các cảm biến áp suất điện dung

... khảo sát cảm biến áp suất điện dung 26 3.2.1 Thiết kế cảm biến áp suất điện dung 26 3.2.2 Cảm biến áp suất điện dung thay đổi vật liệu 28 3.2.3 Cảm biến áp suất điện dung thay ... lý áp kế điện dung 13 Hình 2.3 Sơ đồ khối cảm biến áp suất 13 Hình 2.4 Mơ hình ngun khối cảm biến áp suất điện dung 16 Hình 2.5 Một phần tư mơ hình cảm biến áp suất điện dung ... cảm biến áp suất điện dung thay đổi vật liệu 32 Bảng 3.4 Độ nhạy cảm biến áp suất điện dung 34 Bảng 3.5 Độ nhạy hoành cảm biến thay đổi bề dày màng cảm biến .38 Bảng 3.6 Độ nhạy cảm biến

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:54

... giá trị 0,27  m áp suất 10kPa  Lúc đồ thị bề mặt cảm biến điện dung hàm áp suất b) Ảnh hưởng áp suất tới giá trị điện dung cảm biến Kết ảnh hưởng áp suất tới giá trị điện dung đưa hình 3.4: ... Multiphysics sử dụng để mơ cảm biến áp suất điện dung, tìm hiểu thay đổi giá trị điện dung, dịch chuyển màng cảm biến áp suất thay đổi, ảnh hưởng nhiệt độ tới giá trị điện dung cảm biến MỞ ĐẦU Hiện nay, ... biến đổi kiểu áp vi sai 27 Hình 1.13: Cảm biến đo mức tia xạ .27 Hình 2.1: Sơ đồ khối cảm biến áp suất .36 Hình 2.2: Cảm biến áp suất 36 Hình 2.3: Cấu tạo cảm biến kiểu áp

Ngày tải lên: 12/12/2019, 17:42

... động áp suất lên vi cảm biến áp suất điện dung Mục đích đề tài mô cảm biến áp suất điện dung, khảo sát tác động áp suất đến điện dung cảm biến ảnh hƣởng nhiệt độ đến giá trị điện dung cảm biến ... Tìm hiểu cảm biến ứng dụng cảm biến Sau vào tìm hiểu cơng nghệ MEMS cảm biến áp suất, vi cảm biến áp suất kiểu tụ vi cảm biến áp suất kiểu áp trở Nghiên cứu kết mô cảm biến áp suất điện dung để ... Import Mơ hình vi cảm biến áp suất điện dung: Hình 3.1: Mơ hình hình học cảm biến Mơ hình ¼ vi cảm biến áp suất điện dung thực mơ phỏng: Hình 3.2: Mơ hình ¼ vi cảm biến Các cảm biến áp suất phần khuôn

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:32

... tụ vi cảm biến áp suất kiểu áp trở Chƣơng trình bày phần mềm COMSOL Multiphysics kết mô tác động áp suất lên vi cảm biến áp suất điện dung vật liệu Mục đích đề tài mơ cảm biến áp suất điện dung, ... Multiphysics 38 3.2 Thiết kế cảm biến áp suất điện dung MEMS 44 3.2.1 Cấu tạo cảm biến áp suất điện dung .44 3.2.2 Nguyên tắc hoạt động cảm biến áp suất điện dung MEMS 45 với w(x,y) độ ... kiểu điện dung 35 Hình 3.1 Mơ hình vi cảm biến áp suất điện dung .44 Hình 3.2 Mặt cắt ngang 2D cảm biến áp suất điện dung 45 Hình 3.3 Tác động áp suất lên lớp màng cảm biến

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:53

... giới 3.2 Mô cảm biến áp suất điện dung 3.2.1 Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất điện dung Một cảm biến điện dung dựa lớp màng có điện cực hoạt động nhƣ lớp màng nhạy cảm với áp suất, dẫn đến ... chiều cao điện cực áp suất đƣợc áp dụng, thay đổi điện dung cảm biến đƣợc phát Tấm dƣới cảm biến điện dung cố định, phần linh hoạt, biến dạng có áp suất tác động Khi áp suất đƣợc áp dụng, biến dạng ... PHỎNG CẢM BIẾN ÁP SUẤT ĐIỆN DUNG 51 3.1 Giới thiệu phần mềm Comsol Multiphysics [5] 51 3.2 Mô cảm biến áp suất điện dung 52 3.2.1 Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất điện dung

