và công nghệ vi cơ

... khả đo áp suất phạm vi rộng Cảm biến áp suất cụ thể chế tạo vào năm 1960, sau nhiều nhà nghiên cứu giới tập trung nghiên cứu lĩnh vực Đặc biệt có xuất công nghệ vi cơ, mở khả vi c chế tạo linh ... lên hàng đầu công nghệ MEMS thật đáp ứng Do đó, luận văn tập trung vào đặc tính vật liệu silic đơn tinh thể, vật liệu sử dụng phổ biến linh kiện MEMS đặc biệt đặc tính áp điện trở Vi c nghiên ... Cấu trúc luận văn tóm lượt sau: Chương 1: Tổng quan hệ vi điện tử MEMS hiệu ứng áp điện trở vật liệu bán dẫn silic Tìm hiểu sơ lượt công nghệ chế tạo, vật liệu ứng dụng MEMS Hiệu ứng áp điện trở...

Ngày tải lên: 16/03/2014, 12:43

... Tích hợp mạch : Sự tích hợp mạch theo công nghệ MEMS mang lại giá trị lớn, nhiên giá thành độ phức tạp bị hạn chế Lịch sử MEMS công nghệ vi + Công nghệ vi cơ: Các quy trình lắng đọng, khắc hay ... biết khả mà công nghệ MEMS mang lại - Năm 1984 Howe Muller thuộc đại học California phát triển quy trình vi bề mặt Si đa tinh thể dùng để sản xuất mạch tích hợp dùng công nghệ MEMS Công nghệ cho ... kết công nghệ mấu chốt cho vi c phát triển cấu trúc 3D cho vi hệ thống tạo nối cho vi c đóng gói MEMS lớp linh kiện vi điện tử Khả tạo lớp nối đồng nhất, chất lượng tốt với wafer Si phụ thuộc vào...

Ngày tải lên: 11/07/2014, 09:20

... y sinh vi chấp hành với cơng suất ngõ cao Cơng nghệ vi trở thành cơng nghệ cho chế tạo linh kiện vi điện tử đặc biệt cảm biến chấp hành thu nhỏ Silic thuận lợi 15 cho cơng nghệ vi cơ, cho ... THIỆU Cơng nghệ vi chế tạo, đƣợc biết đến cơng nghệ MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) cơng nghệ tiến tiến cho phép chế tạo linh kiện vi hệ thống điện tử Bao gồm dạng vi cấu trúc cơ, cảm ... khác 1.1.2 Cơng nghệ MEMS Cơng nghệ vi silic yếu tố cho tiến vƣợt bậc MEMS Điều đƣợc xem nhƣ phận học đƣợc chế tạo bên ngồi đế silic hay đế silic Cơng nghệ MEMS dựa cơng nghệ sau: vi khối cấu...

Ngày tải lên: 25/03/2015, 11:56

... Học Công Nghệ, Đại Học Quốc Gia Hà Nội, đơn vị liên kết đào tạo Phòng Thí Nghiệm Công Nghệ Nano, Đại Học Quốc Gia Thành Phố Hồ Chí Minh Công vi c thực hướng dẫn Thầy PGS TS Vũ Ngọc Hùng Vi n ... Số 01, Đại Cồ Vi t, Hà Nội, Vi t Nam từ tháng năm 2007 Ngoại trừ thông số tiêu kỹ thuật linh kiện đưa ban đầu, lại tất kết có luận văn nổ lực làm vi c tôi, hợp tác cá nhân Công vi c thực luận ... trình 83 LABVIEW 52 Hình 3.13 Màn hình làm vi c ban đầu LabView 83 53 Hình 3.14 Cửa sổ làm vi c cho lập trình 84 54 Hình 3.15 Thiết lập thông số cho cổng nối tiếp 85 55 Hình 3.16 Vi t liệu tới...

Ngày tải lên: 16/11/2016, 21:19

... “Nghiên cứu vi động kiểu tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực luận án Đối tượng nghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện hoạt động chiều hai chiều, chế tạo công nghệ gia công vi khối ... loại vi động quay kiểu tĩnh điện quay chiều, đề xuất vi động kiểu tĩnh điện quay hai chiều Các vi động chế tạo với quy trình, sử dụng công nghệ MEMS tiêu chuẩn Vi c ứng dụng công nghệ gia công vi ... phần tử hữu hạn ANSYS  Các vi động chế tạo công nghệ MEMS tiêu chuẩn thông dụng công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học …  Đo...

Ngày tải lên: 17/12/2014, 22:46

... tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực luận án Đối tượng nghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện (rotational electrostatic micro motors) đƣợc chế tạo công nghệ gia công vi khối (bulk ... tử hữu hạn ANSYS - Các vi động đƣợc chế tạo công nghệ MEMS tiêu chuẩn thông dụng nhƣ công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học … ... thống vi động cơ, qua lựa chọn đối tƣợng nghiên cứu phù hợp với tình hình nghiên cứu, phát triển ngành Công nghệ Vi điện tử Vi t Nam Tính toán, thiết kế chế tạo thành công vi động quay sử dụng vi...

