí trên cơ sở vật liệu SnO2 pha tạp một số nguyên tố kim loại và ống nano cacbon, Luận văn
thạc sĩ – ITIMS, 2007, tr 46.
[2]. Nguyễn Hạnh, Bài giảng công nghệ sol – gel cho học viên cao học ITIMS, 2006, tr 24 – 28.
[3]. Lê Thị Mai Oanh, Nghiên cứu hoàn thiện chế tạo linh kiện cân vi lượng tinh thể thạch anh, Luận văn thạc sĩ – ITIMS, 2006.
[4]. Phan Quốc Phô, Nguyễn Đức Chiến, Giáo trình cảm biến, Nhà xuất bản
khoa học và kỹ thuật.
[5]. Đào Thị Thanh Yên, Nghiên cứu chế tạo cảm biến nhạy khí ga hóa lỏng trên cơ sở vật liệu SnO2 cấu trúc nano, Luận văn thạc sỹ - ITIMS , 2003
Tiếng Anh
[6]. Arthur Ballato, Fellow, “Advances in High – Q, piezoelectric Resonator
Materials anh Devices”, IEEE Trans.Ultr.Ferro and Freq. cotr vol 4 (num 6),
1994.
[7]. Bernd Zimmermarm Raft Lucklum, Peter Hauptmanm, Jens Rabe, Stephanus B, “Electrical characterisation of high – Frequency thickness –
shear – mode resonators by impedance analynis”, Sensor & Actuators B vol. 76, 2001, p. 47 – 57.
[8]. C.D. Stockbridge, “Vacuum Microbalance Techniques”, NewYork vol 5,
1996, p 147.
[10]. Gregory T.A. Lovacs, Micromached Tranducers Source book, 1988. [11]. Hewlett Packard, Fundamentals of Quartz Oscillators, 1997, p. 23.
[12]. KK. Kanazawa and T.G. Gordon II, Anal. Chim. Acta 175, 1985, p. 99.
[13]. Nguyen Thi Quynh Hoa, Fabrication of Quartz – Crystal microbalance sensor base on mems, 2005, p 91.
[14]. LiLi, Takashi Abe, Masayoshi Esashi, High sensitive Miniaturized Plano – convex. Quartz crystal Microbalance Fabricated by Reactive Ion Etching and Melting Photoresis, 2003.
[15]. Masako Tanaka, Takayuki Ugajin, Nobushige Araki and Yoshimasa Omura, “The Resonating Propeties of Crystal Unit of Fundamental Frequency
150 MHz”, vol.36, 1997.
[16]. QCM 100 – Quartz Crystal Microbalance Theory and Calibration, p. 28. [17]. Q. Wan, Q. H. Li, Y. T.Chen, T. H. Wang, “Fabrication and ethanol
sensing characteristics of ZnO nanowire gas sensor”. Appphy. Lett, (number
18), 2004, p. 3654 – 3656.
[18]. Ralf Richter, Daniel Aydin, Vasi Kodali, Quartz Crystal Microbalance with Disipation Monitoring (QCM – D), p 10.
[19]. Stanford Research Systems, QCM 200 – Quartz Crystal Microbalance Digital controller, 2005, p. 1-30.
[20]. John Henderson, Electronic Devices. Concepts and Application, 1991, p.