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:55

... tắc hoạt động cảm biến áp suất điện dung MEMS 36 3.3.2 Các cơng thức tốn học sử dụng cảm biến áp suất điện dung 37 3.3.3 Mơ hình phần mềm Comsol 38 3.4 Cảm biến áp suất điện dung sử dụng ... động cảm biến áp suất điện dung MEMS Cảm biến áp suất điện dung MEMS hoạt động nguyên lý điện Khi có áp lực bên tác dụng lên màng mỏng, gây khoang có chênh lệch 36 áp suất bên áp suất bên gây biến ... hai loại vi cảm biến áp suất thƣờng gặp vi cảm biến kiểu áp trở vi cảm biến áp suất kiểu tụ điện 34 CHƢƠNG MÔ PHỎNG, PHÂN TÍCH ẢNH HƢỞNG CỦA VẬT LIỆU ĐẾN CẢM BIẾN ÁP SUẤT ĐIỆN DUNG 3.1 Giới thiệu

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:54

... II.5.2 Nội dung 5.2: Chế tạo nguồn áp suất chuẩn dùng để đo lường hàng loạt cảm biến áp suất 99 II.5.3 Nội dung 5.3: Đo đặc tuyến cảm biến áp suất phụ thuộc điện áp vào áp suất; phụ ... tạo cảm biến áp suất, khảo sát đưa lựa chọn thích hợp cho quy trình cơng nghệ chế tạo Đã chế tạo thành công 100 cảm biến áp suất, khảo sát đặc tuyến cảm biến áp suất Ứng dụng cảm biến áp suất ... II.4.2 Các bước chế tạo cảm biến áp suất 82 II.4.3 Kết chế tạo cảm biến áp suất 85 II.5 Nội dung 5: Đo lường kiểm định chất lượng cảm biến áp suất 86 II.5.1 Nội dung 5.1:

Ngày tải lên: 05/10/2023, 19:34

... loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển đổi tín hiệu cơ- điện ... hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất? ?? Mục đích nghiên cứu Mơ đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Đối tượng nghiên cứu Cảm biến ... hẹp loại cảm biến mà phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS Các vi cảm biến sử dụng

Ngày tải lên: 05/05/2018, 09:01

... hệ thống điện • Áp suất đo áp suất phức tạp rác rối Tuy nhiên, với hầu hết hệ thống tương đối dễ dàng để nhận kết đo áp suất xác phương pháp kỹ thuật thích hợp sử dụng • Các cảm biến áp suất nói ... thống - điện thông thường Bởi giá thảnh giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 23/09/2020, 23:13

... CẢM BIẾN ÁP SUẤT MEMS KIỂU ĐIỆN DUNG 25 2.1 Áp suất 25 2.2 Nguyên lý đo áp suất dựa phép đo biến dạng 25 2.3 Cảm biến áp suất 29 2.4 Các dạng cảm biến áp ... Vi cảm biến áp suất áp điện trở 17 1.3.3 Vi cảm biến áp suất kiểu tụ điện 21 1.3.4 Vi cảm biến áp suất cộng hƣởng 22 1.4 Kết luận chƣơng 24 Chƣơng CẢM ... thiết Cuối tìm hiểu loại cảm biến áp suất khác sử dụng công nghệ MEMS Chƣơng 2: Cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung Chƣơng giới thiệu tổng quan vi cảm biến áp suất điện dung Giới thiệu tính chất