Ngày tải lên: 26/12/2014, 16:35

... tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực luận án Đối tượng nghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện (rotational electrostatic micro motors) đƣợc chế tạo công nghệ gia công vi khối (bulk ... tử hữu hạn ANSYS - Các vi động đƣợc chế tạo công nghệ MEMS tiêu chuẩn thông dụng nhƣ công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học … ... thống vi động cơ, qua lựa chọn đối tƣợng nghiên cứu phù hợp với tình hình nghiên cứu, phát triển ngành Công nghệ Vi điện tử Vi t Nam Tính toán, thiết kế chế tạo thành công vi động quay sử dụng vi...

Ngày tải lên: 26/12/2014, 22:05

... “Nghiên cứu vi động kiểu tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực luận án Đối tƣợngnghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện hoạt động chiều hai chiều, chế tạo công nghệ gia công vi khối Mục ... loại vi động quay kiểu tĩnh điện quay chiều, đề xuất vi động kiểu tĩnh điện quay hai chiều Các vi động chế tạo với quy trình, sử dụng công nghệ MEMS tiêu chuẩn Vi c ứng dụng công nghệ gia công vi ... phần tử hữu hạn ANSYS  Các vi động chế tạo công nghệ MEMS tiêu chuẩn thông dụng công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học …  Đo...

Ngày tải lên: 30/12/2014, 19:25

... tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực luận án Đối tượng nghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện (rotational electrostatic micro motors) đƣợc chế tạo công nghệ gia công vi khối (bulk ... tử hữu hạn ANSYS - Các vi động đƣợc chế tạo công nghệ MEMS tiêu chuẩn thông dụng nhƣ công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học … ... thống vi động cơ, qua lựa chọn đối tƣợng nghiên cứu phù hợp với tình hình nghiên cứu, phát triển ngành Công nghệ Vi điện tử Vi t Nam Tính toán, thiết kế chế tạo thành công vi động quay sử dụng vi...

Ngày tải lên: 30/12/2014, 19:25

... “Nghiên cứu vi động kiểu tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực luận án Đối tượng nghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện hoạt động chiều hai chiều, chế tạo công nghệ gia công vi khối ... loại vi động quay kiểu tĩnh điện quay chiều, đề xuất vi động kiểu tĩnh điện quay hai chiều Các vi động chế tạo với quy trình, sử dụng công nghệ MEMS tiêu chuẩn Vi c ứng dụng công nghệ gia công vi ... phần tử hữu hạn ANSYS  Các vi động chế tạo công nghệ MEMS tiêu chuẩn thông dụng công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học …  Đo...

Ngày tải lên: 11/01/2015, 12:07

... tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực luận án Đối tượng nghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện (rotational electrostatic micro motors) đƣợc chế tạo công nghệ gia công vi khối (bulk ... tử hữu hạn ANSYS - Các vi động đƣợc chế tạo công nghệ MEMS tiêu chuẩn thông dụng nhƣ công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học … ... thống vi động cơ, qua lựa chọn đối tƣợng nghiên cứu phù hợp với tình hình nghiên cứu, phát triển ngành Công nghệ Vi điện tử Vi t Nam Tính toán, thiết kế chế tạo thành công vi động quay sử dụng vi...

Ngày tải lên: 17/01/2015, 22:16

... Kỷ yếu hội nghị khoa học công nghệ toàn quốc khí - Lần thứ IV Bài báo trình bày quy trình chế tạo chip cảm biến gia tốc kiểu tụ Mask công nghệ vi khối, sử dụng kỹ thuật ăn mòn ướt ... kim loại vàng, bạc, nhôm, crom, titan,… Tuy nhiên, để đảm bảo độ dẫn điện cấu trúc bề mặt dễ chế tạo 556 Kỷ yếu hội nghị khoa học công nghệ toàn quốc khí - Lần thứ IV điện cực thường làm vàng, bạc ... dính với bề mặt thủy tinh tốt vàng Ta sử dụng titan để làm lớp lót nhờ ưu điểm Làm Pyrex Pyrex Titan Phủ lớp đệm Titan Phủ lớp vàng Dùng mask để tạo điện cực vàng Pyrex Vàng Pyrex Pyrex Hình Quy...

Ngày tải lên: 08/06/2016, 07:13

... đến công nghệ dẫn đường không đế song chưa sâu, chưa rõ ràng công nghệ lý thuyết dẫn đường quán tính Đối tượng phạm vi nghiên cứu đề tài Tổng hợp công nghệ dẫn đường công nghệ quay hồi chuyển, công ... octans Đức sử dụng công nghệ quay quang sợi… Hiện nay, chưa có nghiên cứu thức công bố nghiên cứu công nghệ quán tính không đế nói chung, số học vi n, nhà trường nghiên cứu công nghệ vi MEMS ứng dụng ... tính công nghệ có sẵn thị trường hệ cảm biến vi MEMS…, vi c nghiên cứu công nghệ hệ thống dẫn đường quán tính không đế có ý nghĩa cấp thiết Trong tương lai, thiết kế, sản xuất hệ thống ứng dụng công...