Ngày tải lên: 01/08/2021, 10:39

... tụ Cảm biến áp suất kiểu dòng xoáy từ trở Cảm biến áp suất vật liệu biến dạng Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở • Nguyên lý làm việc cảm biến loại dựa biến dạng cấu trúc màng (khi có áp suất ... mA - Công nghệ cảm biến: dựa theo yêu cầu sử dụng Nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất Cảm biến Áp suất Xử lí Áp suất: nguồn áp suất cần kiểm tra áp suất khí, chất lỏng… Ngõ Cảm biến: phận nhận ... cảm biến thực xử lý để chuyển đổi tín hiệu sang dạng tín hiệu tiêu chuẩn Một số loại cảm biến áp suất: • • • • • Cảm biến áp suất kiểu áp điện trở (thường sử dụng) Cảm biến áp suất kiểu tụ Cảm

Ngày tải lên: 10/03/2017, 20:19

... hệ thống điện • Áp suất đo áp suất phức tạp rác rối Tuy nhiên, với hầu hết hệ thống tương đối dễ dàng để nhận kết đo áp suất xác phương pháp kỹ thuật thích hợp sử dụng • Các cảm biến áp suất nói ... thống - điện thông thường Bởi giá thảnh giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 05/12/2020, 09:38

... hệ thống điện • Áp suất đo áp suất phức tạp rác rối Tuy nhiên, với hầu hết hệ thống tương đối dễ dàng để nhận kết đo áp suất xác phương pháp kỹ thuật thích hợp sử dụng • Các cảm biến áp suất nói ... thống - điện thông thường Bởi giá thảnh giảm độ tin cậy tăng nên khơng có giới hạn ứng dụng cảm biến áp suất công nghệ MEMS Trên tác giả trình bày kiến thứ c đo áp suất suất với cảm biến công ... m ưa tuyết Thiết kế ghi lại kết đọc áp suất thời so sánh với kết áp suất đọc tnróc Nó tạo m ột định có m ột giảm tăng áp suất Bằng cách sử đụng thông tin áp suất đo với thông tin nhiệt độ độ ẩm

Ngày tải lên: 16/03/2021, 12:39

... cần đo cảm biến loại đó) tác động lên cảm biến, cảm biến đưa giá trị vi xử lý, vi xử lý tín hiệu đưa tín hiệu Sơ đồ khối cảm biến áp suất Sơ đồ khối cảm biến áp suất Áp suất: nguồn áp suất cần ... cần kiểm tra áp suất khí, hơi, chất lỏng… Hình Cảm biến áp suất hệ thống bơm nước 1.3 Cấu tạo nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất Hình Cấu tạo cảm biến áp suất Cấu tạo cảm biến áp suất? ?gồm phần ... THUYẾT CỦA PHÉP ĐO ÁP SUẤT .4 1.1 Áp suất 1.2 Cảm biến áp suất gì? 1.3 Cấu tạo nguyên lý hoạt động cảm biến áp suất 1.4 Ứng dụng cảm biến áp suất CHƯƠNG

Ngày tải lên: 17/09/2021, 07:16

... giá trị điện áp cảm biến MAF: Điện áp hiển thị: ~1.6 – 2.3V Nếu điện áp hiển thị khác với điện áp chuẩn chuyển sang bước kiểm tra mạch cảm biến 3.3 Kiểm tra mạch cảm biến Rút giắc cảm biến MAF ... điện áp 3.2 Kiểm tra điện áp Bật công tắc máy vị trí ON (động tắt máy) Dùng thiết bị chẩn đoán để đọc giá trị điện áp cảm biến MAF: 14 Điện áp hiển thị: ~1.0 V Nếu điện áp hiển thị khác với điện ... Hình 1 Các loại cảm biến khí nạp Cảm biến lưu lượng khí nạp chủ yếu chia thành loại, cảm biến để phát khối lượng khơng khí nạp, cảm biến đo thể tích khơng khí nạp, cảm biến đo khối lượng cảm biến

Ngày tải lên: 10/05/2023, 21:11

... HỮU TƯỚC I CẢM BIẾN ÁP SUẤT KIỂU ÁP ĐIỆN Cảm biến áp suất điện áp có nguyên tắc hoạt động dựa tượng thay đổi hay xuất phân cực điện khi số chất điện môi bị biến dạng tác dụng lực Bộ cảm biến gồm ... dụng lực lên cảm biến màng PVDF chịu ứng suất hình thành điện tích bề mặt Lớp mặt Màng PVDF F Lớp đế Cảm biến áp suất điện áp Điện tích thay đổi tạo nên biến thiên điện áp Biên độ điện áp tỉ lệ với ... lệ với lực tác động vào cảm biến Cảm biến áp điện dùng để đo lực biến thiên(đến 10KN), đo áp suất 1000 ms-1 (100N/mm2) gia tốc (tới 1kg) dải tần từ 0,5100kHz Ưu điểm cảm biến loại cấu trúc đơn...

Ngày tải lên: 17/05/2015, 21:37

... tạo cảm biến áp suất kiểu tụ 1.4 Mặt cắt cảm biến áp suất cộng hưởng 1.5 Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện 1.6 Mặt cắt mơ hình cảm biến áp suất áp trở 1.7 Cấu trúc cảm biến áp suất kiệu tụ điện ... bất lợi loại cảm biến sai số lớn Hình 1.5 trình bày mặt cắt cảm biến áp suất áp điện Hình 1.5: Mặt cắt cảm biến áp suất áp điện [5] • Cảm biến áp suất áp trở Cảm biến áp suất loại áp trở sản phẩm ... vậy, cảm biến áp suất có giá trị thương mại to lớn Cảm biến áp suất phân thành bốn loại sau: (1) cảm biến áp suất kiểu tụ (capacitive), (2) cảm biến áp suất cộng hưởng, (3) cảm biến áp suất áp điện...

Ngày tải lên: 11/02/2015, 01:34

... Nội dung báo cáo Lịch sử đo áp suất Khái niệm nguyên lý hoặt động Phân loại cảm biến áp suất Ứng dụng cảm biến áp suất Giới thiệu số cảm biến lưu ý lựa chọn cảm biến áp suất Lịch sử đo áp suất ... tác dụng áp suất dư ống, lò xo giãn Còn tác dụng áp suất tháp co lại Cảm biến áp suất dạng lò xo Khi giãn hay co lại, lò xo làm quay kim thị áp kế Cảm biến áp suất dạng lò xo Cảm biến áp suất dạng ... 1.4305 Giới thiệu số cảm biến lưu ý lựa chọn cảm biến áp suất Cảm biến áp suất Siemens Sitrans P 250 Là cảm biến nhỏ gọn dùng để đo áp suất vi sai Sự chênh lệch áp suất phát với cảm biến gốm sứ, sau...

Ngày tải lên: 22/04/2015, 10:35

... loại cảm biến phát triển sử dụng dùng để đo áp suất chất lưu cảm biến áp điện, cảm biến áp từ, cảm biến áp trở, cảm biến điện dung v.v… Các cảm biến thực theo nguyên lý chuyển đổi tín hiệu cơ- điện ... chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Mục đích nghiên cứu Mơ đặc trưng chuyển đổi tín hiệu điện cảm biến áp suất MEMS kiểu điện dung tải áp suất Nguyễn Thị Trà ... hẹp loại cảm biến mà phát triển ứng dụng nhiều lĩnh vực cảm biến khác Vì cảm biến áp suất chế tạo dựa công nghệ MEMS 1.2 Giới thiệu cảm biến đo áp suất dựa công nghệ MEMS Các vi cảm biến sử dụng...

Ngày tải lên: 30/11/2015, 22:13

... 2.b) Cảm biến áp suất vi sai (hình 2.c) Hình Các loại cảm biến áp suất kiểu màng a) Cảm biến áp suất tuyệt đối b) Cảm biến áp suất tương đối c) Cảm biến áp suất vi sai 70 Nói chung, ba loại cảm biến ... tuyến tính điện áp lối theo áp suất đặt vào Việc sử dụng cảm biến, vị trí, vai trò cảm biến khảo sát kỹ Hình áp ứng Điện áp – áp suất cảm biến MPX10 75 Vi cảm biến áp suất MPX50 Cảm biến MPX50 ... so sánh áp suất cần đo với áp suất khác, thường biết trước, áp suất chuẩn Với cảm biến áp suất tuyệt đối, áp suất cần đo so sánh với áp suất chân khơng, cảm biến áp suất tương đối áp suất cần...

Ngày tải lên: 11/04/2013, 16:01