Ngày tải lên: 07/03/2017, 14:30

... “Nghiên cứu vi động kiểu tĩnh điện dựa công nghệ Vi Cơ Điện tử” để thực luận án Đối tượng nghiên cứu Các vi động quay kiểu tĩnh điện hoạt động chiều hai chiều, chế tạo công nghệ gia công vi khối ... loại vi động quay kiểu tĩnh điện quay chiều, đề xuất vi động kiểu tĩnh điện quay hai chiều Các vi động chế tạo với quy trình, sử dụng công nghệ MEMS tiêu chuẩn Vi c ứng dụng công nghệ gia công vi ... phần tử hữu hạn ANSYS  Các vi động chế tạo công nghệ MEMS tiêu chuẩn thông dụng công nghệ quang khắc (lithography), công nghệ ăn mòn khô ion hoạt hóa sâu (DRIE), công nghệ ăn mòn hóa học … Footer...

Ngày tải lên: 11/03/2017, 02:57

... cho vi c gia tăng cải vật chất xã hội bảo vệ lợi ích ngời Công nghệ sinh học lĩnh vực khoa học công nghệ rộng, chia công nghệ sinh học thành ngành sau: + Công nghệ vi sinh vật: Là ngành công nghệ ... Công nghệ gen đợc coi mũi nhọn công nghệ sinh học, chìa khóa để giúp mở ứng dụng công nghệ vi sinh vật Nội dung yêu cầu môn học + Nắm đợc nguyên lý công nghệ vi sinh vật, chất loại chế phẩm vi ... tác giả Chơng lịch sử triển vọng Công nghệ sinh học công nghệ vi sinh vật nông nghiệp I Khái niệm chung Thuật ngữ * Công nghệ sinh học trình sản xuất quy mô công nghiệp có tham gia tác nhân...

Ngày tải lên: 15/09/2012, 15:24

... vụ công trực tuyến đơn vị cung cấp; Hướng dẫn đối tượng sử dụng dịch vụ công trực tuyến pháp lý, công nghệ, kỹ điều kiện khác để đối tượng tham gia thành công sử dụng có hiệu dịch vụ công ... thuộc phạm vi chức quản lý Bộ KH&CN xem xét khen thưởng hàng năm theo quy định Tổ chức cá nhân có hành vi vi phạm quy định vi c triển khai, cung cấp trực tuyến dịch vụ công thuộc phạm vi chức quản ... KH&CN để đảm bảo đáp ứng đầy đủ điều kiện theo quy định vi c cung cấp trực tuyến dịch vụ công Điều Bảo đảm tính tương thích công nghệ Căn vào tiêu chuẩn kỹ thuật quy định Thông tư 01/2011/TTBTTTT...

Ngày tải lên: 16/01/2013, 09:18

Ngày tải lên: 23/01/2013, 14:58

... giảng vi n Khi giảng dạy máy giáo vi n thấy khối lợng công vi c nhẹ nhàng Vi c kiểm soát hoạt động sinh vi n đơn giản, cần ngồi vị trí giảng vi n quan sát đợc hoạt động sinh vi n, biết đợc sinh vi n ... quản lý sinh vi n Trớc vi c quản lý sinh vi n rờm rà nhng đến công vi c trở lên dễ dàng đơn giản nhiều Chỉ cần kết hợp vài ngời với máy tính quản lý xác,chặt chẽ hàng nghìn sinh vi n Ngoài cách ... Phơng pháp dạy học Cơ chế quản lý sinh vi n hình thức thi trắc nghiệm máy iii: kết vi c áp dụng vai trò máy vi tính 1.Đối với sinh vi n 2.Đối với giảng vi n 3.Vai trò máy vi tính giáo dục nhà...

Ngày tải lên: 05/04/2013, 14:16

... ngày làm vi c kể từ ngày kết thực nhiệm vụ khoa học công nghệ quan quản lý nhiệm vụ khoa học công nghệ công nhận, tổ chức, cá nhân chủ trì thực nhiệm vụ khoa học công nghệ phải đăng ký kết Cơ quan ... khoa học công nghệ có đăng ký bảo hộ quyền sở hữu công nghiệp: + Kết thực nhiệm vụ khoa học công nghệ đăng ký bảo hộ quyền sở hữu công nghiệp trước quan quản lý nhiệm vụ khoa học công nghệ công nhận: ... ngày làm vi c kể từ ngày kết thực nhiệm vụ khoa học công nghệ quan quản lý nhiệm vụ khoa học công nghệ công nhận, tổ chức, cá nhân chủ trì thực nhiệm vụ khoa học công nghệ phải đăng ký kết Cơ quan...

Ngày tải lên: 20/08/2013, 16:04